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公开(公告)号：CN100494874C
公开(公告)日：2009-06-03
申请号：CN200610056957.3
申请日：2006-03-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于精密仪器测量技术领域。特别是一种具有自身参照和自校准特征的圆柱度测量仪组合式基准间误差分离方法。本发明的方法采用单传感器测量，通过对被测工件进行正向放置与倒向放置两个测回，经过简单的数据处理，便可分离出被测工件自身的形状误差与导轨相对主轴回转轴线的倾斜量，可完全去除倾斜量对圆柱形状超精密测量的影响，使圆柱形状测量用空间运动基准精度水平较一般精密空间运动基准提高一个数量级以上。
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公开(公告)号：CN1272599C
公开(公告)日：2006-08-30
申请号：CN200510007217.6
申请日：2005-02-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B5/20
Abstract: 本发明属于精密仪器制造及测量技术领域，特别是一种可实时分离主轴空间回转误差、导轨直行运动误差、导轨与回转轴线间平行度误差的圆柱度测量方法及装置。本发明的装置包括传感器(1)和传感器(2)、回转工作台(4)、基座(5)、导轨气浮套(6)和立式导轨(7)组成的立式导轨系统，误差分离转台(8)，其特征在于误差分离转台(8)置于回转工作台(4)上，被测件(3)置于误差分离转台(8)上，其可分别随回转工作台(4)和误差分离转台(8)回转，传感器(1)和传感器(2)随导轨气浮套(6)沿立式导轨(7)上下运动，且传感器(1)和传感器(2)在被测件(3)的两侧径向对称分布。
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公开(公告)号：CN1811332A
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN200610056957.3
申请日：2006-03-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于精密仪器测量技术领域，特别是一种具有自身参照和自校准特征的圆柱度测量仪组合式基准间误差分离方法。本发明的方法采用单传感器测量，通过对被测工件进行正向放置与倒向放置两个测回，经过简单的数据处理，便可分离出被测工件自身的形状误差与导轨相对主轴回转轴线的倾斜量，可完全去除倾斜量对圆柱形状超精密测量的影响，使圆柱形状测量用空间运动基准精度水平较一般精密空间运动基准提高一个数量级以上。
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公开(公告)号：CN1645033A
公开(公告)日：2005-07-27
申请号：CN200510007217.6
申请日：2005-02-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于精密仪器制造及测量技术领域，特别是一种可实时分离主轴空间回转误差、导轨直行运动误差、导轨与回转轴线间平行度误差的圆柱度测量方法及装置。本发明的装置包括传感器(1)和传感器(2)、回转工作台(4)、基座(5)、导轨气浮套(6)和立式导轨(7)组成的立式导轨系统，误差分离转台(8)，其特征在于误差分离转台(8)置于回转工作台(4)上，被测件(3)置于误差分离转台(8)上，其可分别随回转工作台(4)和误差分离转台(8)回转，传感器(1)和传感器(2)随导轨气浮套(6)沿立式导轨(7)上下运动，且传感器(1)和传感器(2)在被测件(3)的两侧径向对称分布。
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