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公开(公告)号：CN114280901B
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202210076546.X
申请日：2022-01-24
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物及其制备方法，包括2～8%重量份有机胺，25～70%重量份质子性有机溶剂，25～70%重量份非质子性有机溶剂，0.3～3%重量份添加剂，0.1～0.5%重量份表面活性剂；上述各组分总重量份之和为100%。制备方法包括：S1：加入非质子性有机溶剂；S2：不断搅拌，加入质子性有机溶剂；S3：不断搅拌，加入有机胺，并控制温度在40℃以内；S4：不断搅拌，加入添加剂和表面活性剂，并循环3h以上得到混合液；S5：将混合液采用过滤器进行循环过滤，得到成品剥离液组合物。本发明剥离性能好，有利于增强剥离液对于抗蚀剂的溶解和清洗性能，保证剥离液对于Cu制程和Al制程的兼容性，有效降低产线工艺的复杂性。
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公开(公告)号：CN117187852B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202311144197.1
申请日：2023-09-06
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司 , 四川格林达电子材料有限公司
IPC: C25B11/053 , C25B11/091 , C25B11/02 , C25B3/09 , G03F7/32
Abstract: 本发明公开了一种低表面张力长效显影液。本发明的低表面张力长效显影液采用本发明制备的复合阳极电极在阴极电解的TMAH水溶液，配合碱性物质、醇或醚类物质、以及表面活性剂制备得到。电极的制备过程包括：采用原位合成法在钛基板表面形成了具有纳米网格形貌的二氧化钛层，然后采用浸渍、干燥、焙烧循环沉积法得到了含有锡、钽、钛等活性组分的第一复合层和第二复合层的复合阳极电极，原位合成法构造了纳米网格形形貌，有助于锡、钽、钛等活性组分的沉积、提高了活性组分的活性；特定的形貌和循环沉积方法提高了复合电极膜的强度、附着性能、导电性、耐久性等。本发明的显影液具有改善的碱值保持力、表面张力和宽温性能等综合性能。
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公开(公告)号：CN114280901A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202210076546.X
申请日：2022-01-24
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物及其制备方法，包括2～8%重量份有机胺，25～70%重量份质子性有机溶剂，25～70%重量份非质子性有机溶剂，0.3～3%重量份添加剂，0.1～0.5%重量份表面活性剂；上述各组分总重量份之和为100%。制备方法包括：S1：加入非质子性有机溶剂；S2：不断搅拌，加入质子性有机溶剂；S3：不断搅拌，加入有机胺，并控制温度在40℃以内；S4：不断搅拌，加入添加剂和表面活性剂，并循环3h以上得到混合液；S5：将混合液采用过滤器进行循环过滤，得到成品剥离液组合物。本发明剥离性能好，有利于增强剥离液对于抗蚀剂的溶解和清洗性能，保证剥离液对于Cu制程和Al制程的兼容性，有效降低产线工艺的复杂性。
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公开(公告)号：CN118668231B
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202410879528.4
申请日：2023-09-06
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司 , 四川格林达电子材料有限公司
IPC: C25B11/053 , G03F7/32 , C25B11/091 , C25B11/02 , C25B3/09
Abstract: 本发明公开了一种低表面张力长效显影液。本发明的低表面张力长效显影液采用本发明制备的复合阳极电极在阴极电解的TMAH水溶液，配合碱性物质、醇或醚类物质、以及表面活性剂制备得到。电极的制备过程包括：采用原位合成法在钛基板表面形成了具有纳米网格形貌的二氧化钛层，然后采用浸渍、干燥、焙烧循环沉积法得到了含有锡、钽、钛等活性组分的第一复合层和第二复合层的复合阳极电极，原位合成法构造了纳米网格形形貌，有助于锡、钽、钛等活性组分的沉积、提高了活性组分的活性；特定的形貌和循环沉积方法提高了复合电极膜的强度、附着性能、导电性、耐久性等。本发明的显影液具有改善的碱值保持力、表面张力和宽温性能等综合性能。
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公开(公告)号：CN117187852A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311144197.1
申请日：2023-09-06
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司 , 四川格林达电子材料有限公司
IPC: C25B11/053 , C25B11/091 , C25B11/02 , C25B3/09 , G03F7/32
