-
公开(公告)号：CN109256982B
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN201811353660.2
申请日：2018-11-14
Applicant: 广东工业大学
IPC: H02N2/04
Abstract: 本发明公开了一种压电驱动马达，包括中轴与输出轮，输出轮与中轴之间径向连接有压电输出模块，压电输出模块包括能够通电输出径向位移的压电陶瓷块，以及与压电陶瓷块限位配合将其输出径向位移转换至切向的柔性铰链组件。采用轮轴式的整体结构，在轮与轴之间设置压电输出对输出轮的旋转驱动达到连续输出，相当于增大输出步距；压电陶瓷块在通电状态下径向伸长，柔性铰链组件的位移转换作用将输出的径向位移转化为切向位移，并通过柔性铰链的位移放大作用在提升输出位移大小的情况下保持位移输出的精度，其精度由柔性铰链的设计保证降低对压电本身的要求，其结构相对较为成熟的尺蠖式传动设计结构更加简单，具有大步距连续性优点。
-
公开(公告)号：CN106082114B
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201610716013.8
申请日：2016-08-24
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性大行程微纳加工设备，包括平台底座和滑动设置于平台底座上的加工执行平台，和输入方向相互垂直设置的两组运动输入装置，运动输入装置的输出头均连接有单自由度的微定位位移装置；微定位位移装置对称的连接有杠杆及拉杆与柔性铰链的连接结构，并通过此机构与加工执行平台该侧的两端连接。在各自的输出端设置微定位位移装置，通过拉杆和柔性铰链的传动，将位移以准确倍率放大输出，由于运动输入方向相互垂直所以输出的位移能够有效覆盖整个工作平面的各个方向，实现多自由度的准确位移；通过运动输入方向相邻侧设置的拉杆和柔性铰链有效实现对该位移方向上的解耦，有效避免部件间的摩擦爬行，提高了位移输出的精度。
-
公开(公告)号：CN106737597A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201710019564.3
申请日：2017-01-12
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 一种XYZ三自由度精密定位装置，包括XY运动基座和Z轴运动模块，Z轴运动模块安装于XY运动基座；XY运动基座包括基板，基板上设有位移装置和运动平台，位移装置设有两组，位移装置分别位于X轴和Y轴；位移装置为设有压电陶瓷的柔性机构；位移装置包括左杠杆、右杠杆、输入端安装块和输出端安装块；基板开设有第一容纳槽，位移装置安装于第一容纳槽，左杠杆和右杠杆的下端通过铰链铰接于第一容纳槽的下槽壁，左杠杆的右侧下部和右杠杆的左侧下部均用过铰链铰接有输入端安装块；左杠杆的右侧上部和右杠杆的左侧上部均通过直梁型柔性铰链铰接有输出端安装块；输出端安装块通过直梁型柔性铰链与运动平台安装。
-
公开(公告)号：CN112713799A
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN202011423883.9
申请日：2020-12-08
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于柔性铰链导向的大行程无回退纳米压电电机，主要包括底座、第一滑台、第一压电驱动单元、第二压电驱动单元和第二滑台；第一滑台和第二滑台均安装在底座上且相互不接触；第一滑台的滑行方向与第二滑台垂直；第一压电驱动单元与第二压电驱动单元均安装在第一滑台上，采用纵向层叠方式安装；第一压电驱动单元与第二压电驱动单元内均设有柔顺机构。本发明的第一个运动模组在运动输出的后半部分开始减小垂直方向的压电陶瓷驱动电压，同时另外一个模组在垂直方向的压电陶瓷的驱动电压开始增加，以此实现两个模组之间的切换，并且两个模组水平方向的压电陶瓷保持同一速率增加驱动电压，以保证切换之后实现同一速度。
-
公开(公告)号：CN110047766B
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN201910339759.5
申请日：2019-04-25
Applicant: 广东工业大学
IPC: H01L21/603 , H01L21/66
Abstract: 本发明公开一种双模混合控制芯片倒装方法，以位置模式驱动贴装头运动，测量芯片与基板之间的接触力，在接触力大于设定阈值的时刻开始模式切换，位置模式输出量up与力模式输出量uf分别乘以一个关于权重因子η的函数，η在其定义区间内连续且可导，在贴装切换时长δ时间段内，将位置模式切换为力模式，切换过程不产生冲击；切换完成后由力模式输出量uf对芯片施加压力；压合一段时间后控制贴装头反向移动，完成芯片倒装过程，可进行下一次倒装过程。本发明的倒装方法在两种模式之间平滑切换，位置模式和力模式在贴装切换时长δ内同时存在，不出现突然切换，压力的设定阈值出现在跟随误差之前，更加准确地实现控制。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110349889A
