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公开(公告)号：CN105247100A
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201480029903.0
申请日：2014-03-25
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： C23C16/54 , C23C14/56 , C23C16/509 , C23C16/455
CPC分类号： C23C16/545 , C23C14/562 , C23C16/44 , C23C16/4409 , C23C16/45519 , C23C16/509
摘要： 描述一种用于处理柔性基板的设备。所述设备包括：真空腔室，所述真空腔室具有第一腔室部分、第二腔室部分以及第三腔室部分；退绕轴和缠绕轴，所述退绕轴用于支撑待处理的所述柔性基板，所述缠绕轴支撑具有薄膜沉积在其上的柔性基板，其中所述退绕轴和所述缠绕轴被布置在所述第一腔室部分中；至少一个间隙闸门，用于使所述第一腔室部分与所述第二腔室部分分离，其中所述间隙闸门被配置成使得所述柔性基板可从其中移动通过并且所述间隙闸门可打开和关闭以便提供真空密封；涂布滚筒，所述涂布滚筒具有旋转轴和弯曲的外表面，用于沿着所述弯曲的外表面引导所述基板通过第一真空处理区域以及至少一个第二真空处理区域，其中所述涂布滚筒的第一部分被设置在所述第二腔室部分中，并且所述涂布滚筒的剩余部分被设置在所述第三腔室部分中；对应于所述第一处理区域的第一处理站以及对应于所述至少一个第二真空处理区域的至少一个第二处理站，其中所述第一处理站和所述第二处理站各自包括用于提供真空连接的凸缘部分。另外，所述第三腔室部分具有凸形腔室壁部分，其中所述第三腔室部分具有设置在其中的至少两个开口，具体来说，其中所述至少两个开口基本上平行于所述凸形腔室壁部分；并且其中所述第一处理站和所述至少一个第二处理站被配置成接收在所述至少两个开口中，其中所述第一处理站和所述第二处理站的所述凸缘部分提供与所述第三腔室的真空密封连接。
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公开(公告)号：CN106995911A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201710018205.6
申请日：2013-12-10
申请人： 应用材料公司
发明人： S·邦格特 , U·舒斯勒 , J·M·迭戈兹-坎波 , D·哈斯
摘要： 描述了一种用于有机材料的蒸发源。所述蒸发源包括蒸发坩埚，其中所述蒸发坩埚配置成蒸发所述有机材料；具有一个或多个出口的分布管，其中所述分布管与所述蒸发坩埚流体地连通，并且其中所述分布管可在蒸发期间绕轴旋转；以及用于防护所述有机材料的至少一个侧面防护罩。
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公开(公告)号：CN103370806A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201280007831.0
申请日：2012-02-03
申请人： 应用材料公司
CPC分类号： H01L51/0014 , H01L51/5253
摘要： 本发明提供用于封装设置于基板上的OLED结构的方法，所述方法使用柔软/聚合物掩模技术。与传统的硬掩模的图案化技术相比，所述柔软/聚合物掩模技术可有效地提供简单且低成本的OLED封装方法。所述柔软/聚合物掩模技术可使用单一聚合物掩模来低成本地完成整个封装工艺，且没有当使用常规金属掩模时所存在的对准问题。当并非使用柔软/聚合物掩模时，封装层可被毯覆沉积而后进行激光烧蚀，使得在封装工艺期间不使用掩模。
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公开(公告)号：CN107201501A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201710383682.2
申请日：2014-02-04
申请人： 应用材料公司
发明人： S·邦格特 , U·舒斯勒 , J·M·迭戈兹-坎波 , D·哈斯
CPC分类号： H01L51/56 , B05D1/60 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/246 , C23C14/505 , C23C14/56 , C23C14/562 , C23C14/564 , C23C14/566 , C23C14/568 , H01L21/67173 , H01L21/67196 , H01L21/67271 , H01L21/67712 , H01L21/67718 , H01L21/67727 , H01L21/67742 , H01L21/67748 , H01L21/6776 , H01L51/001 , H01L51/0011 , C23C14/24 , C23C14/50
摘要： 描述了一种用于沉积一层或多层(特别地，在其中包含有机材料的层)的系统。所述系统包括：第一装载锁定腔室；第一传递腔室和第二传递腔室，用于传送所述基板；包括两个或更多个沉积设备的直列式沉积系统部分，所述两个或更多个沉积设备设置在所述第一传递腔室与所述第二传递腔室之间，并且所述直列式沉积系统部分适用于将载具从一个沉积设备传送到相邻的沉积设备，其中所述沉积设备包括可移动且可转动的蒸发源；以及第二装载锁定腔室。
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公开(公告)号：CN106133184A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201480077386.4
