公开(公告)号：CN1297836C

公开(公告)日：2007-01-31

申请号：CN03141106.1

申请日：2003-06-06

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 砂川宽 ,  石川弘美 ,  冈崎洋二 ,  永野和彦 ,  藤井武 ,  大森利彦

IPC: G02B26/08 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/7005 ,  G02B26/0841 ,  G03F7/70275 ,  G03F7/70291

Abstract: 本发明提供一种曝光头和曝光装置。在不出现迷光的产生以及光效率的降低的情况下可以将对曝光面进行曝光的光束点调整到所希望的光束点直径上。在曝光头中，在DMD的微反射镜的像位置上配置第1微透镜，将这些微透镜进行2维的排列配置，使其与DMD中的各微反射镜相对应。在这些第1微透镜的后方焦点位置上分别配置第2微透镜。在曝光头中，由第2微透镜成像的微小尺寸的微反射镜的实像作为光束点对曝光面进行曝光。

公开(公告)号：CN1467532A

公开(公告)日：2004-01-14

申请号：CN03141106.1

申请日：2003-06-06

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 砂川宽 ,  石川弘美 ,  冈崎洋二 ,  永野和彦 ,  藤井武 ,  大森利彦

IPC: G02B26/08 ,  G03B27/50

CPC classification number: G03F7/7005 ,  G02B26/0841 ,  G03F7/70275 ,  G03F7/70291

Abstract: 本发明提供一种曝光头和曝光装置。在不出现迷光的产生以及光效率的降低的情况下可以将对曝光面进行曝光的光束点调整到所希望的光束点直径上。在曝光头中，在DMD的微反射镜的像位置上配置第1微透镜，将这些微透镜进行2维的排列配置，使其与DMD中的各微反射镜相对应。在这些第1微透镜的后方焦点位置上分别配置第2微透镜。在曝光头中，由第2微透镜成像的微小尺寸的微反射镜的实像作为光束点对曝光面进行曝光。