公开(公告)号：CN117545593A

公开(公告)日：2024-02-09

申请号：CN202280041480.9

申请日：2022-01-21

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 ,  乌马·斯利德哈尔 ,  骆英东 ,  阿什温·乔卡林格 ,  马尤·亚玛木拉 ,  塞巴斯蒂安·戴维·罗索 ,  丹尼尔·雷德菲尔德 ,  拉杰夫·巴贾 ,  奈格·B·帕蒂班德拉 ,  浩·T·黃 ,  苏达卡尔·马杜苏达南

IPC: B24D11/00

Abstract: 本文中的实施方式大体关于抛光垫及形成抛光垫的方法。一种形成抛光垫的方法包括(a)根据预定的液滴分配图案，将预聚物组成物的液滴及牺牲材料组成物的液滴分配至先前已形成的打印层的表面上。所述方法包括(b)至少部分地固化预聚物组成物的已分配液滴以形成打印层。该方法包括(c)依序重复(a)及(b)以形成其中形成有多个孔特征的抛光层。预聚物组成物包括多官能丙烯酸酯组分。包括多官能丙烯酸酯组分的预聚物组成物的已分配液滴在暴露于第一剂量的电磁辐射时的固化速率大于不具有多官能丙烯酸酯组分的预聚物组成物在暴露于相同第一剂量的电磁辐射时的固化速率。