公开(公告)号：CN110914554B

公开(公告)日：2022-07-19

申请号：CN201880019603.2

申请日：2018-02-12

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 永俊·崔 ,  佰学·杨 ,  李树平 ,  高瑞夫·盖斯瓦尼 ,  迪康·麦 ,  潘家田

IPC: F15B9/00 ,  F15B9/08 ,  F15B11/00 ,  F15B11/028

Abstract: 本发明提供一种载台组件(10)，其包括载台(14)，及使该载台(14)移动的流体致动器组件(24)。该流体致动器组件(24)包括：活塞壳体(32)，其界定活塞腔室(34)；(ii)活塞(36)，其将该活塞腔室(34)分成第一腔室(34A)及第二腔室(34B)；(iii)供应阀(38C)，其控制工作流体(40)进入该第一腔室(34A)的流动；及(iv)排出阀(38D)，其控制该工作流体(40)离开该第一腔室(34A)的流动。该供应阀(38C)具有具供应孔口面积的供应孔口(250G)，且该排出阀(38D)具有具排出孔口面积的排出孔口(352G)。此外，该供应孔口面积不同于该排出孔口面积。不同大小的其他多个阀可组合地使用以用于每一腔室(34A)、(34B)的供应及排出。

公开(公告)号：CN109477501B

公开(公告)日：2021-07-09

申请号：CN201780033547.3

申请日：2017-06-01

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 杨佰学 ,  崔永俊 ,  张秉威 ,  坂田晃一 ,  李树平

IPC: F15B9/08 ,  F15B11/028

Abstract: 一种用于定位一工件(22)的平台总成(10)，该平台总成包括一平台(14)、一底座(12)、一流体致动器总成(24)及一控制系统(20)。该流体致动器总成(24)沿着移动轴线(30)相对于该底座(12)来移动该平台(14)。该流体致动器总成(24)包括：一活塞壳体(32)，其界定一活塞腔室(34)；一活塞(36)，其定位于该活塞腔室(34)内且沿着一活塞轴线(36A)相对于该活塞腔室而移动；及一阀总成(38)，其控制一活塞流体进入该活塞腔室(34)的流动。该阀总成(38)包括具有一入口阀特性的一入口阀(38C)。该控制系统(20)控制该阀总成(38)以控制该活塞流体进入该活塞腔室(34)的该流动。该控制系统(20)可利用该入口阀特性的一反转以控制该阀总成(38)。

公开(公告)号：CN110914554A

公开(公告)日：2020-03-24

申请号：CN201880019603.2

申请日：2018-02-12

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 永俊·崔 ,  佰学·杨 ,  李树平 ,  高瑞夫·盖斯瓦尼 ,  迪康·麦 ,  潘家田

IPC: F15B9/00 ,  F15B9/08 ,  F15B11/00 ,  F15B11/028

Abstract: 本发明提供一种载台组件(10)，其包括载台(14)，及使该载台(14)移动的流体致动器组件(24)。该流体致动器组件(24)包括：活塞壳体(32)，其界定活塞腔室(34)；(ii)活塞(36)，其将该活塞腔室(34)分成第一腔室(34A)及第二腔室(34B)；(iii)供应阀(38C)，其控制工作流体(40)进入该第一腔室(34A)的流动；及(iv)排出阀(38D)，其控制该工作流体(40)离开该第一腔室(34A)的流动。该供应阀(38C)具有具供应孔口面积的供应孔口(250G)，且该排出阀(38D)具有具排出孔口面积的排出孔口(352G)。此外，该供应孔口面积不同于该排出孔口面积。不同大小的其他多个阀可组合地使用以用于每一腔室(34A)、(34B)的供应及排出。