公开(公告)号：CN103459665A

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：CN201280015471.9

申请日：2012-03-28

申请人： 凸版印刷株式会社

发明人： 加纳满 ,  佐佐木康裕

IPC分类号： C23C16/54

CPC分类号： C23C16/545 ,  B65H20/16 ,  B65H23/025 ,  C23C16/45551

摘要： 本发明的卷绕成膜装置（1）具备：导入第一前驱体气体的第一真空室（21）；导入第二前驱体气体的第二真空室（22）；导入用于排出第一前驱体和第二前驱体的吹扫气体的第三真空室（23）；以及搬运设备（41a（41b）），该搬运设备将可卷绕的基材（15）搬运到第一真空室（21）、第二真空室（22）和第三真空室（23）中，并且具有保持基材（15）的宽度方向的两端部的保持部。

公开(公告)号：CN103459665B

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201280015471.9

申请日：2012-03-28

申请人： 凸版印刷株式会社

发明人： 加纳满 ,  佐佐木康裕

IPC分类号： C23C16/54

CPC分类号： C23C16/545 ,  B65H20/16 ,  B65H23/025 ,  C23C16/45551

摘要： 本发明的卷绕成膜装置（1）具备：导入第一前驱体气体的第一真空室（21）；导入第二前驱体气体的第二真空室（22）；导入用于排出第一前驱体和第二前驱体的吹扫气体的第三真空室（23）；以及搬运设备（41a（41b）），该搬运设备将可卷绕的基材（15）搬运到第一真空室（21）、第二真空室22）和第三真空室（23）中，并且具有保持基材15）的宽度方向的两端部的保持部。

公开(公告)号：CN104364420A

公开(公告)日：2015-02-18

申请号：CN201380027869.9

申请日：2013-05-23

申请人： 凸版印刷株式会社

发明人： 佐佐木康裕 ,  加纳满

IPC分类号： C23C16/54 ,  C23C16/44

CPC分类号： B05B13/0221 ,  B65H20/02 ,  B65H2301/51145 ,  C23C14/562 ,  C23C16/45551 ,  C23C16/545 ,  C23C16/45544

摘要： 本发明提供一种卷取成膜装置，具备：被导入有第一前体的第一真空气室；被导入有第二前体的第二真空气室；被导入有用于将上述第一前体及上述第二前体清洗的清洗气体的第三真空气室；以及搬运辊部，将可卷取的基材向上述第一真空气室、上述第二真空气室及上述第三真空气室搬运，具有一对辊对，每个辊对在上述基材的厚度方向上夹持上述基材且具有第一辊及第二辊，在上述第一辊及上述第二辊中的至少一方的外周面上形成有凹凸形状，使用上述搬运辊部，使上述基材在上述第一真空气室及上述第二真空气室中往复，由此在上述基材的表面上沉积原子层而形成原子层沉积膜。