Abstract: 本发明公开了一种低表面张力长效显影液。本发明的低表面张力长效显影液采用本发明制备的复合阳极电极在阴极电解的TMAH水溶液，配合碱性物质、醇或醚类物质、以及表面活性剂制备得到。电极的制备过程包括：采用原位合成法在钛基板表面形成了具有纳米网格形貌的二氧化钛层，然后采用浸渍、干燥、焙烧循环沉积法得到了含有锡、钽、钛等活性组分的第一复合层和第二复合层的复合阳极电极，原位合成法构造了纳米网格形形貌，有助于锡、钽、钛等活性组分的沉积、提高了活性组分的活性；特定的形貌和循环沉积方法提高了复合电极膜的强度、附着性能、导电性、耐久性等。本发明的显影液具有改善的碱值保持力、表面张力和宽温性能等综合性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118668231A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202410879528.4
申请日：2023-09-06
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司 , 四川格林达电子材料有限公司
IPC: C25B11/053 , G03F7/32 , C25B11/091 , C25B11/02 , C25B3/09
Abstract: 本发明公开了一种低表面张力长效显影液。本发明的低表面张力长效显影液采用本发明制备的复合阳极电极在阴极电解的TMAH水溶液，配合碱性物质、醇或醚类物质、以及表面活性剂制备得到。电极的制备过程包括：采用原位合成法在钛基板表面形成了具有纳米网格形貌的二氧化钛层，然后采用浸渍、干燥、焙烧循环沉积法得到了含有锡、钽、钛等活性组分的第一复合层和第二复合层的复合阳极电极，原位合成法构造了纳米网格形形貌，有助于锡、钽、钛等活性组分的沉积、提高了活性组分的活性；特定的形貌和循环沉积方法提高了复合电极膜的强度、附着性能、导电性、耐久性等。本发明的显影液具有改善的碱值保持力、表面张力和宽温性能等综合性能。
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公开(公告)号：CN117285985A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202310198224.7
申请日：2023-03-03
Applicant: 四川格林达电子材料有限公司 , 杭州格林达电子材料股份有限公司
IPC: C11D1/00 , H01L21/02 , B08B3/02 , B08B3/08 , B08B13/00 , F26B21/00 , C11D1/66 , C11D3/28 , C11D3/04 , C11D3/60
Abstract: 本发明公开了低动态表面张力的绝缘层缓冲清洗液及其制备方法与应用，包括以下组分：氢氟酸1～10％、氟化铵15～30％、氟化氢铵1～10％、腐蚀抑制剂0.01～1％、非离子表面活性剂0.001～0.1％、其余组分为水，所有组分按重量百分比计总和为100％。本发明实现了具有动态表面张力低，起泡性低，消泡快，不腐蚀下层金属膜层，使用寿命长，使用成本低等优点。
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公开(公告)号：CN219695655U
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202320595039.7
申请日：2023-03-24
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明公开了一种高粘度高纯液体的自动连续精准添加装置，至少包括：加料机构，包括进料管、加料管和出料管；气压供给机构，包括排气管、盘管和气体压出组件；所述排气管连接于所述加料管；所述盘管和所述气体压出组件均设置于所述排气管内，所述盘管的一端连接所述气体压出组件，所述盘管的另一端延伸至所述排气管外；红外液位控制机构，设置于所述加料管外壁，用于液位控制；驱动机构，包括密封箱、电机和缠绕辊；所述密封箱内设置所述电机，所述电机的输出轴上连接所述缠绕辊，所述缠绕辊上缠绕所述盘管。本实用新型能够实现添加过程的自动化、连续化，过程精细可控，同时保证了半导体湿电子化学品产品的洁净度要求。
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公开(公告)号：CN216726689U
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN202220176752.3
申请日：2022-01-24
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种高效连续的电子级氨水制备系统，包括液氨罐，所述液氨罐通过管道连接缓冲罐，所述缓冲罐的另一端通过管道连接水洗单元，所述水洗单元的另一端通过管道连接吸收罐，所述水洗单元靠近所述缓冲罐的一端还连接有废液处理单元，所述废液处理单元的另一端连接污水处理系统，所述吸收罐的另一端通过管道并联连接所述水洗单元和成品单元，所述管道均设置有阀门。本实用新型实现电子级氨水制备系统的简单化、高效化、连续化。
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公开(公告)号：CN219518607U
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202320301057.X
申请日：2023-02-24
Applicant: 四川格林达电子材料有限公司 , 杭州格林达电子材料股份有限公司
IPC: B01F33/81 , B01F35/71 , B01F35/75 , B01F35/213 , B01F35/221 , B01F35/83
Abstract: 本实用新型公开了一种高效连续的有机系光刻胶剥离液制备系统，至少包括：有机胺储罐、第一混配罐、中间原料储罐、第一溶剂储罐、第二溶剂储罐、第二混配罐、过滤器和成品储罐。本实用新型的有机系光刻胶剥离液制备系统简单高效，传热效率高；通过将高粘度液体添加剂原料与有机胺和第一溶剂原材料先行混配成中间原料，且中间原料混配过程和成品制备过程可以同步进行，大大提高剥离液的生产配制效率，提升剥离液制备系统的高效性、连续性和有效物质混合均匀性，且装置简单，成本低。
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