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公开(公告)号：CN1763504A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200510123582.3
申请日：2005-11-21
Abstract: 本发明属于显微成像及微观精密测量技术领域，涉及一种具有数十纳米横向分辨力的透射多光束共焦干涉显微镜，包括光源(1)，依次放在光源发射端的准直扩束器(2)、偏振分光镜(10)，放置在偏振分光镜(10)反射光路上的1/4波片(11)、显微物镜(4)，以及在偏振分光镜(10)透射光路上的聚光透镜(6)和位于聚光透镜(6)焦点位置的针孔(7)，贴近针孔后面的光电探测器(8)，还包括放置在偏振分光镜(10)和聚光透镜(6)之间的多光束发生器(12)。本发明可广泛用于微电子、材料、工业精密检测、生物医学等领域中进行高分辨力显微成像检测。
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公开(公告)号：CN1219231C
公开(公告)日：2005-09-14
申请号：CN200410033610.8
申请日：2004-04-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种光束漂移量快速反馈控制式高精度激光准直方法及装置，用于精密或超精密加工设备和测量中。本发明融合光束光强调制技术、光纤准直技术和光束漂移量高速反馈控制技术于一体，提供一种光束漂移量快速反馈控制式高精度激光准直方法与装置，其将激光光束调制为工频频率50 Hz的非整数倍的特定频率的交变光束，利用单模光纤进行初级准直，再将单模光纤初级准直后光束的漂移量分解为平漂量和角漂量，分别对其进行高精度锁相放大检测，并用相应的光束平漂量和角漂量反馈控制机构使光束平漂量和角漂量向减小的方向进行高速反馈交替调整，进而达到出射光束的高精度准直目的。
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公开(公告)号：CN1534329A
公开(公告)日：2004-10-06
申请号：CN200410033610.8
申请日：2004-04-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种光束漂移量快速反馈控制式高精度激光准直方法及装置，用于精密或超精密加工设备和测量中。本发明融合光束光强调制技术、光纤准直技术和光束漂移量高速反馈控制技术于一体，提供一种光束漂移量快速反馈控制式高精度激光准直方法与装置，其将激光光束调制为工频频率50Hz的非整数倍的特定频率的交变光束，利用单模光纤进行初级准直，再将单模光纤初级准直后光束的漂移量分解为平漂量和角漂量，分别对其进行高精度锁相放大检测，并用相应的光束平漂量和角漂量反馈控制机构使光束平漂量和角漂量向减小的方向进行高速反馈交替调整，进而达到出射光束的高精度准直目的。
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公开(公告)号：CN1323309C
公开(公告)日：2007-06-27
申请号：CN200510123581.9
申请日：2005-11-21
Abstract: 本发明属于显微成像及微观精密测量技术领域，涉及一种具有数十纳米横向分辨力的反射多光束共焦干涉显微镜，包括光源(1)，依次放在光源发射端的准直扩束器(2)、第一偏振分光镜(10)，放置在第一偏振分光镜(10)反射光路上的第一1/4波片(11)、显微物镜(4)，以及在共焦接收光路中的聚光透镜(6)和位于聚光透镜(6)焦点位置的针孔(7)，贴近针孔后面的光电探测器(8)，其特征在于还包括依次放置在显微物镜(4)光轴上并处在第一偏振分光镜(10)位置后的第二偏振分光镜(10′)、第二1/4波片(11′)和多光束发生器(12)。本发明可广泛应用于微电子、材料、工业精密检测、生物医学等领域中进行高分辨力显微成像检测。
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公开(公告)号：CN1261791C
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：CN200410074459.2
申请日：2004-09-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于光学显微成像及微观测量技术领域，涉及一种具有高性噪比和三维超分辨成像能力的整形环形光三差动共焦显微镜，主要包括激光器(1)，扩束器(2)、偏振分光镜(6)、λ/4波片(7)，显微物镜(8)、聚光镜(11)、(15)和(18)；以及针孔(12)、(16)、(19)和探测器(13)、(17)、(20)，还包括一个位于扩束器(2)和偏振分光镜(6)之间，整形入射光为环形光的环形光整形器件(4)，和一个位于偏振分光镜(6)和环形光整形器件(4)之间，调整入射环形光归一化半径的可调光阑(5)。本发明中的环形光整形器件，将三差动共焦显微镜入射激光光束整形为超分辨所需的特定结构的环形光束，来改善共焦显微镜的横向分辨力，并采用三差动共焦显微镜的光路布置提高共焦显微镜的轴向分辨力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1645047A
