公开(公告)号：CN103583083A

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201280027706.6

申请日：2012-10-17

申请人： 日东电工株式会社

发明人： 垣内良平 ,  山本悟 ,  肥田加奈子

IPC分类号： H05B33/10 ,  C23C14/56 ,  H01L51/50

CPC分类号： H01L51/001 ,  B65H23/32 ,  B65H2301/5114 ,  B65H2301/51145 ,  C23C14/12 ,  C23C14/562 ,  H01L51/56 ,  H05B33/10

摘要： 本发明提供一种有机EL器件的制造方法及制造装置，其能够制造抑制了品质下降的有机EL器件。有机EL器件的制造方法为一边使带状的基材沿其长度方向移动一边利用蒸镀在该基材上形成有机EL元件的结构层的有机EL器件的制造方法，该制造方法包括结构层形成工序，在该结构层形成工序中，一边使上述基材沿其长度方向移动，一边在沿着该基材的移动方向设置的第1蒸镀部及第2蒸镀部自蒸镀源向上述基材的一个面喷出气化材料而依次进行蒸镀，该结构层形成工序包括多个朝上蒸镀工序，以及方向变换工序。

公开(公告)号：CN103583083B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201280027706.6

申请日：2012-10-17

申请人： 日东电工株式会社

发明人： 垣内良平 ,  山本悟 ,  肥田加奈子

IPC分类号： H05B33/10 ,  C23C14/56 ,  H01L51/50

CPC分类号： H01L51/001 ,  B65H23/32 ,  B65H2301/5114 ,  B65H2301/51145 ,  C23C14/12 ,  C23C14/562 ,  H01L51/56 ,  H05B33/10

摘要： 本发明提供一种有机EL器件的制造方法及制造装置，其能够制造抑制了品质下降的有机EL器件。有机EL器件的制造方法为一边使带状的基材沿其长度方向移动一边利用蒸镀在该基材上形成有机EL元件的结构层的有机EL器件的制造方法，该制造方法包括结构层形成工序，在该结构层形成工序中，一边使上述基材沿其长度方向移动，一边在沿着该基材的移动方向设置的第1蒸镀部及第2蒸镀部自蒸镀源向上述基材的一个面喷出气化材料而依次进行蒸镀，该结构层形成工序包括多个朝上蒸镀工序，以及方向变换工序。

公开(公告)号：CN104955751A

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201480006409.2

申请日：2014-01-22

申请人： 应用材料公司

发明人： S·海恩

IPC分类号： B65H23/188 ,  B65H23/04

CPC分类号： B65H23/044 ,  B65H23/038 ,  B65H23/048 ,  B65H23/1888 ,  B65H2301/51145 ,  B65H2404/1526 ,  B65H2511/242 ,  B65H2515/312 ,  B65H2515/314 ,  B65H2553/22 ,  B65H2553/23 ,  B65H2553/26 ,  B65H2553/822 ,  B65H2557/264 ,  B65H2701/1732 ,  B65H2701/1752 ,  B65H2220/02 ,  B65H2220/01

摘要： 提供一种用于引导幅材的幅材引导控制单元(10)。所述幅材引导控制单元(10)包括用于引导幅材的幅材引导控制单元(501)。所述幅材引导控制单元包括单个导辊(201)。所述导辊包括调整单元(310)以及两个张力测量单元(301,302)，所述张力测量单元用于测量所述导辊的第一位置(215)和第二位置(216)处幅材的张力。本公开案还提供了一种幅材处理设备，其中提供至少一个如本文所述的幅材引导控制单元(10)。如本文所用的“处理”通常可理解为“涂布”。还公开了一种用于借助所述幅材引导控件或所述幅材处理设备来引导幅材的方法。

