-
公开(公告)号：CN115274636B
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202210839127.7
申请日：2017-06-15
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 朱明伟 , 斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 , 付博义 , 胡·T·额 , 奈格·B·帕蒂班德拉
IPC: H01L25/075 , H01L21/677
Abstract: 一种用于在基板上定位微装置的设备包括：一个或更多个支撑件，所述一个或更多个支撑件用于保持供体基板和目标基板；粘合剂分配器，所述粘合剂分配器用于输送粘合剂于供体基板上的微装置上；传送装置，所述传送装置包括传送表面以从供体基板传送微装置至目标基板；和控制器。控制器被配置为操作粘合剂分配器，以基于目标基板上的选择的微装置的所需间隔，选择性地分配粘合剂至供体基板上的所选择的微装置上。控制器被配置为操作传送装置，使得传送表面在供体基板上接合粘合剂，造成所选择的微装置粘附至传送表面，且接着传送表面从供体基板传送所选择的微装置至目标基板。
-
公开(公告)号：CN117813690A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202280051479.4
申请日：2022-06-02
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 描述了高像素密度LED结构的制造方法。方法可包括形成底板基板及LED基板。可将底板基板与LED基板接合在一起，且接合后的基板可包含LED像素阵列。LED像素中的每一者可包括一组隔离的子像素。可在LED像素中的每一者中的隔离子像素中的至少一者上形成量子点层。所述方法可进一步包括通过在有缺陷LED像素中的无量子点层的子像素上形成替换量子点层而修复至少一个有缺陷LED像素。方法还可包括在修复至少一个有缺陷LED像素之后在LED像素阵列上形成UV阻挡层。
-
公开(公告)号：CN114207815A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202080035884.8
申请日：2020-05-14
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 张代化 , 骆英东 , 朱明伟 , 胡·T·额 , 斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 , 纳格·B·帕蒂班德拉
IPC: H01L25/075 , H01L25/16 , H01L33/50 , G09F9/33
Abstract: 一种制作多色彩显示器的方法包括以下步骤：在显示器上方分配包括色彩转换剂的光可固化流体，显示器具有背平面和与背平面的背平面电路系统电气整合的发光二极管的阵列；在发光二极管的阵列中启动复数个发光二极管，以照射并且固化第一光可固化流体，以在第一复数个发光二极管中的每一者上方形成色彩转换层，以将来自复数个发光二极管的光转换成第一色彩的光；和移除第一光可固化流体的未固化的剩余物。以具有用于另一色彩的不同色彩转换组分的流体重复此工艺。
-
公开(公告)号：CN119817196A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202380065937.4
申请日：2023-08-30
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 李志勇 , 斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 , 库兰代韦鲁·西瓦南丹 , 郁昊 , 浩·T·黄 , 奈格·帕蒂班德拉 , 朱鸣伟 , 徐立松 , 丁凯
IPC: H10H29/30 , H10H29/85 , H10H29/851 , H10H29/854 , H10H29/01
Abstract: 所描述的处理方法包括在基板层上形成LED结构群组以形成图案化的LED基板。所述方法也包括在图案化的LED基板上沉积光吸收材料，其中所述光吸收材料包括至少一种光可固化化合物和至少一种紫外光吸收材料。所述方法进一步包括将光吸收材料的一部分暴露于图案化的光，其中所述图案化的光将所述光吸收材料的所述暴露部分固化成像素隔离结构。所述方法另外包括在像素隔离结构的顶部部分和侧面部分上沉积各向同性层，其中所述LED结构基本上不含沉积态的各向同性光反射层。
-
公开(公告)号：CN119522648A
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202380035452.0
申请日：2023-04-18
Applicant: 应用材料公司
IPC: H10H20/82 , H10H20/841 , H10H20/83 , H10H20/825 , H10H20/01 , H10H29/85 , H10H29/14 , H10H29/30 , H10H29/37 , H10H29/856 , H10H29/855
Abstract: 微型LED结构包括LED外延层，该LED外延层可在微型LED结构耦接至背板基板之前形成。为了防止漏光且最大化光输出，LED外延层的侧壁及其他表面可涂布有反射涂层。例如，反射涂层可包括在介电层之间与微型LED电极电绝缘的金属层。反射涂层亦可使用多层以分布式布拉格反射器的配置形成。该反射涂层可在微型LED结构耦接至背板之前的LED制造处理期间形成。背板上的像素隔离结构亦可包括施加于LED外延层之上的反射涂层。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113302334A
公开(公告)日：2021-08-24
申请号：CN201980089394.3
申请日：2019-11-18
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 吉蒂卡·巴贾 , 达尔尚·撒卡尔 , 普莉娜·松特海利亚·古拉迪雅 , 斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 , 大卫·布里兹
