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公开(公告)号：CN107112247A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580054134.4
申请日：2015-12-25
Applicant: 富士电机株式会社
Abstract: 提供一种加热冷却设备，该加热冷却设备能够在具有气密性的处理室内进行加热和冷却的处理，能够提高加热冷却效率并且实现装置的小型化。加热冷却设备(100)具备气密性的处理室(4)、对被处理构件(1)进行加热的包括感应加热线圈(2a)的感应加热装置(2)、对被处理构件(1)进行冷却的冷却装置(3)、用于测定被处理构件(1)的温度的温度传感器(5)以及对感应加热装置(2)和冷却装置(3)进行控制的控制装置(6)，其中，还设置有移动装置(15)，该移动装置(15)使被处理构件(1)和冷却装置(3)的冷却部(3a)中的至少一方移动，来变更被处理构件(1)与冷却部(3a)之间的距离。
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公开(公告)号：CN107112247B
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201580054134.4
申请日：2015-12-25
Applicant: 富士电机株式会社
Abstract: 提供一种加热冷却设备，该加热冷却设备能够在具有气密性的处理室内进行加热和冷却的处理，能够提高加热冷却效率并且实现装置的小型化。加热冷却设备(100)具备气密性的处理室(4)、对被处理构件(1)进行加热的包括感应加热线圈(2a)的感应加热装置(2)、对被处理构件(1)进行冷却的冷却装置(3)、用于测定被处理构件(1)的温度的温度传感器(5)以及对感应加热装置(2)和冷却装置(3)进行控制的控制装置(6)。在加热冷却设备(100)中还设置有移动装置(15)，该移动装置(15)使被处理构件(1)和冷却装置(3)的冷却部(3a)中的至少一方移动，来变更被处理构件(1)与冷却部(3a)之间的距离。
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公开(公告)号：CN102471881A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080028736.X
申请日：2010-08-04
Applicant: 富士电机株式会社
CPC classification number: C23C14/562 , B65H23/0324 , B65H23/038 , B65H23/195 , B65H23/26 , B65H2301/323 , B65H2301/51145
Abstract: 公开了一种用于制造薄膜层叠片的装置，该装置能够防止在传送时条状柔性基板松动或在卷绕时条状柔性基板相对于卷绕辊未对准。在用于制造薄膜层叠片的装置中，在使卷绕成辊状的条状柔性基板的宽度方向呈纵向姿态的状态下在横向方向上传送条状柔性基板，在条状柔性基板的传送方向上设置沉积室，条状柔性基板传送到沉积室，通过设置在沉积室中的沉积设备在条状柔性基板上形成薄膜，并且薄膜层叠片被卷绕成辊状。调节辊9设置在将薄膜层叠片1A卷绕成辊状的卷绕设备4的前面，并且一对夹持辊7和8排列在调节辊9的前面以在维持给定高度的同时夹住薄膜层叠片1A的至少上端来传送薄膜层叠片1A。
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公开(公告)号：CN1173728A
公开(公告)日：1998-02-18
申请号：CN97111444.7
申请日：1997-05-22
Applicant: 富士电机株式会社
CPC classification number: H01H73/04 , H01H5/18 , H01H2071/109
Abstract: 一种与一双金属热元件组合的反向弹簧触点开关机构包括一具一对外分支部和一有弯弹动部的中央分支部、一摆动支撑外分支部的端边用的支撑臂、另一分别将拉伸力施于/锁定中央分支部的弹动部/端边用的支撑臂、一常闭触点以及一常开触点。由一过载电流造成的热元件的双金属件的位移,通过一移动装置和一释放杆传给反向板簧,使弹簧回动以切换触点。其反向弹动机构包括一单一部件,故便于制造和装配,并有一稳定的回动点。
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公开(公告)号：CN101796216B
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN200980100302.3
申请日：2009-03-02
Applicant: 富士电机株式会社
Inventor： 横山胜治
IPC: C23C16/54 , B65H5/06 , H01L21/677 , H01L31/04
CPC classification number: C23C14/54 , B65H23/0324 , B65H23/038 , B65H2301/323 , C23C14/562 , C23C16/52 , C23C16/545 , H01L21/67706 , H01L21/67721 , H01L31/0392 , H01L31/03926 , H01L31/1876 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 本发明提供薄膜叠层体的制造装置和方法。其即使在使带状挠性基板的宽度方向朝向铅垂方向的同时，将基板在水平方向上搬送较长的距离，也能够高精度地维持基板的铅垂方向上的位置。当在带状挠性基板(1)的表面叠层多层薄膜而制造薄膜叠层体时，将配置在多个成膜室之间的间隔中的至少一个间隔内、夹着基板的铅垂方向上侧的端部的至少一对夹持辊(52U)设置为，该夹持辊的旋转方向相对于基板(1)的搬送方向成角度(θU)地向上方倾斜，通过使该夹持辊(52U)夹着基板(1)的力变化，能够在基板(1)产生上升的力(Fx)，从而控制基板(1)的高度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1103742C
公开(公告)日：2003-03-26
申请号：CN97190390.5
申请日：1997-03-28
Applicant: 富士电机株式会社
IPC: B67D1/14
CPC classification number: B67D1/1466 , B67D1/07 , B67D1/1405
