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公开(公告)号：CN101120285A
公开(公告)日：2008-02-06
申请号：CN200680004549.1
申请日：2006-02-08
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 一种图像曝光装置，在装置中感光材料由空间光调制器调制的光曝光，其能获得高的光利用效率和消光比。在图像曝光装置中，包括具有多个反射像素部的两维设置的空间光调制器(50)，如DMD，每一个像素部调制照射在其上的光；将光(B)照射到空间光调制器(50)上的光源(66)；以及将由经由空间光调制器(50)透射的光(B)所代表的图像聚焦到感光材料(150)上，每一个像素部(例如，DMD的微镜)制成类似凹面镜或凸面镜的形状，会聚用于图像曝光的光(B)。
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公开(公告)号：CN101218545A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200680024481.3
申请日：2006-06-16
Applicant: 富士胶片株式会社
CPC classification number: G03F7/70791 , G03F7/033 , G03F7/70275 , G03F7/70291
Abstract: 本发明提供一种图案形成方法，其在使用了具备将描绘单位二维地分布的曝光头的数字曝光装置的曝光中，可以在压缩成本的同时，通过将各描绘单位的光量均匀化，而高精度地形成微细的图案。为此，至少包括如下操作：对该感光层经由具有光分布修正机构的聚光光学系统照射从光照射机构中射出的光束而进行曝光，该光束被上述光调制机构调制，该曝光如下进行，即，使从上述光照射机构向上述光调制机构照射的光束的照射区域内的光量中具有分布，由上述光调制机构调制了的光束的光量分布被修正为在上述感光层的被曝光面上达到均匀化。
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公开(公告)号：CN1297836C
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：CN03141106.1
申请日：2003-06-06
Applicant: 富士胶片株式会社
CPC classification number: G03F7/7005 , G02B26/0841 , G03F7/70275 , G03F7/70291
Abstract: 本发明提供一种曝光头和曝光装置。在不出现迷光的产生以及光效率的降低的情况下可以将对曝光面进行曝光的光束点调整到所希望的光束点直径上。在曝光头中，在DMD的微反射镜的像位置上配置第1微透镜，将这些微透镜进行2维的排列配置，使其与DMD中的各微反射镜相对应。在这些第1微透镜的后方焦点位置上分别配置第2微透镜。在曝光头中，由第2微透镜成像的微小尺寸的微反射镜的实像作为光束点对曝光面进行曝光。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101189556A
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN200680019632.6
申请日：2006-05-30
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70291 , G03F7/70275
Abstract: 本发明提供一种曝光装置及曝光方法，能高精度地投影曝光图像。作为曝光装置的构成元件，具备：射出曝光光的光源；DMD，其上二维状排列多个像素部，基于图像信号按每个像素部对从光源入射到多个像素部的曝光光进行空间光调制；远心光学系统，其被配置在入射到DMD的曝光光的光路上，使曝光光的主光线平行。
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公开(公告)号：CN1517728A
公开(公告)日：2004-08-04
申请号：CN200410002928.X
申请日：2004-01-20
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor： 大森利彦
CPC classification number: B41J2/46 , G02B6/06 , G02B27/0927 , G02B27/0961 , G02B27/0994 , G02B2006/0098 , H04N5/7458
Abstract: 本发明涉及曝光装置。本发明课题是提供能够得到高照明效率并且能够均匀曝光的曝光装置。在具有光源、从该光源供给光的光积分器、和由经过该光积分器的光照明的2维空间调制元件的曝光装置中，将向光积分器射出光的光纤束端部(174E)设置在光源中，使从射出侧看的光纤束端部(174E)的射出区域(192)具有与光积分器的射出面的轮廓形状大致相似的形状。因此，因为从光纤束端部(174E)射出的光的大部分能够照射在设定的照明区域上，所以能够得到高照明效率并且能够均匀地曝光。
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公开(公告)号：CN102525377A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110328471.1
申请日：2011-10-25
Applicant: 富士胶片株式会社
CPC classification number: A61B5/0066 , A61B5/0073 , A61B5/0084 , A61B5/4244 , A61B5/425 , A61B5/6853 , A61B5/7239
Abstract: 本发明提供诊断支持装置等，在被怀疑为病变部位的“内壁部分的表面(最外表面)上出现乳头状突起的区域”、“在内壁部分的表面(最外表面)上细胞(上皮细胞)随机增生的区域”、或“纤维化过程发生的区域”存在于具有平坦表面的诸如胆道或胰管的活体有机体的内壁部分时，自动检测该区域以支持诊断。例如OCT装置1的算术处理装置90依靠空间结构数据检测胆道或胰管的内壁部分的表面的位置，并基于表面形状计算表面粗糙度。将具有高度表面粗糙度的区域检测为“内壁部分的表面(最外表面)上出现乳头状突起的区域”或“在内壁部分的表面(最外表面)上细胞(上皮细胞)随机增生的区域”。
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公开(公告)号：CN1308710C
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：CN200410002928.X
申请日：2004-01-20
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor： 大森利彦
CPC classification number: B41J2/46 , G02B6/06 , G02B27/0927 , G02B27/0961 , G02B27/0994 , G02B2006/0098 , H04N5/7458
Abstract: 本发明涉及曝光装置。本发明课题是提供能够得到高照明效率并且能够均匀曝光的曝光装置。在具有光源、从该光源供给光的光积分器、和由经过该光积分器的光照明的2维空间调制元件的曝光装置中，将向光积分器射出光的光纤束端部(174E)设置在光源中，使从射出侧看的光纤束端部(174E)的射出区域(192)具有与光积分器的射出面的轮廓形状大致相似的形状。因此，因为从光纤束端部(174E)射出的光的大部分能够照射在设定的照明区域上，所以能够得到高照明效率并且能够均匀地曝光。
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公开(公告)号：CN1467532A
公开(公告)日：2004-01-14
申请号：CN03141106.1
申请日：2003-06-06
Applicant: 富士胶片株式会社
CPC classification number: G03F7/7005 , G02B26/0841 , G03F7/70275 , G03F7/70291
Abstract: 本发明提供一种曝光头和曝光装置。在不出现迷光的产生以及光效率的降低的情况下可以将对曝光面进行曝光的光束点调整到所希望的光束点直径上。在曝光头中，在DMD的微反射镜的像位置上配置第1微透镜，将这些微透镜进行2维的排列配置，使其与DMD中的各微反射镜相对应。在这些第1微透镜的后方焦点位置上分别配置第2微透镜。在曝光头中，由第2微透镜成像的微小尺寸的微反射镜的实像作为光束点对曝光面进行曝光。
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