公开(公告)号：CN103620737B

公开(公告)日：2016-12-28

申请号：CN201280006512.8

申请日：2012-01-27

Applicant: 国立大学法人东京大学 ,  株式会社尼康

Inventor： 藤本博志 ,  佐伯和明 ,  坂田晃一

IPC: G03F7/20 ,  G05B11/36 ,  G05D3/12 ,  H01L21/68 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70775 ,  G03F7/70725 ,  G03F7/70758

Abstract: 在相对于设置有对根据操作量被驱动的平板载台（PST）的位置（第1控制量）进行测量的干涉仪（18X）的平台（PTB）所表示共振模式表示反相的共振模式的滑架（30），设置对平板载台PST）的位置（第2控制量）进行测量的干涉仪18X1）。通过使用干涉仪（18X）以及干涉仪18X1），能够设计驱动平板载台（PST）的高频带、鲁棒的驱动系统。

公开(公告)号：CN103620737A

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：CN201280006512.8

申请日：2012-01-27

Applicant: 国立大学法人东京大学 ,  株式会社尼康

Inventor： 藤本博志 ,  佐伯和明 ,  坂田晃一

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  G05B11/36 ,  G05D3/12 ,  H01L21/68

CPC classification number: G03F7/70775 ,  G03F7/70725 ,  G03F7/70758

Abstract: 在相对于设置有对根据操作量被驱动的平板载台（PST）的位置（第1控制量）进行测量的干涉仪（18X）的平台（PTB）所表示共振模式表示反相的共振模式的滑架（30），设置对平板载台（PST）的位置（第2控制量）进行测量的干涉仪（18X1）。通过使用干涉仪（18X）以及干涉仪（18X1），能够设计驱动平板载台（PST）的高频带、鲁棒的驱动系统。

公开(公告)号：CN101855705A

公开(公告)日：2010-10-06

申请号：CN200880115228.8

申请日：2008-09-05

Applicant: 国立大学法人横滨国立大学 ,  株式会社尼康

Inventor： 藤本博志 ,  坂田晃一 ,  佐伯和明 ,  大友刚

IPC: H01L21/027 ,  F16F15/02 ,  G03F7/20 ,  H01L21/68

CPC classification number: F16F15/002 ,  G03F7/70525 ,  G03F7/70725 ,  G03F7/70758 ,  G03F7/709

Abstract: 本发明提供一种驱动控制方法、驱动控制装置、载台控制方法、载台控制装置、曝光方法、曝光装置及计测装置。其中，控制至少能在第1方向及与该第1方向不同的第2方向上移动的物体，并根据驱动信号以及扰动修正信号来控制施加于该物体的力，上述驱动信号，驱动用于使该物体在该第1方向上移动的第1致动器，上述扰动修正信号是根据在前述物体输出端在该第2方向的扰动信号而生成的。