公开(公告)号：CN109750275B

公开(公告)日：2022-09-20

申请号：CN201811240824.0

申请日：2018-10-23

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 田口明広 ,  姜山亮一

IPC: C23C16/448 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供气化系统和存储有气化系统用程序的存储介质，不使用压力传感器就能适当控制液体材料的供给。气化系统(100)包括：气化器(21)，使液体材料气化；供给量控制设备(22)，控制向气化器(21)供给的液体材料的供给量；流量调整阀(32)，调整气化器(21)生成的气化气体的流量；流量传感器，测定气化气体的流量；阀控制部(43)，向流量调整阀(32)输出驱动信号来控制阀开度，以使由流量传感器测定的测定流量成为预先设定的设定流量。还包括：驱动信号值取得部(44)，取得作为驱动信号所表示的值的驱动信号值；供给控制部(45)，基于驱动信号值向供给量控制设备(22)输出控制信号，控制液体材料的供给。

公开(公告)号：CN110337326A

公开(公告)日：2019-10-15

申请号：CN201880011617.X

申请日：2018-03-16

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 田口明広 ,  姜山亮一

IPC: B01J7/00

Abstract: 本发明提供气化装置和气化系统。为了能够高精度地检测容器内的液体材料的液面，气化装置包括收容液体材料(X)的容器(10)、加热容器(10)内的液体材料(X)的加热器(30)、以及检测容器(10)内的液体材料的液面的液面传感器(20)，从上方观察容器(10)内时，容器(10)内形成有液体材料(X)气化的气化区域(S1)以及与气化区域(S1)不同的液面稳定区域(S2)，液面传感器(20)检测液面稳定区域(S2)中的液体材料(X)的液面。

公开(公告)号：CN109750275A

公开(公告)日：2019-05-14

申请号：CN201811240824.0

申请日：2018-10-23

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 田口明広 ,  姜山亮一

IPC: C23C16/448 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供气化系统和存储有气化系统用程序的存储介质，不使用压力传感器就能适当控制液体材料的供给。气化系统(100)包括：气化器(21)，使液体材料气化；供给量控制设备(22)，控制向气化器(21)供给的液体材料的供给量；流量调整阀(32)，调整气化器(21)生成的气化气体的流量；流量传感器，测定气化气体的流量；阀控制部(43)，向流量调整阀(32)输出驱动信号来控制阀开度，以使由流量传感器测定的测定流量成为预先设定的设定流量。还包括：驱动信号值取得部(44)，取得作为驱动信号所表示的值的驱动信号值；供给控制部(45)，基于驱动信号值向供给量控制设备(22)输出控制信号，控制液体材料的供给。