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公开(公告)号：CN118580140B
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202410622105.4
申请日：2024-05-20
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司 , 北京科技大学
Abstract: 本发明一种低表面张力和低起泡性的十二碳炔基非离子Gemini表面活性剂及其制备方法，将聚乙二醇单甲醚、磺酰氯类物质加入反应容器一中，加入溶剂氯代烷烃使其充分溶解；加入弱碱，在室温下反应，收集得到淡黄色液体粗产物；将淡黄色液体粗产物进行萃取、旋蒸、干燥处理得到淡黄色中间产物磺酸酯；将氢化钠和2，5，8，11‑四甲基‑6‑十二碳炔‑5，8‑二醇加入到反应容器二中，向反应容器二中加入超干四氢呋喃，搅拌反应后，将淡黄色中间产物磺酸酯加入反应容器二中，并升温至65~85℃进行反应；反应结束后将温度降至15~25℃，收集得到橙红色液体粗产物；将橙红色液体粗产物用二氯甲烷或乙酸乙酯进行萃取、旋蒸、干燥处理，之后经柱层析获得低表面张力和低起泡性的十二碳炔基非离子Gemini表面活性剂；作为半导体及新型显示领域湿电子化学品的添加剂，加入后能够有效降低湿电子化学品的表面张力、湿电子化学品与基体间接触角和起泡量，提高产品良率。
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公开(公告)号：CN118724686A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410711463.2
申请日：2024-06-04
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司 , 北京科技大学
IPC: C07C43/23 , C07C41/16 , C09K23/42 , G03F7/32 , C08G65/337 , C08G65/331
Abstract: 本发明公开了一种非离子Gemini表面活性剂及其制备方法和应用，所述表面活性剂的结构式如下：#imgabs0#其中，n为自然数。本发明在常压条件下无需高温即可制备非离子Gemini表面活性剂，该非离子Gemini表面活性剂是适配于半导体及新型显示领域湿电子化学品的一款表面活性剂，在添加量较少时即可高效提高湿电子化学品的浸润性。
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公开(公告)号：CN118724686B
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202410711463.2
申请日：2024-06-04
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司 , 北京科技大学
IPC: C07C43/23 , C07C41/16 , C09K23/42 , G03F7/32 , C08G65/337 , C08G65/331
Abstract: 本发明公开了一种非离子Gemini表面活性剂及其制备方法和应用，所述表面活性剂的结构式如下：#imgabs0#其中，n为自然数。本发明在常压条件下无需高温即可制备非离子Gemini表面活性剂，该非离子Gemini表面活性剂是适配于半导体及新型显示领域湿电子化学品的一款表面活性剂，在添加量较少时即可高效提高湿电子化学品的浸润性。
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公开(公告)号：CN118580140A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410622105.4
申请日：2024-05-20
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司 , 北京科技大学
Abstract: 本发明一种低表面张力和低起泡性的十二碳炔基非离子Gemini表面活性剂及其制备方法，将聚乙二醇单甲醚、磺酰氯类物质加入反应容器一中，加入溶剂氯代烷烃使其充分溶解；加入弱碱，在室温下反应，收集得到淡黄色液体粗产物；将淡黄色液体粗产物进行萃取、旋蒸、干燥处理得到淡黄色中间产物磺酸酯；将氢化钠和2，5，8，11‑四甲基‑6‑十二碳炔‑5，8‑二醇加入到反应容器二中，向反应容器二中加入超干四氢呋喃，搅拌反应后，将淡黄色中间产物磺酸酯加入反应容器二中，并升温至65~85℃进行反应；反应结束后将温度降至15~25℃，收集得到橙红色液体粗产物；将橙红色液体粗产物用二氯甲烷或乙酸乙酯进行萃取、旋蒸、干燥处理，之后经柱层析获得低表面张力和低起泡性的十二碳炔基非离子Gemini表面活性剂；作为半导体及新型显示领域湿电子化学品的添加剂，加入后能够有效降低湿电子化学品的表面张力、湿电子化学品与基体间接触角和起泡量，提高产品良率。
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公开(公告)号：CN118084630A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410212471.2
申请日：2024-02-27
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司 , 北京科技大学
IPC: C07C41/03 , C07C43/205 , C09K23/42