公开(公告)日：2005-07-27
申请号：CN200510002287.2
申请日：2005-01-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B21/20
Abstract: 本发明属于精密仪器制造及测量技术领域，特别是一种超精密圆度误差分离方法。该方法在分离过程中通过选择恰当的转位角α，使工件相对回转主轴进行相应角度的单次小角度转位，通过测量工件转位前和转位后包括工件误差g(n)和主轴回转误差z(n)在内的综合误差A(n)和B(n)，利用快速傅里叶级数变换和谐波分析等数学处理方法，实现z(n)和g(n)在1－100upr谐波范围的全谐波分离。与目前圆度仪普遍采用的“多步法”误差分离技术相比，该方法根除了其在1－100upr谐波范围内的“谐波奇异”问题，同时使基于该方法上的误差分离系统大为简化，缩短了分离过程，减少了分离时间。此方法可为纳米精度回转基准的建立提供一种理想的圆度误差分离方法。
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公开(公告)号：CN1632336A
公开(公告)日：2005-06-29
申请号：CN200510009637.8
申请日：2005-01-18
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明“分立式人字槽动静压气体复合球面轴承”涉及一种高速、高刚度、大载荷超精密螺旋槽动静压气体复合球面轴承，在球面轴承工作面上，静压气浮供气点分布圆两侧分别开有人字形动压沟槽，在不增加气浮轴承耗气量的情况下，轴承承载能力比传统静压气浮轴承提高30％以上，轴承刚度比传统静压气浮轴承提高15％以上。
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公开(公告)号：CN1584495A
公开(公告)日：2005-02-23
申请号：CN200410062208.2
申请日：2004-06-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种激光透、反组合监测补偿式圆柱度仪直线运动基准装置，属于表面形状测量技术领域，特别适应于超精密圆柱度测量装置。本发明将激光透反组合监测补偿技术、主副双导轨直行技术和隔离式抗干扰驱动技术集为一体，以激光光束作为物理基准，依据导轨直线运动基准运动误差对圆柱度测量装置测量结果的作用规律，提供一种基于激光透、反组合监测补偿式主副双导轨结构的超精密圆柱度直线运动基准装置，克服了已有圆柱度测量装置直线运动基准技术的不足。
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公开(公告)号：CN100494874C
公开(公告)日：2009-06-03
申请号：CN200610056957.3
申请日：2006-03-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于精密仪器测量技术领域。特别是一种具有自身参照和自校准特征的圆柱度测量仪组合式基准间误差分离方法。本发明的方法采用单传感器测量，通过对被测工件进行正向放置与倒向放置两个测回，经过简单的数据处理，便可分离出被测工件自身的形状误差与导轨相对主轴回转轴线的倾斜量，可完全去除倾斜量对圆柱形状超精密测量的影响，使圆柱形状测量用空间运动基准精度水平较一般精密空间运动基准提高一个数量级以上。
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公开(公告)号：CN1304880C
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200510089852.3
申请日：2005-08-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种漂移量靶标反馈控制的长距离二维光电自准直装置和方法。装置包括二维光电自准直光管、计算机、二维光束偏转装置，和漂移量监测装置，还包括分光式靶标探测器，该分光式靶标探测器位于二维光束偏转装置和漂移量监测装置之间，分光式靶标探测器在获取其二维小角度变化量的测量信号的同时分离并反馈回与测量光束特性完全相同的角漂移分量反馈光束，漂移量监测装置对角漂移分量反馈光束的角漂移量进行实时监测，计算机根据漂移量监测装置监测得到的角漂移量实时控制二维光束偏转装置，将测量光束按照角漂移量相反的方向进行调整，抑制耦合在测量信号中的测量光束的角漂移量，在增大二维光电自准直仪的测量距离的同时提高了测量稳定性。
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