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公开(公告)号：CN117187852B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202311144197.1
申请日：2023-09-06
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司 , 四川格林达电子材料有限公司
IPC: C25B11/053 , C25B11/091 , C25B11/02 , C25B3/09 , G03F7/32
Abstract: 本发明公开了一种低表面张力长效显影液。本发明的低表面张力长效显影液采用本发明制备的复合阳极电极在阴极电解的TMAH水溶液，配合碱性物质、醇或醚类物质、以及表面活性剂制备得到。电极的制备过程包括：采用原位合成法在钛基板表面形成了具有纳米网格形貌的二氧化钛层，然后采用浸渍、干燥、焙烧循环沉积法得到了含有锡、钽、钛等活性组分的第一复合层和第二复合层的复合阳极电极，原位合成法构造了纳米网格形形貌，有助于锡、钽、钛等活性组分的沉积、提高了活性组分的活性；特定的形貌和循环沉积方法提高了复合电极膜的强度、附着性能、导电性、耐久性等。本发明的显影液具有改善的碱值保持力、表面张力和宽温性能等综合性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118668231B
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202410879528.4
申请日：2023-09-06
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司 , 四川格林达电子材料有限公司
IPC: C25B11/053 , G03F7/32 , C25B11/091 , C25B11/02 , C25B3/09
Abstract: 本发明公开了一种低表面张力长效显影液。本发明的低表面张力长效显影液采用本发明制备的复合阳极电极在阴极电解的TMAH水溶液，配合碱性物质、醇或醚类物质、以及表面活性剂制备得到。电极的制备过程包括：采用原位合成法在钛基板表面形成了具有纳米网格形貌的二氧化钛层，然后采用浸渍、干燥、焙烧循环沉积法得到了含有锡、钽、钛等活性组分的第一复合层和第二复合层的复合阳极电极，原位合成法构造了纳米网格形形貌，有助于锡、钽、钛等活性组分的沉积、提高了活性组分的活性；特定的形貌和循环沉积方法提高了复合电极膜的强度、附着性能、导电性、耐久性等。本发明的显影液具有改善的碱值保持力、表面张力和宽温性能等综合性能。
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公开(公告)号：CN117187852A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311144197.1
申请日：2023-09-06
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司 , 四川格林达电子材料有限公司
IPC: C25B11/053 , C25B11/091 , C25B11/02 , C25B3/09 , G03F7/32
Abstract: 本发明公开了一种低表面张力长效显影液。本发明的低表面张力长效显影液采用本发明制备的复合阳极电极在阴极电解的TMAH水溶液，配合碱性物质、醇或醚类物质、以及表面活性剂制备得到。电极的制备过程包括：采用原位合成法在钛基板表面形成了具有纳米网格形貌的二氧化钛层，然后采用浸渍、干燥、焙烧循环沉积法得到了含有锡、钽、钛等活性组分的第一复合层和第二复合层的复合阳极电极，原位合成法构造了纳米网格形形貌，有助于锡、钽、钛等活性组分的沉积、提高了活性组分的活性；特定的形貌和循环沉积方法提高了复合电极膜的强度、附着性能、导电性、耐久性等。本发明的显影液具有改善的碱值保持力、表面张力和宽温性能等综合性能。
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公开(公告)号：CN118668231A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202410879528.4
申请日：2023-09-06
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司 , 四川格林达电子材料有限公司
IPC: C25B11/053 , G03F7/32 , C25B11/091 , C25B11/02 , C25B3/09
Abstract: 本发明公开了一种低表面张力长效显影液。本发明的低表面张力长效显影液采用本发明制备的复合阳极电极在阴极电解的TMAH水溶液，配合碱性物质、醇或醚类物质、以及表面活性剂制备得到。电极的制备过程包括：采用原位合成法在钛基板表面形成了具有纳米网格形貌的二氧化钛层，然后采用浸渍、干燥、焙烧循环沉积法得到了含有锡、钽、钛等活性组分的第一复合层和第二复合层的复合阳极电极，原位合成法构造了纳米网格形形貌，有助于锡、钽、钛等活性组分的沉积、提高了活性组分的活性；特定的形貌和循环沉积方法提高了复合电极膜的强度、附着性能、导电性、耐久性等。本发明的显影液具有改善的碱值保持力、表面张力和宽温性能等综合性能。
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公开(公告)号：CN219695655U
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202320595039.7
申请日：2023-03-24
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明公开了一种高粘度高纯液体的自动连续精准添加装置，至少包括：加料机构，包括进料管、加料管和出料管；气压供给机构，包括排气管、盘管和气体压出组件；所述排气管连接于所述加料管；所述盘管和所述气体压出组件均设置于所述排气管内，所述盘管的一端连接所述气体压出组件，所述盘管的另一端延伸至所述排气管外；红外液位控制机构，设置于所述加料管外壁，用于液位控制；驱动机构，包括密封箱、电机和缠绕辊；所述密封箱内设置所述电机，所述电机的输出轴上连接所述缠绕辊，所述缠绕辊上缠绕所述盘管。本实用新型能够实现添加过程的自动化、连续化，过程精细可控，同时保证了半导体湿电子化学品产品的洁净度要求。
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公开(公告)号：CN221637352U
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202323422016.5
申请日：2023-12-15
Applicant: 杭州格林达电子材料股份有限公司
IPC: B01D1/22 , C07C209/86 , C07C211/63 , B01D1/30 , B01D3/10
Abstract: 本实用新型公开了一种固体四甲基氢氧化铵制备装置，包括降膜蒸发器和降膜浓缩器，所述降膜蒸发器的输入端连接原料注入管，所述降膜蒸发器的输出端连接所述降膜浓缩器的输入端，还包括真空装置，所述降膜蒸发器与降膜浓缩器分别与所述真空装置相连接；所述降膜浓缩器的输出端通过加热蒸汽管道连接片碱机的输入端。与现有技术相比，使用的真空连续蒸发浓缩制备固体四甲基氢氧化铵装置，实现在真空条件下连续制备，可以减少能耗和提高制备效率；在真空条件下通过降膜蒸发和浓缩，可以实现低温蒸馏脱水，降低沸点，快速进行溶液浓缩，可避免高温条件下四甲基氢氧化铵原料的分解，且能够降低蒸汽能耗。
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