Abstract: 本发明公开了一种需要用海绵清洗一充碳酸气液体供给通道时，易于拆卸和组装注入阀的装置，其特征在于，使用一连接件通过一软管使内部充满所供应液体的阀本体通过一曲折成纯角的部分与一注入部分连接，并且一阀体与杆的内端相嵌合滑动通过一内筒，从而打开和关闭一阀座。在清洗过程中，移走一压紧螺母，杆和一盖形螺母，从阀本体中取出内筒与阀体至一特定位置，并使用一定位装置，如一槽等，将它们固定在取出位置上。
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公开(公告)号：CN101359585B
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN200810129602.1
申请日：2008-08-01
Applicant: 富士电机株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/02 , H01L21/677 , H01L31/18 , H01L51/00 , H01L51/56 , C23C16/54 , B65H20/02 , B65H16/00 , B65H18/08
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 一种用于通过在带状柔性基片的表面上层叠多个薄膜来制造薄膜层叠件的设备，它包括：基片输送装置，用于以带状柔性基片的宽度方向处于垂向的方式沿着水平方向输送带状柔性基片；沿着带状柔性基片的被输送方向接连地布置的多个薄膜形成室，用于在带状柔性基片的表面上形成薄膜；以及布置在多个薄膜形成室之间的成对的上夹持辊，用于夹紧所述带状柔性基片的上边缘部分。
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公开(公告)号：CN102575342A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201080032145.X
申请日：2010-12-21
Applicant: 富士电机株式会社
IPC: C23C16/44 , H01L21/205 , H01L21/67 , H01L31/04
CPC classification number: B29C66/95 , B29C66/90 , C23C14/562 , C23C16/545 , H01L21/67259 , H01L21/67706 , H01L21/67721 , H01L21/6776 , H01L31/206 , Y02E10/50 , Y02P70/521 , Y10T156/17 , Y10T156/1741
Abstract: 提供了一种用于设置在处理装置中的柔性基板(100)的位置控制器，该处理装置在横向上传送呈纵向姿态的带状柔性基板(1)并且在安装在基板的传送路径上的处理单元(20)中处理基板，该用于柔性基板的位置控制器包括：夹持基板的上边缘的一对夹持辊(131和132)；支承这对夹持辊以彼此可旋转地并可彼此接近或远离地移动的支承机构(140)；经由支承机构向这对夹持辊施加压力的施压装置(150)；以及使用施压装置来调节压力的压力调节装置(160)，其中构成这对夹持辊的每个辊是具有相对于轴向倾斜的圆周面的圆锥形辊，并且被支承到支承机构以使每个圆锥形辊的小直径侧在横向上位于基板的中心侧且基板的夹持表面的旋转方向与基板的传送方向相同。
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公开(公告)号：CN102300796A
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN201080006303.4
申请日：2010-01-08
Applicant: 富士电机株式会社
IPC: B65H23/025 , B65H23/038 , H01L21/205 , H01L31/04
CPC classification number: B65H20/02 , B65H23/038 , B65H2301/321 , B65H2301/323 , B65H2301/325 , B65H2403/942 , B65H2404/144 , B65H2404/1451 , C23C14/562 , C23C16/545 , H01L21/67712 , H01L21/67721 , H01L21/6776 , H01L31/0392 , H01L31/03926 , H01L31/206 , Y02E10/50 , Y02P70/521 , Y10T156/17
Abstract: 一种处理设备中的柔性基板位置控制设备(100)，该柔性基板位置控制设备以垂直方位在水平方向传输带状柔性基板(1)，并由安装在基板的传输路径中的处理单元进行基板的处理，它设置有：一对夹持辊(131，132)，夹持基板的上边缘；支撑机构(140)，可旋转地支撑一对夹持辊，同时允许这些辊彼此互相接触和分离；施力装置(150)，用于经由支撑机构向一对夹持辊施加压力；以及调节装置(160)，用于调节由施力装置施加的压力。一对夹持辊具有倾斜度，其中相对于基板的夹持面的加压方向为朝向基板宽度方向的边缘，且一对夹持辊由支撑机构支撑，以使夹持面处的旋转方向与基板的传输方向为相同方向。柔性基板位置控制设备能够抑制带状柔性基板的下垂和皱纹的出现，并且在实现高质量的处理同时，能够处理柔性基板在相反方向上的传输。
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公开(公告)号：CN1189140A
公开(公告)日：1998-07-29
申请号：CN97190390.5
申请日：1997-03-28
Applicant: 富士电机株式会社
IPC: B67D1/14
CPC classification number: B67D1/1466 , B67D1/07 , B67D1/1405
Abstract: 本发明公开了一种需要用海绵清洗一充碳酸气液体供给通道时,易于拆卸和组装注入阀的装置,其特征在于,使用一连接件通过一软管使内部充满所供应液体的阀本体通过一曲折成纯角的部分与一注入部分连接,并且一阀体与杆的内端相嵌合滑动通过一内筒,从而打开和关闭一阀座。在清洗过程中,移走一压紧螺母,杆和一盖形螺母,从阀本体中取出内筒与阀体至一特定位置,并使用一定位装置,如一槽等,将它们固定在取出位置上。
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