申请日：2014-03-21
申请人： 应用材料公司
发明人： J·M·迭戈兹-坎波 , S·邦格特 , A·鲁普 , U·舒斯勒
摘要： 描述一种用于在基板上沉积两种或更多种有机材料的蒸发源阵列。所述蒸发源阵列包括：两个或更多个蒸发坩锅，其中所述两个或更多个蒸发坩锅被配置成蒸发所述两种或更多种有机材料；两个或更多个分配管道，所述两个或更多个分配管道具有沿所述两个或更多个分配管的长度而提供的出口，其中所述两个或更多个分配管道中的第一分配管道与所述两个或更多个蒸发坩锅中的第一蒸发坩锅流体连通；两个或更多个热屏蔽件，所述两个或更多个热屏蔽件包围所述第一分配管道；冷却屏蔽布置，所述冷却屏蔽布置提供在所述两个或更多个分配管道的至少一侧，其中所述至少一侧是提供所述出口的那侧；以及冷却元件，所述冷却元件提供在所述冷却屏蔽布置处或中，用于对所述冷却屏蔽布置的主动冷却。
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公开(公告)号：CN104968831A
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：CN201480006989.5
申请日：2014-01-22
申请人： 应用材料公司
摘要： 描述了一种用于涂布薄膜于柔性基板上的设备。此设备包括涂布鼓轮及气体分离单元，涂布鼓轮具有外表面，用于导引柔性基板通过第一真空处理区域及至少一第二真空处理区域，气体分离单元用于分离第一真空处理区域与至少一第二真空处理区域，且适用于形成狭缝，柔性基板可通过涂布鼓轮的外表面与气体分离单元之间的所述狭缝，其中气体分离单元适用于通过调整气体分离单元的位置来控制在第一处理区域与第二处理区域之间的流体连通。
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公开(公告)号：CN109390496B
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN201811208804.5
申请日：2012-02-03
申请人： 应用材料公司
摘要： 提供用于封装设置于基板上的OLED结构的方法，所述方法使用柔软/聚合物掩模技术。与传统的硬掩模的图案化技术相比，所述柔软/聚合物掩模技术可有效地提供简单且低成本的OLED封装方法。所述柔软/聚合物掩模技术可使用单一聚合物掩模来低成本地完成整个封装工艺，且没有当使用常规金属掩模时所存在的对准问题。当并非使用柔软/聚合物掩模时，封装层可被毯覆沉积而后进行激光烧蚀，使得在封装工艺期间不使用掩模。
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公开(公告)号：CN106133184B
公开(公告)日：2020-03-17
申请号：CN201480077386.4
申请日：2014-03-21
申请人： 应用材料公司
发明人： J·M·迭戈兹-坎波 , S·邦格特 , A·鲁普 , U·舒斯勒
摘要： 描述一种用于在基板上沉积两种或更多种有机材料的蒸发源阵列。所述蒸发源阵列包括：两个或更多个蒸发坩锅，其中所述两个或更多个蒸发坩锅被配置成蒸发所述两种或更多种有机材料；两个或更多个分配管道，所述两个或更多个分配管道具有沿所述两个或更多个分配管的长度而提供的出口，其中所述两个或更多个分配管道中的第一分配管道与所述两个或更多个蒸发坩锅中的第一蒸发坩锅流体连通；两个或更多个热屏蔽件，所述两个或更多个热屏蔽件包围所述第一分配管道；冷却屏蔽布置，所述冷却屏蔽布置提供在所述两个或更多个分配管道的至少一侧，其中所述至少一侧是提供所述出口的那侧；以及冷却元件，所述冷却元件提供在所述冷却屏蔽布置处或中，用于对所述冷却屏蔽布置的主动冷却。
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公开(公告)号：CN105814231B
公开(公告)日：2020-03-06
申请号：CN201380081500.6
申请日：2013-12-10
申请人： 应用材料公司
发明人： S·邦格特 , U·舒斯勒 , J·M·迭戈兹-坎波 , D·哈斯
IPC分类号： C23C14/04 , C23C14/12 , C23C14/56 , C23C14/24 , B05D3/04 , B05D1/02 , B05D1/00 , H01L51/00 , H01L51/56 , C23C16/44
摘要： 描述了一种用于有机材料的蒸发源。所述蒸发源包括蒸发坩埚，其中所述蒸发坩埚配置成蒸发所述有机材料；具有一个或多个出口的分布管，其中所述分布管与所述蒸发坩埚流体地连通，并且其中所述分布管可在蒸发期间绕轴旋转；以及用于所述分布管的支撑件，其中所述支撑件可连接至第一驱动器或包括所述第一驱动器，其中所述第一驱动器配置成用于所述支撑件和所述分布管的平移运动。
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公开(公告)号：CN106133183A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201480077377.5
申请日：2014-03-21
申请人： 应用材料公司
发明人： S·邦格特 , J·M·迭戈兹-坎波 , U·舒斯勒 , A·鲁普
摘要： 描述一种用于有机材料的蒸发源。所述蒸发源包括：蒸发坩锅，其中所述蒸发坩埚被配置成蒸发所述有机材料；分配管道，所述分配管道具有沿所述分配管道的长度而提供的一或多个出口，其中所述分配管道与所述蒸发坩锅流体连通，并且其中所述分配管道具有垂直于所述分配管道的长度的横截面，所述横截面是非圆形的，并且包括：出口侧，一或多个出口提供在所述出口侧处，其中所述横截面的所述出口侧的宽度是所述横截面的最大尺寸的30％或更小。
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