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公开(公告)号：CN101855705A
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN200880115228.8
申请日：2008-09-05
Applicant: 国立大学法人横滨国立大学 , 株式会社尼康
IPC: H01L21/027 , F16F15/02 , G03F7/20 , H01L21/68
CPC classification number: F16F15/002 , G03F7/70525 , G03F7/70725 , G03F7/70758 , G03F7/709
Abstract: 本发明提供一种驱动控制方法、驱动控制装置、载台控制方法、载台控制装置、曝光方法、曝光装置及计测装置。其中，控制至少能在第1方向及与该第1方向不同的第2方向上移动的物体，并根据驱动信号以及扰动修正信号来控制施加于该物体的力，上述驱动信号，驱动用于使该物体在该第1方向上移动的第1致动器，上述扰动修正信号是根据在前述物体输出端在该第2方向的扰动信号而生成的。
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公开(公告)号：CN110709793A
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201880035547.1
申请日：2018-03-30
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 基板平台装置(20)包括：微动平台(24)；X粗动平台(34)；Y粗动平台(32)；致动器单元(70X1)，包括将使X粗动平台相对于Y粗动平台相对移动的推力设为第一推力而赋予至微动平台的音圈马达(72X)、及将所述推力设为大于第一推力的第二推力而赋予至微动平台的空气致动器(74X)，致动器单元使微动平台及X粗动平台相对于Y粗动平台相对移动；及控制系统，控制音圈马达及空气致动器，基于使微动平台及X粗动平台相对于Y粗动平台相对移动时所要求的推力，控制音圈马达及空气致动器中的至少任一个致动器。
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公开(公告)号：CN104541208B
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201380042747.7
申请日：2013-07-09
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F9/00 , G05D3/12 , H01L21/027 , H01L21/68
Abstract: 通过使用与第一以及第二测量器的测量结果(X2、X1)对应的增益(或者传递函数)(α、β)求出合成量(Xc＝αX2+βX1)，并分别经由高通滤波器(F1)和低通滤波器(F2)合成该合成量(Xc)和第一以及第二测量器的一方的测量结果(X2、X1)，从而求出合成控制量(Xmix＝F1(Xc)+F2(X2、X1))。构成使用合成控制量(Xmix)和目标值(R)求出操作量(U)，并将该操作量(U)赋予控制对象的反馈控制系统。由此，不需要追加用于除去第一以及第二测量器的设置位置的偏移的高通滤波器，能够与谐振出现的频带无关地设计在高频带强健的控制平板工作台(PST)的驱动的驱动系统。
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公开(公告)号：CN112805536A
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN201980061537.X
申请日：2019-08-27
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 一种编码器，其设置于驱动装置，该驱动装置具备：马达部，其经由弹性体与固定部连结并驱动第1位移部；和传递部，其对第1位移部的位移进行转换而向第2位移部传递，该编码器具备：第1检测器，其检测第1位移部的第1位移信息；第2检测器，其检测第2位移部的第2位移信息；第3检测器，其检测马达部相对于固定部的第3位移信息；以及运算部，其使用第1位移信息和第2位移信息而求出与马达部的驱动量相关的信息，并使用第3位移信息而求出针对马达部的负荷的信息。能够以简单的结构高精度地检测马达的负荷。
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公开(公告)号：CN103620737A
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201280006512.8
申请日：2012-01-27
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社尼康
IPC: H01L21/027 , G03F7/20 , G05B11/36 , G05D3/12 , H01L21/68
CPC classification number: G03F7/70775 , G03F7/70725 , G03F7/70758
Abstract: 在相对于设置有对根据操作量被驱动的平板载台（PST）的位置（第1控制量）进行测量的干涉仪（18X）的平台（PTB）所表示共振模式表示反相的共振模式的滑架（30），设置对平板载台（PST）的位置（第2控制量）进行测量的干涉仪（18X1）。通过使用干涉仪（18X）以及干涉仪（18X1），能够设计驱动平板载台（PST）的高频带、鲁棒的驱动系统。
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公开(公告)号：CN111418077A
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201880076745.2
申请日：2018-11-19
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 红色发光二极管包括分别发出红色光的多个发光层、以及以当被附加电压则在发光层中发出红色光的方式与发光层接合的多个P层及N层，且为多个发光层与多个P层及N层于T方向上依次并列而接合。当利用红色发光二极管制造图像显示装置时，使红色发光二极管散乱在配置于基板的上表面的导引构件的上表面。有效率地进行发光元件的排列及图像显示装置的制造。
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公开(公告)号：CN119744329A
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202380055172.6
申请日：2023-07-25
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 一种对曝光设备的结构元件的振动进行控制的方法包括：接收结构元件的位置数据；至少部分地基于结构元件的位置数据及指定位置来确定位置误差信号；至少部分地基于位置误差信号及结构元件的指定振动模式频率来确定力命令以对所述指定振动模式频率进行阻尼；以及将力命令传送到致动器，使得所述致动器向结构元件施加力且至少在结构元件的指定振动模式频率下对结构元件的振动进行阻尼。
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公开(公告)号：CN109477501B
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN201780033547.3
申请日：2017-06-01
Applicant: 株式会社尼康
IPC: F15B9/08 , F15B11/028
Abstract: 一种用于定位一工件(22)的平台总成(10)，该平台总成包括一平台(14)、一底座(12)、一流体致动器总成(24)及一控制系统(20)。该流体致动器总成(24)沿着移动轴线(30)相对于该底座(12)来移动该平台(14)。该流体致动器总成(24)包括：一活塞壳体(32)，其界定一活塞腔室(34)；一活塞(36)，其定位于该活塞腔室(34)内且沿着一活塞轴线(36A)相对于该活塞腔室而移动；及一阀总成(38)，其控制一活塞流体进入该活塞腔室(34)的流动。该阀总成(38)包括具有一入口阀特性的一入口阀(38C)。该控制系统(20)控制该阀总成(38)以控制该活塞流体进入该活塞腔室(34)的该流动。该控制系统(20)可利用该入口阀特性的一反转以控制该阀总成(38)。
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公开(公告)号：CN110095945A
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201910001158.3
申请日：2013-07-09
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20 , G05B19/402 , G05B19/19 , H01L21/027
Abstract: 通过使用与第一以及第二测量器的测量结果(X2、X1)对应的增益(或者传递函数)(α、β)求出合成量(Xc＝αX2+βX1)，并分别经由高通滤波器(F1)和低通滤波器(F2)合成该合成量(Xc)和第一以及第二测量器的一方的测量结果(X2、X1)，从而求出合成控制量(Xmix＝F1(Xc)+F2(X2、X1))。构成使用合成控制量(Xmix)和目标值(R)求出操作量(U)，并将该操作量(U)赋予控制对象的反馈控制系统。由此，不需要追加用于除去第一以及第二测量器的设置位置的偏移的高通滤波器，能够与谐振出现的频带无关地设计在高频带强健的控制平板工作台(PST)的驱动的驱动系统。
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