公开(公告)号：CN115096944A

公开(公告)日：2022-09-23

申请号：CN202210719616.9

申请日：2022-06-23

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 赵文杰 ,  刘金伦 ,  闫瑞田 ,  李涵 ,  徐丹 ,  陈寅生

IPC: G01N27/00 ,  B81B1/00 ,  B81C1/00

Abstract: AlN陶瓷基四悬臂桥连微热板气体传感器阵列及其制备方法，本发明的目的是为了解决现有微热板传感器机械性能差、热干扰和热稳定性不足的问题。本发明AlN陶瓷基四悬臂桥连微热板气体传感器阵列中的衬底是在矩形框中设置四个悬臂，四个悬臂形成十字形结构，在每个悬臂的正面设置有叉指信号电极，每个悬臂的背面设置有加热器电极，加热器电极和信号电极正反面对称设置，在信号电极的电极间设置敏感膜形成传感器阵列单元，其中加热器电极为蛇形结构，衬底为AlN陶瓷基片。本发明加热器电极和信号电极为铂膜结构，且位置正反面对称，图案结构通过双面柔性机械光刻剥离工艺实现，AlN陶瓷基衬底的机械性能更好。

公开(公告)号：CN218974234U

公开(公告)日：2023-05-05

申请号：CN202221585660.7

申请日：2022-06-23

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 赵文杰 ,  潘泽西 ,  冉森私 ,  黎时涛 ,  李佳哲 ,  董新宇 ,  刘金伦

IPC: G01N27/00 ,  B81B1/00 ,  B81C1/00

Abstract: AlN陶瓷基四悬臂桥连微热板气体传感器阵列，本实用新型的目的是为了解决现有微热板传感器机械性能差、热干扰和热稳定性不足的问题。本实用新型AlN陶瓷基四悬臂桥连微热板气体传感器阵列中的衬底是在矩形框中设置四个悬臂，四个悬臂形成十字形结构，在每个悬臂的正面设置有叉指信号电极，每个悬臂的背面设置有加热器电极，加热器电极和信号电极正反面对称设置，在信号电极的电极间设置敏感膜形成传感器阵列单元，其中加热器电极为蛇形结构，衬底为AlN陶瓷基片。本实用新型加热器电极和信号电极为铂膜结构，且位置正反面对称，图案结构通过双面柔性机械光刻剥离工艺实现，AlN陶瓷基衬底的机械性能更好。