有机EL元件的制造方法及制造装置

    公开(公告)号:CN104170529A

    公开(公告)日:2014-11-26

    申请号:CN201380014727.9

    申请日:2013-03-07

    Abstract: 一种不需要以往那样的带状阴影掩模、且也能够将来自蒸镀源的气化材料以期望的图案蒸镀到基材上、能够修正由于输送时会产生的基材的错位所带来的影响的有机EL元件的制造方法和制造装置。有机EL元件的制造装置利用第1驱动装置使辊以规定的旋转速度旋转,而输送与辊接触的基材。该制造装置进行该输送,并且使来自蒸镀源的气化材料蒸镀到基材上。该制造装置通过利用第2驱动装置驱动遮蔽装置,使该遮蔽装置以规定的转动速度绕辊的轴心转动,进行基材的遮蔽和遮蔽解除。第2驱动装置以使遮蔽装置的转动速度与辊的旋转速度不同的方式改变遮蔽装置的转动速度。

    涂布液的涂布方法及涂布装置、以及涂布物的制造方法

    公开(公告)号:CN103249497A

    公开(公告)日:2013-08-14

    申请号:CN201180057386.4

    申请日:2011-11-24

    CPC classification number: B05C3/18 B05C5/0254 B05D1/26 B05D2252/02

    Abstract: 本发明提供一种在使用模涂机将涂布液涂布于具有挠性的基材片的情况下能够防止发生因异物所造成的缺陷的涂布液的涂布方法及涂布装置、以及涂布物的制造方法。将开始线(P1)与边界线(P2)之间的距离(D1)设为50mm以内,所述开始线(P1)是:通过模涂机(7)的排出口(74)且与基材片(1)正交的假想线(L)、与基材片(1)的第二面相交的线,所述边界线是:在该开始线(P1)的上游侧,基材片(1)的第二面伴随着支承辊(8)的旋转而从该支承辊(8)的外周面离开的线。将假想线(L)与支承辊(8)的外周面相交的辊上线(P3)、与开始线(P1)之间的距离(D2)设为5μm以上。

    有机EL器件的制造方法及制造装置

    公开(公告)号:CN103503567B

    公开(公告)日:2016-06-01

    申请号:CN201280021507.4

    申请日:2012-10-17

    Abstract: 本发明提供能够制造抑制了质量降低的有机EL器件的有机EL器件的制造方法和制造装置。有机EL器件的制造方法是在使带状的基材沿着长度方向移动的同时、通过蒸镀在该基材上形成有机EL元件的结构层的有机EL器件的制造方法,其中,包括如下结构层形成工序:在使上述基材沿着长度方向移动的同时,利用沿着该基材的移动方向设置的朝上蒸镀部和横向蒸镀部,从蒸镀源向上述基材的一个面喷出气化材料而依次进行蒸镀,该结构层形成工序包括朝上蒸镀工序、横向蒸镀工序、以及方向改变工序。

    有机EL元件的制造方法和制造装置

    公开(公告)号:CN103329620A

    公开(公告)日:2013-09-25

    申请号:CN201280005741.8

    申请日:2012-12-10

    Abstract: 本发明提供一种不需要以往那样的带状的阴影掩模、但也能够将气化材料以期望的图案蒸镀到基材上的有机EL元件的制造方法和制造装置。遮蔽部构成为能够被切换到如下位置:配置在蒸镀源和基材之间来遮蔽基材的遮蔽位置和自蒸镀源和基材之间退避来解除对基材的遮蔽的遮蔽解除位置。并且,在遮蔽部位于遮蔽位置的状态下,遮蔽部以与基材相同的速度向行进方向移动,在遮蔽部位于遮蔽解除位置的状态下,遮蔽部向与行进方向相反的方向移动。

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