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公开(公告)号：CN103283307B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201280003847.4
申请日：2012-12-10
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: H01L51/5012 , C23C14/042 , C23C14/562 , H01L51/001 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种不需要以往那样的带状的阴影掩模、但也能够将来自蒸镀源的气化材料以期望的图案蒸镀到基材上的有机EL元件的制造方法和制造装置。遮蔽部（51）构成为能够被切换到如下位置：配置在蒸镀源（4）和基材（81）之间来遮蔽基材（81）的遮蔽位置和自蒸镀源（4）和基材（81）之间退避来解除对基材（81）的遮蔽的遮蔽解除位置。并且，遮蔽部（51）一边与辊（3）一起旋转，一边被切换到遮蔽位置和遮蔽解除位置。
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公开(公告)号：CN103583083A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201280027706.6
申请日：2012-10-17
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: H01L51/001 , B65H23/32 , B65H2301/5114 , B65H2301/51145 , C23C14/12 , C23C14/562 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: 本发明提供一种有机EL器件的制造方法及制造装置，其能够制造抑制了品质下降的有机EL器件。有机EL器件的制造方法为一边使带状的基材沿其长度方向移动一边利用蒸镀在该基材上形成有机EL元件的结构层的有机EL器件的制造方法，该制造方法包括结构层形成工序，在该结构层形成工序中，一边使上述基材沿其长度方向移动，一边在沿着该基材的移动方向设置的第1蒸镀部及第2蒸镀部自蒸镀源向上述基材的一个面喷出气化材料而依次进行蒸镀，该结构层形成工序包括多个朝上蒸镀工序，以及方向变换工序。
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公开(公告)号：CN103503567A
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN201280021507.4
申请日：2012-10-17
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , B65H23/32 , B65H2301/5114 , C23C14/12 , C23C14/562 , H01L51/0008
Abstract: 本发明提供能够制造抑制了质量降低的有机EL器件的有机EL器件的制造方法和制造装置。有机EL器件的制造方法是在使带状的基材沿着长度方向移动的同时、通过蒸镀在该基材上形成机EL元件的结构层的有机EL器件的制造方法，其中，包括如下结构层形成工序：在使上述基材沿着长度方向移动的同时，利用沿着该基材的移动方向设置的朝上蒸镀部和横向蒸镀部，从蒸镀源向上述基材的一个面喷出气化材料而依次进行蒸镀，该结构层形成工序包括朝上蒸镀工序、横向蒸镀工序、以及方向改变工序。
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公开(公告)号：CN103283307A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201280003847.4
申请日：2012-12-10
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: H01L51/5012 , C23C14/042 , C23C14/562 , H01L51/001 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种不需要以往那样的带状的阴影掩模、但也能够将来自蒸镀源的气化材料以期望的图案蒸镀到基材上的有机EL元件的制造方法和制造装置。遮蔽部（51）构成为能够被切换到如下位置：配置在蒸镀源（4）和基材（81）之间来遮蔽基材（81）的遮蔽位置和自蒸镀源（4）和基材（81）之间退避来解除对基材（81）的遮蔽的遮蔽解除位置。并且，遮蔽部（51）一边与辊（3）一起旋转，一边被切换到遮蔽位置和遮蔽解除位置。
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公开(公告)号：CN103875310A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201280050105.7
申请日：2012-08-24
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: H01L51/0008 , C23C14/12 , C23C14/24 , H01L51/001 , H01L51/0081 , H01L51/5008 , H01L51/5012
Abstract: [课题]本发明提供可以较廉价地制造电特性优异的有机EL元件的方法。[解决手段]本发明为一种有机电致发光元件的制造方法，其中，所述有机电致发光元件具有：第1有机层和第2有机层这至少2个有机层、和在前述第1有机层和第2有机层之间的这两个层的形成材料混合而成的混合层，所述制造方法中，使用具备包含前述第1有机层的形成材料的第1蒸镀源(721)、和包含前述第2有机层的形成材料的第2蒸镀源(722)的蒸镀装置(7)，使自前述第1蒸镀源(721)气化的第1有机层的形成材料撞击于基板(73)的被处理面而在基板(73)的被处理面上形成第1有机层，然后，在前述第1有机层的形成材料处于迁移状态中时，使自前述第2蒸镀源(722)气化的第2有机层的形成材料向前述第1有机层撞击而进行蒸镀。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103493593A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201280020020.4
