公开(公告)号：CN102471881A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201080028736.X

申请日：2010-08-04

申请人： 富士电机株式会社

发明人： 西泽正纪 ,  横山胜治 ,  山田隆典

IPC分类号： C23C14/56 ,  C23C16/54 ,  H01L31/04

CPC分类号： C23C14/562 ,  B65H23/0324 ,  B65H23/038 ,  B65H23/195 ,  B65H23/26 ,  B65H2301/323 ,  B65H2301/51145

摘要： 公开了一种用于制造薄膜层叠片的装置，该装置能够防止在传送时条状柔性基板松动或在卷绕时条状柔性基板相对于卷绕辊未对准。在用于制造薄膜层叠片的装置中，在使卷绕成辊状的条状柔性基板的宽度方向呈纵向姿态的状态下在横向方向上传送条状柔性基板，在条状柔性基板的传送方向上设置沉积室，条状柔性基板传送到沉积室，通过设置在沉积室中的沉积设备在条状柔性基板上形成薄膜，并且薄膜层叠片被卷绕成辊状。调节辊9设置在将薄膜层叠片1A卷绕成辊状的卷绕设备4的前面，并且一对夹持辊7和8排列在调节辊9的前面以在维持给定高度的同时夹住薄膜层叠片1A的至少上端来传送薄膜层叠片1A。

公开(公告)号：CN102770579A

公开(公告)日：2012-11-07

申请号：CN201080053146.2

申请日：2010-11-22

申请人： 富士电机株式会社

发明人： 西泽正纪 ,  横山勝治 ,  山田隆典

IPC分类号： C23C14/56 ,  B65H9/16 ,  B65H23/025 ,  B65H23/038 ,  C23C16/44

CPC分类号： B65H23/0324 ,  B65H9/166 ,  B65H23/038 ,  B65H2301/323 ,  B65H2403/942 ,  B65H2404/14212

摘要： 一种用于膜基板的传送装置，该传送装置能高精度地调节分别沿前进馈送方向和后退馈送方向传送的各个基板的位置。一种用于膜基板的传送装置，该传送装置构造成沿垂直方向传送带状膜基板（2），其中，膜基板沿其宽度方向的一端定位在上侧。用于膜基板的传送装置设有至少一对第一夹持辊子（6）以及第一角度调节机构（11），该对第一夹持辊子（6）设置成夹住膜基板的上端，而第一角度调节机构（11）能以调节第一夹持辊子（6）的转动轴线的角度的方式来调节第一夹持辊子的倾斜方向和倾斜角度，从而第一夹持辊子（6）的转动轴线指向传送方向上方。

公开(公告)号：CN102762473A

公开(公告)日：2012-10-31

申请号：CN201080053947.9

申请日：2010-12-02

申请人： 富士电机株式会社

发明人： 西泽正纪 ,  横山勝治 ,  山田隆典

IPC分类号： B65H23/038 ,  H01L31/04

CPC分类号： B65H20/02 ,  B65H2301/323 ,  B65H2801/87 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67721 ,  H01L31/206 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

摘要： 公开了一种传递设备（100），该传递设备通过使挠性基板处于竖直姿态来沿基板纵向传递挠性基板（1）。保持装置（21）设有夹住基板（1）的上端部的一对夹持辊子（23，24）。第一驱动装置（60）调节辊子（23，24）的压力接触力。第二驱动装置（80）调节辊子（23，24）相对于基板（1）的传递方向的倾斜角度。基板（1）沿垂直方向的位置借助于这些调节来维持恒定。保持装置（21）设有夹住基板（1）的下端部的另一对夹持辊子。在成膜室（40）中，在基板（1）上形成薄膜。保持装置（21）设置在相邻的成膜室（40）之间。基板（1）可以是塑料膜。在成膜室（40）中，可进行化学蒸气沉积或物理蒸气沉积。基板（1）可以是用于太阳能电池的基板。