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201910672291.1
申请日：2019-07-24
Applicant: 广东工业大学
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 本申请公开了一种微小芯片的批量转移装置，包括导轨及芯片转移模块；所述导轨两侧包括沿所述导轨延伸方向排列的导轨电极；所述芯片转移模块套装在所述导轨上，且所述芯片转移模块与所述导轨之间具有间隙；所述芯片转移模块内侧包括与所述导轨电极相对应的芯片转移模块电极，通过改变所述导轨电极与所述芯片转移模块电极的电场强度，使所述芯片转移模块沿所述导轨宏动。本申请通过改变所述导轨电极不同位置的电场强度，精确控制所述芯片转移模块的位置，本申请提供的技术方案，在对所述芯片转移模块实现长行程的间距调整的同时，相比与现有技术，还大大减小了所述微小芯片的批量转移装置的占用空间，提高芯片转移的效率。
-
公开(公告)号：CN109256982A
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201811353660.2
申请日：2018-11-14
Applicant: 广东工业大学
IPC: H02N2/04
Abstract: 本发明公开了一种压电驱动马达，包括中轴与输出轮，输出轮与中轴之间径向连接有压电输出模块，压电输出模块包括能够通电输出径向位移的压电陶瓷块，以及与压电陶瓷块限位配合将其输出径向位移转换至切向的柔性铰链组件。采用轮轴式的整体结构，在轮与轴之间设置压电输出对输出轮的旋转驱动达到连续输出，相当于增大输出步距；压电陶瓷块在通电状态下径向伸长，柔性铰链组件的位移转换作用将输出的径向位移转化为切向位移，并通过柔性铰链的位移放大作用在提升输出位移大小的情况下保持位移输出的精度，其精度由柔性铰链的设计保证降低对压电本身的要求，其结构相对较为成熟的尺蠖式传动设计结构更加简单，具有大步距连续性优点。
-
公开(公告)号：CN106783694A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201710065563.2
申请日：2017-02-06
Applicant: 广东工业大学
CPC classification number: H01L21/67259 , H01L21/681
Abstract: 本发明公开了一种晶圆级芯片倒装定位平台，包括用以承载晶圆、且能够进行较大幅度运动的X轴移动平台与Y轴移动平台，其特征在于，还包括用以供所述晶圆在XY平面内进行较大幅度旋转的旋转平台，所述旋转平台上设有用以供所述晶圆在XY平面内进行较小幅度旋转、且能够沿X轴与Y轴进行较小幅度运动的角位移补偿装置，所述角位移补偿装置的上方设有用以检测所述晶圆位置的视觉反馈系统。上述晶圆级芯片倒装定位平台，实现了带角位移补偿的平面三自由度的宏微复合。
-
公开(公告)号：CN106711075B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN201710178615.7
申请日：2017-03-23
Applicant: 广东工业大学
IPC: H01L21/68
Abstract: 本发明实施例公开了一种晶圆级芯片封装对位XYθ纳米补偿装置，用于解决现有的XYθ三自由度位移补偿装置多采用3RRR并联装置而导致的行程小，所能够工作的范围小，控制复杂，需要较多的计算分析的技术问题。本发明实施例包括：输出平台、第八柔性铰链、解耦机构、位移机构、输入平台、压电陶瓷；解耦机构在以解耦机构为中心的正负X轴和正负Y轴四个方向均依次连接有位移机构、输入平台、压电陶瓷；解耦机构在X轴、Y轴方向上通过第八柔性铰链与输出平台连接；第八柔性铰链为直圆型铰链。
-
公开(公告)号：CN110047766A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910339759.5
申请日：2019-04-25
Applicant: 广东工业大学
IPC: H01L21/603 , H01L21/66
Abstract: 本发明公开一种双模混合控制芯片倒装方法，以位置模式驱动贴装头运动，测量芯片与基板之间的接触力，在接触力大于设定阈值的时刻开始模式切换，位置模式输出量up与力模式输出量uf分别乘以一个关于权重因子η的函数，η在其定义区间内连续且可导，在贴装切换时长δ时间段内，将位置模式切换为力模式，切换过程不产生冲击；切换完成后由力模式输出量uf对芯片施加压力；压合一段时间后控制贴装头反向移动，完成芯片倒装过程，可进行下一次倒装过程。本发明的倒装方法在两种模式之间平滑切换，位置模式和力模式在贴装切换时长δ内同时存在，不出现突然切换，压力的设定阈值出现在跟随误差之前，更加准确地实现控制。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
34
records
(took 0.018 seconds)