申请日：2012-04-06
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: H01L51/5012 , C23C14/12 , C23C14/24 , C23C14/562 , H01L51/0002 , H01L51/0004 , H01L51/56 , H01L2251/55 , H05B33/10
Abstract: 本发明涉及一种有机EL元件的制造方法，其包含如下的蒸镀工序：通过使气化了的有机层形成材料从喷嘴喷出，在相对移动的基材上形成有机层；在该蒸镀工序中，形成由前述有机层构成且具有与基材移动方向垂直的方向上的宽度A（mm）的发光区域，并且在将前述喷嘴的开口部的在与前述基材移动方向垂直的方向上的长度设为W（mm）、将前述开口部与前述基材的距离设为h（mm）时，满足式子W≥A+2×h（其中，h≤5mm。）。
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公开(公告)号：CN103583083B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201280027706.6
申请日：2012-10-17
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: H01L51/001 , B65H23/32 , B65H2301/5114 , B65H2301/51145 , C23C14/12 , C23C14/562 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: 本发明提供一种有机EL器件的制造方法及制造装置，其能够制造抑制了品质下降的有机EL器件。有机EL器件的制造方法为一边使带状的基材沿其长度方向移动一边利用蒸镀在该基材上形成有机EL元件的结构层的有机EL器件的制造方法，该制造方法包括结构层形成工序，在该结构层形成工序中，一边使上述基材沿其长度方向移动，一边在沿着该基材的移动方向设置的第1蒸镀部及第2蒸镀部自蒸镀源向上述基材的一个面喷出气化材料而依次进行蒸镀，该结构层形成工序包括多个朝上蒸镀工序，以及方向变换工序。
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公开(公告)号：CN103493593B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201280020020.4
申请日：2012-04-06
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: H01L51/5012 , C23C14/12 , C23C14/24 , C23C14/562 , H01L51/0002 , H01L51/0004 , H01L51/56 , H01L2251/55 , H05B33/10
Abstract: 本发明涉及一种有机EL元件的制造方法，其包含如下的蒸镀工序：通过使气化了的有机层形成材料从喷嘴喷出，在相对移动的基材上形成有机层；在该蒸镀工序中，形成由前述有机层构成且具有与基材移动方向垂直的方向上的宽度A（mm）的发光区域，并且在将前述喷嘴的开口部的在与前述基材移动方向垂直的方向上的长度设为W（mm）、将前述开口部与前述基材的距离设为h（mm）时，满足式子W≥A+2×h（其中，h≤5mm。）。
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公开(公告)号：CN103503567B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201280021507.4
申请日：2012-10-17
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , B65H23/32 , B65H2301/5114 , C23C14/12 , C23C14/562 , H01L51/0008
Abstract: 本发明提供能够制造抑制了质量降低的有机EL器件的有机EL器件的制造方法和制造装置。有机EL器件的制造方法是在使带状的基材沿着长度方向移动的同时、通过蒸镀在该基材上形成有机EL元件的结构层的有机EL器件的制造方法，其中，包括如下结构层形成工序：在使上述基材沿着长度方向移动的同时，利用沿着该基材的移动方向设置的朝上蒸镀部和横向蒸镀部，从蒸镀源向上述基材的一个面喷出气化材料而依次进行蒸镀，该结构层形成工序包括朝上蒸镀工序、横向蒸镀工序、以及方向改变工序。
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公开(公告)号：CN103329620A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201280005741.8
申请日：2012-12-10
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: H01L33/005 , C23C14/042 , C23C14/562 , H01L51/001 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种不需要以往那样的带状的阴影掩模、但也能够将气化材料以期望的图案蒸镀到基材上的有机EL元件的制造方法和制造装置。遮蔽部构成为能够被切换到如下位置：配置在蒸镀源和基材之间来遮蔽基材的遮蔽位置和自蒸镀源和基材之间退避来解除对基材的遮蔽的遮蔽解除位置。并且，在遮蔽部位于遮蔽位置的状态下，遮蔽部以与基材相同的速度向行进方向移动，在遮蔽部位于遮蔽解除位置的状态下，遮蔽部向与行进方向相反的方向移动。
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