公开(公告)号：CN107112247A

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201580054134.4

申请日：2015-12-25

Applicant: 富士电机株式会社

Inventor： 横山胜治 ,  松下毅 ,  中原浩昭 ,  竹内正树 ,  和田刚典 ,  菊池昌宏 ,  五十岚嘉男 ,  成瀬光洋 ,  百瀬政弘

IPC: H01L21/52 ,  B23K1/00 ,  B23K1/002 ,  B23K1/008 ,  B23K3/04 ,  B23K31/02 ,  H05K3/34

Abstract: 提供一种加热冷却设备，该加热冷却设备能够在具有气密性的处理室内进行加热和冷却的处理，能够提高加热冷却效率并且实现装置的小型化。加热冷却设备(100)具备气密性的处理室(4)、对被处理构件(1)进行加热的包括感应加热线圈(2a)的感应加热装置(2)、对被处理构件(1)进行冷却的冷却装置(3)、用于测定被处理构件(1)的温度的温度传感器(5)以及对感应加热装置(2)和冷却装置(3)进行控制的控制装置(6)，其中，还设置有移动装置(15)，该移动装置(15)使被处理构件(1)和冷却装置(3)的冷却部(3a)中的至少一方移动，来变更被处理构件(1)与冷却部(3a)之间的距离。

公开(公告)号：CN107112247B

公开(公告)日：2019-09-20

申请号：CN201580054134.4

申请日：2015-12-25

Applicant: 富士电机株式会社

Inventor： 横山胜治 ,  松下毅 ,  中原浩昭 ,  竹内正树 ,  和田刚典 ,  菊池昌宏 ,  五十岚嘉男 ,  成瀬光洋 ,  百瀬政弘

IPC: H01L21/52 ,  B23K1/00 ,  B23K1/002 ,  B23K1/008 ,  B23K3/04 ,  B23K31/02 ,  H05K3/34

Abstract: 提供一种加热冷却设备，该加热冷却设备能够在具有气密性的处理室内进行加热和冷却的处理，能够提高加热冷却效率并且实现装置的小型化。加热冷却设备(100)具备气密性的处理室(4)、对被处理构件(1)进行加热的包括感应加热线圈(2a)的感应加热装置(2)、对被处理构件(1)进行冷却的冷却装置(3)、用于测定被处理构件(1)的温度的温度传感器(5)以及对感应加热装置(2)和冷却装置(3)进行控制的控制装置(6)。在加热冷却设备(100)中还设置有移动装置(15)，该移动装置(15)使被处理构件(1)和冷却装置(3)的冷却部(3a)中的至少一方移动，来变更被处理构件(1)与冷却部(3a)之间的距离。