公开(公告)号：CN110709793B

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN201880035547.1

申请日：2018-03-30

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 原笃史 ,  坂田晃一 ,  桥场成史

IPC: G05D3/12 ,  H01L21/68 ,  G03F7/20 ,  G05D3/00

公开(公告)号：CN110709793A

公开(公告)日：2020-01-17

申请号：CN201880035547.1

申请日：2018-03-30

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 原笃史 ,  坂田晃一 ,  桥场成史

IPC: G05D3/12 ,  H01L21/68 ,  G03F7/20 ,  G05D3/00

Abstract: 基板平台装置(20)包括：微动平台(24)；X粗动平台(34)；Y粗动平台(32)；致动器单元(70X1)，包括将使X粗动平台相对于Y粗动平台相对移动的推力设为第一推力而赋予至微动平台的音圈马达(72X)、及将所述推力设为大于第一推力的第二推力而赋予至微动平台的空气致动器(74X)，致动器单元使微动平台及X粗动平台相对于Y粗动平台相对移动；及控制系统，控制音圈马达及空气致动器，基于使微动平台及X粗动平台相对于Y粗动平台相对移动时所要求的推力，控制音圈马达及空气致动器中的至少任一个致动器。