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公开(公告)号：CN115784307A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211097886.7
申请日：2022-09-08
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 基于铂或石墨烯改性二维花瓣片状二硫化钼敏感材料的制备方法及应用，涉及一种二硫化钼敏感材料及应用。为了解决现有的二硫化钼敏感材料电导率和气敏灵敏度低、响应恢复速率慢等问题。本发明以钼酸铵作为钼源，硫脲作为硫源，以草酸作为溶解剂混合搅拌置于水热合成反应釜中进行反应制备形成二维花瓣片状形貌的二硫化钼。通过石墨烯改性杂化提高了二硫化钼材料电导率，增强了导电粒子运动速率，铂改性杂化提高了气敏吸附效率，气敏灵敏度得到提高；并且原料易得，成本低廉，制备方法简单，具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN117069165B
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202311025031.8
申请日：2023-08-15
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 一种Pd修饰二维多孔NiO/ZnO气敏材料的制备方法及其制备CO气体传感器的方法，本发明属于半导体化学量传感器敏感电子学领域。本发明为了解决ZnO半导体气体传感器灵敏度低，响应速率慢和易受干扰的技术问题。气敏材料的制备：采用水热法合成ZnO敏感材料；采用二次水热法在ZnO纳米结构表面原位生长NiO纳米颗粒，形成表面颗粒分布的二维多孔NiO/ZnO材料；使用稀盐酸溶解氯化钯沉浸形式进行贵金属Pd对NiO/ZnO材料进行修饰，通过高温分解形成金属杂化修饰和阳离子浓度提高。本发明显著提高了气敏材料对CO气体的灵敏度和响应恢复速率，特别是对CO实现了超快响应。本发明制备的基于酸性条件下Pd修饰的NiO/ZnO材料制备的气体传感器在CO有毒气体监测方面具有广泛前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115784307B
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202211097886.7
申请日：2022-09-08
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 基于铂或石墨烯改性二维花瓣片状二硫化钼敏感材料的制备方法及应用，涉及一种二硫化钼敏感材料及应用。为了解决现有的二硫化钼敏感材料电导率和气敏灵敏度低、响应恢复速率慢等问题。本发明以钼酸铵作为钼源，硫脲作为硫源，以草酸作为溶解剂混合搅拌置于水热合成反应釜中进行反应制备形成二维花瓣片状形貌的二硫化钼。通过石墨烯改性杂化提高了二硫化钼材料电导率，增强了导电粒子运动速率，铂改性杂化提高了气敏吸附效率，气敏灵敏度得到提高；并且原料易得，成本低廉，制备方法简单，具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN115096944A
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202210719616.9
申请日：2022-06-23
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: AlN陶瓷基四悬臂桥连微热板气体传感器阵列及其制备方法，本发明的目的是为了解决现有微热板传感器机械性能差、热干扰和热稳定性不足的问题。本发明AlN陶瓷基四悬臂桥连微热板气体传感器阵列中的衬底是在矩形框中设置四个悬臂，四个悬臂形成十字形结构，在每个悬臂的正面设置有叉指信号电极，每个悬臂的背面设置有加热器电极，加热器电极和信号电极正反面对称设置，在信号电极的电极间设置敏感膜形成传感器阵列单元，其中加热器电极为蛇形结构，衬底为AlN陶瓷基片。本发明加热器电极和信号电极为铂膜结构，且位置正反面对称，图案结构通过双面柔性机械光刻剥离工艺实现，AlN陶瓷基衬底的机械性能更好。
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公开(公告)号：CN117069165A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311025031.8
申请日：2023-08-15
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 一种Pd修饰二维多孔NiO/ZnO气敏材料的制备方法及其制备CO气体传感器的方法，本发明属于半导体化学量传感器敏感电子学领域。本发明为了解决ZnO半导体气体传感器灵敏度低，响应速率慢和易受干扰的技术问题。气敏材料的制备：采用水热法合成ZnO敏感材料；采用二次水热法在ZnO纳米结构表面原位生长NiO纳米颗粒，形成表面颗粒分布的二维多孔NiO/ZnO材料；使用稀盐酸溶解氯化钯沉浸形式进行贵金属Pd对NiO/ZnO材料进行修饰，通过高温分解形成金属杂化修饰和阳离子浓度提高。本发明显著提高了气敏材料对CO气体的灵敏度和响应恢复速率，特别是对CO实现了超快响应。本发明制备的基于酸性条件下Pd修饰的NiO/ZnO材料制备的气体传感器在CO有毒气体监测方面具有广泛前景。
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公开(公告)号：CN218726842U
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202222822016.3
申请日：2022-10-25
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 本实用新型涉及传感器技术领域，具体涉及一种带温度检测的层叠式MEMS气体传感器。包括单晶硅衬底、绝缘隔热层、加热电极层、下导热层、温度检测电极层、上导热层和叉指电极层。所述隔热层为覆盖在单晶硅表面的氧化硅，加热电极为云雷纹形铜电极，导热层为氮化铝薄膜，温度检测电极层为钯银合金，叉指电极为金电极。本实用新型采用强导电与强导热性能的铜电极，弱导电性能与较强导热性能的氮化铝，电阻温度系数低且电阻率稳定的钯银合金及强导电性能的金电极，通过带有微热板的温度传感器以满足微传感器和许多其他应用的温度控制要求,并且可以保持低功耗和快速热响应时间。
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公开(公告)号：CN212471499U
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN202020768076.X
申请日：2020-05-11
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: B25J9/10
Abstract: 一种基于气动人工肌肉的柔性机械手，包括机械臂，机械臂底端固定安装圆板，圆板侧面沿周向方向铰接数个竖直的圆柱形第一盒体，第一盒体均外接供气装置连接，第一盒体下方均设置数个竖直的圆柱形第二盒体，第二盒体首尾之间依次通过连接装置连接，最上端的第二盒体顶部通过连接装置与第一盒体底面连接，连接装置将每个盒体之间进行连通，且连接装置能够使盒体之间相互转动。本装置通过对装置供气能够有效的将一些球形易碎的物品托起，能够防止加持力过大而对产品造成损伤，且通过连接装置能够有效的增加和减少机械手臂的长度，能够适合不同尺寸的物品，同时也能够夹持住一些柱类的产品，使其适应性更加广泛。
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