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公开(公告)号：CN116864432A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202310915922.4
申请日：2023-07-24
Applicant: 广东工业大学
IPC: H01L21/677 , H01L21/683 , H01L21/50
Abstract: 本发明公开了一种基于转盘固晶机的芯片转移方法、系统、设备和介质，采用待转移芯片数据和转盘固晶机数据，构建芯片待转移页面。并采用待转移芯片数据、转盘固晶机数据和预设距离阈值进行转盘运行数据计算，更新得到初始芯片转移页面。基于供料平台的初始供料运行速度和目标线速度进行芯片拾取，得到中间转移页面和中间转盘线速度。基于中间转盘线速度和芯片接收台的初始接收运行速度进行芯片放置，得到目标芯片转移页面。通过对供料平台、转盘和芯片接收台的运行速度进行调整，使转盘在进行芯片拾取或放置时，不需要执行停止的动作。通过构建芯片转移页面使操作人员监测转盘固晶机运行情况，基于实际需要进行相应的装置调整，提高芯片转移效率。
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公开(公告)号：CN111324152B
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN201911235952.0
申请日：2019-12-05
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种新型的刚柔耦合高精度旋转平台及其控制方法，包括机座、刚性轴承、轴承套筒、核心旋转平台、旋转驱动器和编码器；轴承套筒固定在所述机座上；刚性轴承与核心旋转平台之间可旋转传动连接；刚性轴承通过轴承套筒与所述机座连接；核心旋转平台的上表面设有若干组柔性铰链；当旋转驱动器对核心旋转平台施加使其旋转的驱动力时，驱动力使柔性铰链环发生弹性变形。本发明采用柔性铰链且将柔性铰链设置于核心旋转平台的上表面上，无需拆卸下整个旋转平台即可对相应组的柔性铰链进行更换，不会破坏其它组的柔性铰链的装配关系,并且可以通过夹具改变柔性铰链有效变形长度来改柔性铰链刚度，实现刚度的调节。
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公开(公告)号：CN111085970B
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN201911275942.X
申请日：2019-12-12
Applicant: 广东工业大学
IPC: B23Q1/25
Abstract: 本发明公开了一种滚珠丝杠驱动的外部调节刚度的刚柔耦合平台，包括框架、工作平台和至少两组柔性铰链，每组柔性铰链分别设于框架导轨方向的两个相对端面上；工作平台套设于框架的凹槽内，且工作平台不与框架接触；工作平台的两端面与柔性铰链固定连接，柔性铰链的主工作方向为框架的位移方向。本发明的优点：1、在更换柔性铰链时，一组一组更换，可以保证原本的装配关系。2、每一组可以分别采用不同厚度的柔性铰链，通过不同厚度的柔性铰链排列组合可以适应多种工作场合。3、当多组柔性铰链分别采用不同厚度的柔性铰链，可以根据需要改变弹簧力的分布，实现最佳的工作装配情况。
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公开(公告)号：CN111251260B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN201911274731.4
申请日：2019-12-12
Applicant: 广东工业大学
IPC: B23Q1/25
Abstract: 本发明公开了一种易维护刚柔耦合平台结构及其组成的多自由度运动平台，包括工作平台、平台框架、检测元件和驱动元件装置，工作平台通过凹凸结构套设于平台框架内而不互相接触，平台框架和工作平台的两个端面通过至少两组柔性铰链固定连接；工作平台与驱动元件装置的驱动力输出端连接；检测元件至少包含一组主检测元件，检测工作平台的运动位移或速度；副检测元件用于检测柔性铰链的变形量或变形速度。在更换柔性铰链时，逐组更换，无需整个拆卸下工作平台，并且单独更换任意一组柔性铰链都不会破坏原来的装配关系。另外，多组柔性铰链可采用不同厚度组合同时工作，实现多刚度调节，适应不同载荷情况。
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公开(公告)号：CN111128798B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN201911124492.4
申请日：2019-11-18
