公开(公告)号：CN106133891A

公开(公告)日：2016-11-16

申请号：CN201580015581.9

申请日：2015-04-05

申请人： 奥博泰克有限公司

发明人： M.泽诺 ,  Z.科特勒 ,  J.安克里 ,  A.罗特内默 ,  O.叶尔马克

IPC分类号： H01L21/477 ,  H01L21/4763 ,  H05K3/02

摘要： 一种用于制造的方法，包括：用基质(28)涂布基板(22)，该基质含有要在基板上被图案化的材料。通过引导脉冲能量束照射在图案的轨迹上，以便在未完全烧结图案中的材料的情况下致使沿着图案将材料黏附至基板，从而将图案固定在基质中。将在被固定图案之外的基板上剩余的基质移除，并且在移除基质之后，烧结图案中的材料。

公开(公告)号：CN106133891B

公开(公告)日：2020-03-03

申请号：CN201580015581.9

申请日：2015-04-05

申请人： 奥博泰克有限公司

发明人： M.泽诺 ,  Z.科特勒 ,  J.安克里 ,  A.罗特内默 ,  O.叶尔马克

IPC分类号： H01L21/477 ,  H01L21/4763 ,  H05K3/02

摘要： 一种用于制造的方法，包括：用基质(28)涂布基板(22)，该基质含有要在基板上被图案化的材料。通过引导脉冲能量束照射在图案的轨迹上，以便在未完全烧结图案中的材料的情况下致使沿着图案将材料黏附至基板，从而将图案固定在基质中。将在被固定图案之外的基板上剩余的基质移除，并且在移除基质之后，烧结图案中的材料。