公开(公告)号：CN104364420A

公开(公告)日：2015-02-18

申请号：CN201380027869.9

申请日：2013-05-23

申请人： 凸版印刷株式会社

发明人： 佐佐木康裕 ,  加纳满

IPC分类号： C23C16/54 ,  C23C16/44

CPC分类号： B05B13/0221 ,  B65H20/02 ,  B65H2301/51145 ,  C23C14/562 ,  C23C16/45551 ,  C23C16/545 ,  C23C16/45544

摘要： 本发明提供一种卷取成膜装置，具备：被导入有第一前体的第一真空气室；被导入有第二前体的第二真空气室；被导入有用于将上述第一前体及上述第二前体清洗的清洗气体的第三真空气室；以及搬运辊部，将可卷取的基材向上述第一真空气室、上述第二真空气室及上述第三真空气室搬运，具有一对辊对，每个辊对在上述基材的厚度方向上夹持上述基材且具有第一辊及第二辊，在上述第一辊及上述第二辊中的至少一方的外周面上形成有凹凸形状，使用上述搬运辊部，使上述基材在上述第一真空气室及上述第二真空气室中往复，由此在上述基材的表面上沉积原子层而形成原子层沉积膜。

公开(公告)号：CN102869520B

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：CN201180012193.7

申请日：2011-03-02

申请人： 海森纸业公司

发明人： 罗伯特·哈森 ,  基思·R·麦克鲁登

IPC分类号： B44C1/00

CPC分类号： B65H39/16 ,  B32B37/025 ,  B32B2037/243 ,  B32B2038/0092 ,  B32B2307/75 ,  B41M1/26 ,  B41M5/0041 ,  B41M7/009 ,  B65H41/00 ,  B65H2301/5111 ,  B65H2301/5114 ,  B65H2301/51145 ,  B65H2301/5143 ,  B65H2301/5162 ,  B65H2701/1243 ,  Y10T156/1041

摘要： 本发明的转移层压方法的实施方式包含使膜的第一侧金属化，以及然后将金属化的第一侧结合到基底。在其已经结合到基底以后，然后涂层被施加到膜的第二侧。结合的膜和基底然后被放在烘箱中。膜接着从基底剥离，从沉积在基底上的膜中留下金属。涂层的施加作为转移层压工艺的在线部分执行，从而提供了当前未知的简单制造。

公开(公告)号：CN102869520A

公开(公告)日：2013-01-09

申请号：CN201180012193.7

申请日：2011-03-02

申请人： 海森纸业公司

发明人： 罗伯特·哈森 ,  基思·R·麦克鲁登

IPC分类号： B44C1/00

CPC分类号： B65H39/16 ,  B32B37/025 ,  B32B2037/243 ,  B32B2038/0092 ,  B32B2307/75 ,  B41M1/26 ,  B41M5/0041 ,  B41M7/009 ,  B65H41/00 ,  B65H2301/5111 ,  B65H2301/5114 ,  B65H2301/51145 ,  B65H2301/5143 ,  B65H2301/5162 ,  B65H2701/1243 ,  Y10T156/1041

摘要： 本发明的转移层压方法的实施方式包含使膜的第一侧金属化，以及然后将金属化的第一侧结合到基底。在其已经结合到基底以后，然后涂层被施加到膜的第二侧。结合的膜和基底然后被放在烘箱中。膜接着从基底剥离，从沉积在基底上的膜中留下金属。涂层的施加作为转移层压工艺的在线部分执行，从而提供了当前未知的简单制造。

公开(公告)号：CN102471881A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201080028736.X

申请日：2010-08-04

申请人： 富士电机株式会社

发明人： 西泽正纪 ,  横山胜治 ,  山田隆典

IPC分类号： C23C14/56 ,  C23C16/54 ,  H01L31/04

CPC分类号： C23C14/562 ,  B65H23/0324 ,  B65H23/038 ,  B65H23/195 ,  B65H23/26 ,  B65H2301/323 ,  B65H2301/51145

摘要： 公开了一种用于制造薄膜层叠片的装置，该装置能够防止在传送时条状柔性基板松动或在卷绕时条状柔性基板相对于卷绕辊未对准。在用于制造薄膜层叠片的装置中，在使卷绕成辊状的条状柔性基板的宽度方向呈纵向姿态的状态下在横向方向上传送条状柔性基板，在条状柔性基板的传送方向上设置沉积室，条状柔性基板传送到沉积室，通过设置在沉积室中的沉积设备在条状柔性基板上形成薄膜，并且薄膜层叠片被卷绕成辊状。调节辊9设置在将薄膜层叠片1A卷绕成辊状的卷绕设备4的前面，并且一对夹持辊7和8排列在调节辊9的前面以在维持给定高度的同时夹住薄膜层叠片1A的至少上端来传送薄膜层叠片1A。