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明涉及一种薄膜拉伸横向对位机构及应用其的等间距芯片阵列巨量转移的对位装置。所述薄膜拉伸横向对位机构包括：中间连接板、压膜装置和薄膜拉伸驱动组件；所述压膜装置包括：活动端压膜装置和固定端压膜装置；两个所述压膜装置结构相同，所述压膜装置包括：压膜定块、压膜动块、压膜动块动力装置、压膜动块直线导轨模组；压膜动块直线导轨模组被固定在压膜定块上；所述压膜动块动力装置驱动所述压膜动块在所述压膜动块直线导轨模组上滑动；固定端压膜装置的压膜定块被固定在中间连接板上；活动端压膜装置的压膜定块在薄膜拉伸驱动组件的驱动下沿压膜装置活动端直线导轨模组的长度方向移动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110722523B
公开(公告)日：2023-01-20
申请号：CN201910810135.7
申请日：2019-08-29
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 为了弥补现有技术中的刚柔耦合运动平台结构不合理造成的速度与精度无法统一的技术问题，本发明提供一种基于压电陶瓷量测及补偿的宏微复合运动平台及应用，包括能够直线运动的框形的宏平台、通过柔性铰链设置在宏平台内的微平台以及用于采集宏平台、微平台位移与速度的控制组件，其特征在于：还包括设置在宏平台内圈上的压电陶瓷；该压电陶瓷位于宏平台移动方向的后方，用于检测或补偿宏平台与微平台之间的压力。本发明中的压电陶瓷的连接既增大了刚柔耦合平台的刚度，减小带宽，从而减小高速运动过程中微平台的高频震动；又能够在宏平台到位之后保证微平台的运动补偿能力。
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公开(公告)号：CN111075831B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN201911275985.8
申请日：2019-12-12
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种滚珠丝杠驱动的一体式多自由度刚柔耦合运动平台，包括X轴框架和第一柔性铰链平台，X轴框架外接Y轴框架的Y轴驱动装置的动力输出端连接，第一柔性铰链平台的X轴方向的侧面通过柔性铰链连接于框架上，第一柔性铰链平台的Y轴方向的侧面通过弹簧片式柔性铰链安装于X轴框架上；第一柔性铰链平台设于Y轴的每一条导轨上，隔离导轨摩擦的影响。本发明的X轴框架与X方向平台基座采用一体式加工制造，其余的平台组件直接安装在X方向平台基座上，采用一体式二自由度平台结构，避免了两层叠加的结构，不仅节省了材料成本，还降低了整个平台的重心。
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公开(公告)号：CN114993234A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210538146.6
申请日：2022-05-18
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种重力角度传感器及其校准方法，属于机械精密制造的传感器技术领域，用于解决现有机器人打磨作业中缺少一种低成本、性能稳定且高精度的重力传感器的技术问题。所述重力角度传感器，包括：传感器本体、柔性弹簧片组件、差分应变测量单元和质量块。采用低成本的柔性结构与差分应变传感器作为基本组成部件，柔性机构的弹性变形用于反应传感器工作姿态变化导致的重力分量变化，同时利用差分应变传感器来测量柔性机构的弹性变形变化，差分形式的应变传感器可以有效地扺抗温度漂移等外部干扰，实现高精度的应变测量，进而实现高精度的重力角度测量。本发明重力角度传感器具有成本低、测量精度高、适应恶劣工况等优点。
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公开(公告)号：CN108460776B
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN201810327498.0
申请日：2018-04-12
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于机器视觉的刹车片尺寸检测方法及装置，本发明方法包括：S1、对刹车片图像依次进行固定阈值分割和二值化处理，得到二值化图像；S2、对二值化图像进行边缘检测，记录二值化图像中的第一边缘点并生成第一边缘点数组；S3、每隔预置间隔选取第一边缘点数组中的一个第一特殊边缘点，并在二值化图像中截取一个垂直于第一特殊边缘点边缘切线方向的预置大小的感兴趣区域ROI，其中第一特殊边缘点位于感兴趣区域ROI的中心；S4、对感兴趣区域ROI进行边缘检测，记录代替每个感兴趣区域ROI的第二特殊边缘点；S5、对第二特殊边缘点进行多项式拟合，得到封闭轮廓图案；S6、对封闭轮廓图案进行尺寸测量，得到刹车片尺寸。
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