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公开(公告)号：CN106414791A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201580031944.8
申请日：2015-05-20
申请人： 奥博泰克有限公司
CPC分类号： B23K26/34 , B23K26/57 , B23K2103/10 , B23K2103/14 , C23C14/048 , C23C14/08 , C23C26/02 , H01C17/06 , H05K1/167 , H05K3/101 , H05K3/18 , H05K2203/0315 , H05K2203/087 , H05K2203/107 , H05K2203/128
摘要： 一种用于材料沉积的方法，其包括提供具有相对的第一与第二表面及在该第二表面上形成的包括金属的供体膜(36)的透明供体基板(34)。在含氧氛围中接近受体基板(22)定位该供体基板，其中该第二表面面向该受体基板。引导激光辐射脉冲通过该供体基板的该第一表面且冲射于该供体膜上，以便诱发熔融材料的液滴(44)自该供体膜喷射至该受体基板上，从而在该受体基板上形成该金属的粒子(46)，其外层(54)包含该金属的氧化物。
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公开(公告)号：CN107208256A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201680005719.1
申请日：2016-01-14
申请人： 奥博泰克有限公司
IPC分类号： C23C14/30 , H01L21/67 , H01L21/3063 , C25F3/12
摘要： 一种3D打印方法，其包括将第一金属材料打印到基板上作为支持结构体(48)。将比所述第一金属材料阳极性低的第二金属材料以与所述支持结构体接触的方式打印到所述基板上作为目标结构体(46)。通过应用原电池效应以选择性地腐蚀所述第一金属材料而将所述支持结构体从所述目标结构体以化学方式除去。
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公开(公告)号：CN106133891A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201580015581.9
申请日：2015-04-05
申请人： 奥博泰克有限公司
IPC分类号： H01L21/477 , H01L21/4763 , H05K3/02
摘要： 一种用于制造的方法，包括：用基质(28)涂布基板(22)，该基质含有要在基板上被图案化的材料。通过引导脉冲能量束照射在图案的轨迹上，以便在未完全烧结图案中的材料的情况下致使沿着图案将材料黏附至基板，从而将图案固定在基质中。将在被固定图案之外的基板上剩余的基质移除，并且在移除基质之后，烧结图案中的材料。
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公开(公告)号：CN107206548A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201680006659.5
申请日：2016-01-05
申请人： 奥博泰克有限公司
IPC分类号： B23K26/57
CPC分类号： C23C18/14 , B23K26/0648 , B23K26/342 , B23K2103/00 , B23K2103/42 , C23C14/048 , C23C14/225 , C23C14/28 , H01L51/0013
摘要： 一种用于受体表面上的材料沉积的设备，包括：透明供体基板，具有相对的第一和第二表面，使得第二表面的至少一部分不平行于受体表面，所述透明供体基板还包括第二表面上的供体膜。该设备还光学组件，其配置成将辐射束引导成穿过供体基板的第一表面，并在第二表面的不平行于受体表面的那部分的位置处照射在供体膜上，以诱导熔融材料的小滴从供体膜喷射到受体表面。
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公开(公告)号：CN105009695A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201480009274.5
申请日：2014-02-18
申请人： 奥博泰克有限公司
IPC分类号： H05K3/02 , H05K3/12 , H05K3/22 , H05K1/09 , B05D3/06 , G03F7/20 , B05D5/12 , G03F7/30 , G03F7/40
CPC分类号： H05K3/12 , G03F7/039 , G03F7/40 , H05K1/097 , H05K3/02 , H05K3/027 , H05K3/1283 , H05K3/1291 , H05K3/227 , H05K2201/0257 , H05K2201/2054 , H05K2203/0514 , H05K2203/107 , H05K2203/108 , H05K2203/111 , H05K2203/1131 , H05K2203/1194 , H05K2203/1476 , H05K2203/1484
摘要： 一种制造方法，包括对衬底(22)涂覆含有待图案化于该衬底上的材料的基质(28)。通过引导能量束冲击经涂覆的衬底以在该基质中固定图案(42)而不完全烧结该图案。移除衬底上固定图案外的剩余基质，以及在移除基质后烧结该图案中的材料。
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公开(公告)号：CN107208256B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201680005719.1
申请日：2016-01-14
申请人： 奥博泰克有限公司
IPC分类号： C23C14/30 , H01L21/67 , H01L21/3063 , C25F3/12
摘要： 一种3D打印方法，其包括将第一金属材料打印到基板上作为支持结构体(48)。将比所述第一金属材料阳极性低的第二金属材料以与所述支持结构体接触的方式打印到所述基板上作为目标结构体(46)。通过应用原电池效应以选择性地腐蚀所述第一金属材料而将所述支持结构体从所述目标结构体以化学方式除去。
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公开(公告)号：CN106133891B
公开(公告)日：2020-03-03
申请号：CN201580015581.9
申请日：2015-04-05
申请人： 奥博泰克有限公司
IPC分类号： H01L21/477 , H01L21/4763 , H05K3/02
摘要： 一种用于制造的方法，包括：用基质(28)涂布基板(22)，该基质含有要在基板上被图案化的材料。通过引导脉冲能量束照射在图案的轨迹上，以便在未完全烧结图案中的材料的情况下致使沿着图案将材料黏附至基板，从而将图案固定在基质中。将在被固定图案之外的基板上剩余的基质移除，并且在移除基质之后，烧结图案中的材料。
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公开(公告)号：CN107206548B
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201680006659.5
申请日：2016-01-05
申请人： 奥博泰克有限公司
IPC分类号： C23C14/28
CPC分类号： C23C18/14 , B23K26/0648 , B23K26/342 , B23K2103/00 , B23K2103/42 , C23C14/048 , C23C14/225 , C23C14/28 , H01L51/0013
摘要： 一种用于受体表面上的材料沉积的设备，包括：透明供体基板，具有相对的第一和第二表面，使得第二表面的至少一部分不平行于受体表面，所述透明供体基板还包括第二表面上的供体膜。该设备还光学组件，其配置成将辐射束引导成穿过供体基板的第一表面，并在第二表面的不平行于受体表面的那部分的位置处照射在供体膜上，以诱导熔融材料的小滴从供体膜喷射到受体表面。
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公开(公告)号：CN107849687A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680040497.7
申请日：2016-06-07
申请人： 奥博泰克有限公司
IPC分类号： C23C14/28 , C23C14/54 , B23K26/57 , B23K26/064 , B23K26/067
摘要： 一种用于受体表面上的材料沉积的设备，其包括透明供体基底，所述供体基底具有相反的第一表面和第二表面，且所述设备包括在所述第二表面上的供体薄膜。所述设备还包括光学组件，其配置为引导辐射的射束穿过所述供体基底的第一表面并在所述第二表面上的位置处冲击在所述供体薄膜上，以便诱导熔化材料的液滴在所述位置处以不垂直于所述第二表面的角度从所述供体薄膜喷射到所述受体表面上。
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公开(公告)号：CN108349120B
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201680065145.7
申请日：2016-11-01
申请人： 奥博泰克有限公司
摘要： 一种制造方法包括提供基底，所述基底包括具有在其中形成的一个或多个凹部的图案的上表面。引导激光束撞击供在体膜上以便通过激光诱发前向转移(LIFT)将流体的液滴从供体膜喷射到一个或多个凹部中。流体在一个或多个凹部中硬化以形成具有由一个或多个凹部限定的形状的固体件。从固体件移除基底。在一些实施例中，在将液滴喷射到凹部中之前用薄膜层涂覆凹部，使得在移除基底后薄膜层保留为固体件的外表面。
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