IPC: C23C16/455 , C23C16/56 , C23C16/02 , C23C16/40 , C23C16/34 , C23C16/448
Abstract: 本发明的多个实施方式一般涉及在基板上形成湿气和氧气阻挡膜的方法。使用原子层沉积在原子层沉积腔室中在基板上沉积阻挡层以减小所述基板的水蒸汽透过率和氧气透过率。所述阻挡层在1atm下并且在低于所述基板的熔点的约25摄氏度至约5摄氏度之间的温度下沉积。可以在沉积所述阻挡层之前可选地等离子体处理所述基板以增强所述阻挡层对所述基板的粘附力。可以在所述阻挡层上沉积一个或多个附加层，诸如包含聚合物的层，以进一步降低所述水蒸汽透过率和/或所述氧气透过率。
-
公开(公告)号：CN112384330A
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN201980044800.4
申请日：2019-03-29
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 阿什温·乔卡林格 , 杰森·G·冯 , 斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 , 拉杰夫·巴贾 , 丹尼尔·雷德菲尔德
Abstract: 本公开内容的实施方式一般涉及抛光垫和制造抛光垫的方法，其可以被使用于半导体装置制造中的化学机械抛光(CMP)工艺。本文所述的抛光垫的特征在于抛光垫材料的连续聚合物相，所述抛光垫材料的连续聚合物相包括一或多个第一材料域和多个第二材料域。所述一或多个第一材料域由第一预聚物组合物的聚合反应产物形成，所述多个第二材料域由第二预聚物组合物的聚合反应产物形成，该第二预聚物组合物与第一预聚物组合物不同，并且一或多个第一材料域和多个第二材料之间的界面区域由第一预聚物组合物和第二预聚物组合物的共聚合反应产物所形成。
-
公开(公告)号：CN110545987A
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201880026468.4
申请日：2018-04-13
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 胡·T·额 , 奈格·B·帕蒂班德拉 , 斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘
IPC: B29C64/277 , B29C64/393 , B29C64/209 , B29C64/245 , B33Y30/00 , B33Y50/02
Abstract: 增材制造设备包括平台、支撑件、致动器、一个或多个打印头、支撑于平台上方的多个可单独寻址的能量源、及控制器，致动器耦接到平台与支撑件中的至少一者，并经配置以沿着第一轴线在其间产生相对运动，使得支撑件在平台上扫描，一个或多个打印头支撑于平台上方的支撑件上，并经配置以分配连续的馈送材料层以形成抛光垫。能量源被布置成至少沿着垂直于第一轴线的第二轴线延伸的阵列，并经配置以朝向平台发射辐射。控制器经配置以使得致动器在支撑件与平台之间产生相对运动，而使得一个或多个打印头与能量源在平台上扫描。
-
公开(公告)号：CN113677481B
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202080027320.X
申请日：2020-03-10
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 乌马·斯利德哈尔 , 斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 , 阿什温·乔卡林格 , 骆英东 , 丹尼尔·雷德菲尔德 , 拉杰夫·巴贾 , 奈格·B·帕蒂班德拉 , 胡·T·额 , 苏达卡尔·马杜苏达南
IPC: B24B37/24 , B24D18/00 , B29C64/112 , B33Y10/00 , B33Y70/00
Abstract: 提供了抛光制品以及制造在抛光工艺及清洁工艺中使用的抛光制品的方法。更具体而言，本文披露的实施方式涉及具有可调性质(诸如亲水性及zeta电位)的复合抛光制品。由UV可固化丙烯酸化学试剂构成的3D打印的化学机械平坦化(CMP)垫通常本质上是疏水的。此种疏水行为影响基于磨料的抛光浆料(诸如基于二氧化铈的浆料)的润湿性质。然而，为了增加平坦化及移除速率同时减少缺陷，亲水垫是较佳的。此外，在不同pH值下，期望垫的zeta电位(Zp)可在宽的条件范围中调谐。本公开内容的实施方式包括用阴离子添加剂来增加亲水性及调谐垫的Zp的方法以及使用这些方法产生的垫。
-
公开(公告)号：CN117545593A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202280041480.9
申请日：2022-01-21
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 , 乌马·斯利德哈尔 , 骆英东 , 阿什温·乔卡林格 , 马尤·亚玛木拉 , 塞巴斯蒂安·戴维·罗索 , 丹尼尔·雷德菲尔德 , 拉杰夫·巴贾 , 奈格·B·帕蒂班德拉 , 浩·T·黃 , 苏达卡尔·马杜苏达南
IPC: B24D11/00
Abstract: 本文中的实施方式大体关于抛光垫及形成抛光垫的方法。一种形成抛光垫的方法包括(a)根据预定的液滴分配图案，将预聚物组成物的液滴及牺牲材料组成物的液滴分配至先前已形成的打印层的表面上。所述方法包括(b)至少部分地固化预聚物组成物的已分配液滴以形成打印层。该方法包括(c)依序重复(a)及(b)以形成其中形成有多个孔特征的抛光层。预聚物组成物包括多官能丙烯酸酯组分。包括多官能丙烯酸酯组分的预聚物组成物的已分配液滴在暴露于第一剂量的电磁辐射时的固化速率大于不具有多官能丙烯酸酯组分的预聚物组成物在暴露于相同第一剂量的电磁辐射时的固化速率。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
31
records
(took 0.019 seconds)