Abstract: 本发明公开了一种低泡型非离子Gemini表面活性剂及其制备方法，包括如下步骤：将二叔戊基氢醌溶于乙腈中，加入到反应容器中；在反应容器中加入催化剂，并通过惰性气体置换反应容器中的空气；将反应容器升温，再通入环氧乙烷进行反应；反应后，将反应容器的温度将至室温，收集得到紫红色液体粗产物；将得到的紫红色液体粗产物进行旋蒸，再用二氯甲烷或乙酸乙酯进行萃取，之后再次进行旋蒸，干燥处理后得到低泡型非离子Gemini表面活性剂。本发明一种低泡型非离子Gemini表面活性剂，作为半导体及新型显示领域湿电子化学品的表面活性剂添加剂，加入后能够有效降低湿电子化学品的接触角，增强其浸润性，同时降低使用过程的起泡性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114280901B
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202210076546.X
申请日：2022-01-24
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物及其制备方法，包括2～8%重量份有机胺，25～70%重量份质子性有机溶剂，25～70%重量份非质子性有机溶剂，0.3～3%重量份添加剂，0.1～0.5%重量份表面活性剂；上述各组分总重量份之和为100%。制备方法包括：S1：加入非质子性有机溶剂；S2：不断搅拌，加入质子性有机溶剂；S3：不断搅拌，加入有机胺，并控制温度在40℃以内；S4：不断搅拌，加入添加剂和表面活性剂，并循环3h以上得到混合液；S5：将混合液采用过滤器进行循环过滤，得到成品剥离液组合物。本发明剥离性能好，有利于增强剥离液对于抗蚀剂的溶解和清洗性能，保证剥离液对于Cu制程和Al制程的兼容性，有效降低产线工艺的复杂性。
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公开(公告)号：CN113621373A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202010371438.6
申请日：2020-05-06
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司
Abstract: 本发明是一种IGZO薄膜蚀刻液，由如下重量百分比计的原料制成：2～5wt%的草酸、0.1～1wt%的蚀刻速率稳定剂、1～3wt%的水分挥发抑制剂、0.01‑1wt%的表面活性剂、余量为水，本发明中蚀刻液成分简单，工艺简单，性质稳定，容易储存，蚀刻速率适中，蚀刻均一性好，精度高。
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公开(公告)号：CN110105956A
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201910309436.1
申请日：2019-04-17
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司
IPC: C09K13/04 , C09K13/06 , H01L21/306
Abstract: 本发明涉及一种适用于光刻工艺铜制程的无氟酸性刻蚀液及配制方法，其特征在于，包括1-20％重量份的无机酸，5-25％重量份的过氧化氢，0.1-5％重量份的环状胺类化合物，0.1-10％重量份的氨基酸类化合物，1-5％重量份的无机磷酸盐类及剩余组分的纯水，上述各组分重量份总和为100％重量份。本发明所配制适用于光刻工艺铜制程的无氟酸性刻蚀液主要应用于厚度达到 或以上的铜膜层刻蚀工艺，其刻蚀均匀性好、侧向刻蚀角度小、无金属离子残留、无铜膜层残留、无氟环境友好绿色环保。
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公开(公告)号：CN112859551A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202110241380.8
申请日：2021-03-04
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种芯片集成电路四甲基氢氧化铵显影液用非离子表面活性剂的提纯方法及其显影液产品，所述芯片集成电路四甲基氢氧化铵显影液用非离子表面活性剂的提纯方法包括以下步骤：非离子型表面活性剂的溶解、杂质析出、杂质分离、分析杂质离子浓度、加纯水稀释并重复前面步骤直至各指标达到半导体集成电路用显影液的使用要求。所述显影液产品是由纯化后的非离子型表面活性剂的水溶液与四甲基氢氧化铵水溶液进行循环冷却搅拌混合，得到四甲基氢氧化铵浓度为1‑5 wt%的显影液产品。本发明的提纯方法操作流程简单，设备需求简单，成本低，在提纯过程中不会引入其他杂质组分，采用提纯后非离子型表面活性剂水溶液进行复配的显影液产品，可满足芯片集成电路使用的洁净度和应用要求。
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公开(公告)号：CN111812088A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010677277.3
申请日：2020-07-14
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种碱性废水中季铵盐阳离子含量的精确检测方法，将需检测的水样置于锥形瓶中；配制季铵盐阳离子检测试剂；向锥形瓶中滴加一定量的季铵盐阳离子检测试剂并摇匀；以滴定液滴定制得的液体,记录滴定液用量，计算出水样中季铵盐阳离子。本发明只需季铵盐阳离子检测试剂、滴定管等，能快速检测出水样中季铵盐阳离子的浓度，操作简单、可满足现场实时操作、大量样品快速分析的需求；具有抗干扰能力强，适应性强等优点，能在具有大量干扰，不确定待测物浓度酸碱度的情况下，精确检测出待测物中季铵盐阳离子的浓度；具有较高的检测精度，与仪器分析方法相比，能保证有较高检测精度，能弥补仪器分析的不足，丰富了检测方法的多样性。
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