公开(公告)号：CN107112247A

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201580054134.4

申请日：2015-12-25

Applicant: 富士电机株式会社

Inventor： 横山胜治 ,  松下毅 ,  中原浩昭 ,  竹内正树 ,  和田刚典 ,  菊池昌宏 ,  五十岚嘉男 ,  成瀬光洋 ,  百瀬政弘

IPC: H01L21/52 ,  B23K1/00 ,  B23K1/002 ,  B23K1/008 ,  B23K3/04 ,  B23K31/02 ,  H05K3/34

Abstract: 提供一种加热冷却设备，该加热冷却设备能够在具有气密性的处理室内进行加热和冷却的处理，能够提高加热冷却效率并且实现装置的小型化。加热冷却设备(100)具备气密性的处理室(4)、对被处理构件(1)进行加热的包括感应加热线圈(2a)的感应加热装置(2)、对被处理构件(1)进行冷却的冷却装置(3)、用于测定被处理构件(1)的温度的温度传感器(5)以及对感应加热装置(2)和冷却装置(3)进行控制的控制装置(6)，其中，还设置有移动装置(15)，该移动装置(15)使被处理构件(1)和冷却装置(3)的冷却部(3a)中的至少一方移动，来变更被处理构件(1)与冷却部(3a)之间的距离。

公开(公告)号：CN102300796A

公开(公告)日：2011-12-28

申请号：CN201080006303.4

申请日：2010-01-08

Applicant: 富士电机株式会社

Inventor： 横山胜治 ,  山田隆典 ,  和田刚典

IPC: B65H23/025 ,  B65H23/038 ,  H01L21/205 ,  H01L31/04

CPC classification number: B65H20/02 ,  B65H23/038 ,  B65H2301/321 ,  B65H2301/323 ,  B65H2301/325 ,  B65H2403/942 ,  B65H2404/144 ,  B65H2404/1451 ,  C23C14/562 ,  C23C16/545 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/67721 ,  H01L21/6776 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/03926 ,  H01L31/206 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521 ,  Y10T156/17

Abstract: 一种处理设备中的柔性基板位置控制设备(100)，该柔性基板位置控制设备以垂直方位在水平方向传输带状柔性基板(1)，并由安装在基板的传输路径中的处理单元进行基板的处理，它设置有：一对夹持辊(131，132)，夹持基板的上边缘；支撑机构(140)，可旋转地支撑一对夹持辊，同时允许这些辊彼此互相接触和分离；施力装置(150)，用于经由支撑机构向一对夹持辊施加压力；以及调节装置(160)，用于调节由施力装置施加的压力。一对夹持辊具有倾斜度，其中相对于基板的夹持面的加压方向为朝向基板宽度方向的边缘，且一对夹持辊由支撑机构支撑，以使夹持面处的旋转方向与基板的传输方向为相同方向。柔性基板位置控制设备能够抑制带状柔性基板的下垂和皱纹的出现，并且在实现高质量的处理同时，能够处理柔性基板在相反方向上的传输。

公开(公告)号：CN107112247B

公开(公告)日：2019-09-20

申请号：CN201580054134.4

申请日：2015-12-25

Applicant: 富士电机株式会社

Inventor： 横山胜治 ,  松下毅 ,  中原浩昭 ,  竹内正树 ,  和田刚典 ,  菊池昌宏 ,  五十岚嘉男 ,  成瀬光洋 ,  百瀬政弘

IPC: H01L21/52 ,  B23K1/00 ,  B23K1/002 ,  B23K1/008 ,  B23K3/04 ,  B23K31/02 ,  H05K3/34

Abstract: 提供一种加热冷却设备，该加热冷却设备能够在具有气密性的处理室内进行加热和冷却的处理，能够提高加热冷却效率并且实现装置的小型化。加热冷却设备(100)具备气密性的处理室(4)、对被处理构件(1)进行加热的包括感应加热线圈(2a)的感应加热装置(2)、对被处理构件(1)进行冷却的冷却装置(3)、用于测定被处理构件(1)的温度的温度传感器(5)以及对感应加热装置(2)和冷却装置(3)进行控制的控制装置(6)。在加热冷却设备(100)中还设置有移动装置(15)，该移动装置(15)使被处理构件(1)和冷却装置(3)的冷却部(3a)中的至少一方移动，来变更被处理构件(1)与冷却部(3a)之间的距离。