公开(公告)号：CN104603326B

公开(公告)日：2017-07-18

申请号：CN201380026913.4

申请日：2013-04-24

申请人： 索尼公司

发明人： 小林俊之 ,  清水圭辅 ,  角野宏治 ,  水口由纪子 ,  村上洋介

IPC分类号： C23C16/02 ,  C23C16/26 ,  C23C16/458 ,  C23C16/46 ,  C23C16/54

CPC分类号： C23C14/562 ,  B65H20/02 ,  B65H2301/51145 ,  B65H2301/5143 ,  B65H2404/143 ,  B65H2511/112 ,  B65H2513/11 ,  B65H2515/31 ,  B65H2553/412 ,  B65H2701/173 ,  C23C14/0605 ,  C23C14/24 ,  C23C14/54 ,  C23C16/0209 ,  C23C16/26 ,  C23C16/458 ,  C23C16/46 ,  C23C16/52 ,  C23C16/545 ,  B65H2220/02 ,  B65H2220/01

摘要： 提供了一种成膜装置，包括辊对辊机构和加热单元。辊对辊机构被配置为传输成膜靶并包括张力释放单元，所述张力释放单元被配置为释放施加至所传输的成膜靶的张力。所述加热单元被配置为加热由辊对辊机构传输的成膜靶。

公开(公告)号：CN104603326A

公开(公告)日：2015-05-06

申请号：CN201380026913.4

申请日：2013-04-24

申请人： 索尼公司

发明人： 小林俊之 ,  清水圭辅 ,  角野宏治 ,  水口由纪子 ,  村上洋介

IPC分类号： C23C16/02 ,  C23C16/26 ,  C23C16/458 ,  C23C16/46 ,  C23C16/54

CPC分类号： C23C14/562 ,  B65H20/02 ,  B65H2301/51145 ,  B65H2301/5143 ,  B65H2404/143 ,  B65H2511/112 ,  B65H2513/11 ,  B65H2515/31 ,  B65H2553/412 ,  B65H2701/173 ,  C23C14/0605 ,  C23C14/24 ,  C23C14/54 ,  C23C16/0209 ,  C23C16/26 ,  C23C16/458 ,  C23C16/46 ,  C23C16/52 ,  C23C16/545 ,  B65H2220/02 ,  B65H2220/01

摘要： 提供了一种成膜装置，包括辊对辊机构和加热单元。辊对辊机构被配置为传输成膜靶并包括张力释放单元，所述张力释放单元被配置为释放施加至所传输的成膜靶的张力。所述加热单元被配置为加热由辊对辊机构传输的成膜靶。

公开(公告)号：CN104395214A

公开(公告)日：2015-03-04

申请号：CN201380033572.3

申请日：2013-06-18

申请人： 因派科特涂料公司

发明人： 罗杰·威格伦 ,  克里斯托夫·安德森

IPC分类号： B65H18/10 ,  B65H23/18 ,  C23C16/54 ,  C23C14/56 ,  B65H23/188

CPC分类号： B65H18/103 ,  B65H18/106 ,  B65H23/1806 ,  B65H23/188 ,  B65H23/1888 ,  B65H2301/41284 ,  B65H2301/51145 ,  B65H2404/165 ,  B65H2701/192 ,  C23C14/50 ,  C23C14/562 ,  C23C16/458 ,  C23C16/545

摘要： 连续的卷盘到卷盘的装置(1)，用于将连续基底材料(3)从解绕材料卷盘(2)运输到卷绕材料卷盘(4)，包括布置成使基底材料(3)在进入至少一个处理区(6)前从解绕材料卷盘(2)滚动离开时对齐的至少两个导向辊(5)、和布置成使基底材料(3)在卷绕在卷绕材料卷盘(4)上之前离开至少一个处理区(6)时对齐的至少两个导向辊(5)。布置成使基底材料(3)在离开至少一个处理区时对齐的导向辊(5)中的至少一个是驱动辊(13)，且布置成使基底材料(3)在从解绕材料卷盘(2)滚动离开时对齐的导向辊(5)中至少一个是制动辊(12)，制动辊(12)布置成当基底材料(3)被驱动经过至少一个处理区(6)时向基底材料(3)施加恒定制动力。因此在运输和解绕/卷绕期间使基底材料(3)塑性变形的风险低且使材料经受磨损的风险也低。