半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1870276A

    公开(公告)日:2006-11-29

    申请号:CN200610087813.4

    申请日:2006-05-26

    Abstract: 本发明提供一种半导体器件,其抑制了由在半导体膜的沟道区的端部中的栅绝缘膜的断开或薄的厚度导致的半导体膜和栅极之间的短路和漏电流,以及该半导体器件的制造方法。多个薄膜晶体管,每一个具有连续地提供于衬底上方的半导体膜、经由栅绝缘膜提供于半导体膜上方的导电膜、不与导电膜重叠提供于半导体膜中的源和漏区,和存在于导电膜下方和源和漏区之间的提供于半导体膜中的沟道区。且杂质区提供于不与导电膜重叠的半导体膜中,且与源和漏区相邻地提供。而且,导电膜提供于沟道区和半导体膜的与沟道区相邻提供的区域的上方。

    一种制造半导体器件的方法

    公开(公告)号:CN1248295C

    公开(公告)日:2006-03-29

    申请号:CN02106558.6

    申请日:2002-02-28

    CPC classification number: H01L29/66757

    Abstract: 当激光束照射到半导体薄膜上时,在衬底与半导体薄膜之间产生急剧升降的温度梯度。因此,半导体薄膜收缩,从而在薄膜中生成翘曲。所以,得到的结晶半导体薄膜的质量有时会恶化。根据本发明,其特征在于,激光束在半导体薄膜上进行晶化后,实行热处理从而减少薄膜中的翘曲。由于热处理使衬底收缩,减少了半导体薄膜中的翘曲,于是半导体薄膜的物理性质得到改善。

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