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公开(公告)号：CN104865032B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201510236217.7
申请日：2015-05-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 磁场跟踪补偿的长永磁管向心励磁圆柱形低频振动校准台属于振动计量技术领域；提出一种圆柱形封闭式磁场结构设计，永磁管以粘接方式同轴装配在长圆筒形外磁轭内部进行励磁，永磁管内表面磁极的极性相同，通过磁轭构成闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的磁场分布，中心磁轭上均匀地绕有补偿线圈，形成补偿磁场对电枢反应的影响进行同步跟踪补偿，与静压气浮导向技术有机融合设计，同时获得突出的电磁驱动力学性能和高运动导向精度；本发明可兼顾大行程、大推力、线性电磁驱动力特性和高运动导向精度，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的高性能低频振动校准台技术方案。
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公开(公告)号：CN104865029B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201510235673.X
申请日：2015-05-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 长永磁管向心励磁的圆柱形封闭磁场式电磁振动台磁路结构属于振动计量技术领域；提出一种圆柱形封闭式磁场结构设计，永磁管以粘接方式同轴装配在长圆筒形外磁轭内部，永磁管内圆柱面磁极的极性相同，通过磁轭构成闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的磁场分布，工作线圈通电后在磁场中受洛伦兹力作用，产生精密可控的电磁驱动力，与气隙相邻的中心磁轭表面设有深沟槽形式的阵列式微结构，可有效抑制涡流损耗；本发明可兼顾大行程、高磁场均匀性、大推力和线性电磁驱动力特性，可有效解决现有技术方案存在的不足，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的电磁振动台磁路结构技术方案。
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公开(公告)号：CN103790651B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201410052239.3
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于气/磁混合导向的航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气磁结合回转轴系确定回转基准；依据光电编码器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN103786044B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201410051849.1
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23Q3/00
CPC classification number: B23B31/402 , B23B31/204 , B23Q3/08 , B23Q2703/10 , Y10T279/1012 , Y10T279/1258
Abstract: 气动式精密环形工件内定位面夹持装置属于工夹器具，在筒身的上、下端面上分别固装上、下板，楔形块固装在上板上，活塞总成插装在楔形块中心孔内，且位于筒身的密闭腔室内，在活塞总成的活塞部位外圆表面上配装密封圈，叠簧套装在活塞总成上，其上、下端面分别与上板和活塞总成接触配合，在下板和筒身上分别设置进气孔和排气孔，弹性铰链块套装在楔形块外部上，限位圈嵌套在弹性铰链块外部上，通过预紧螺钉将转接板安装在活塞总成上端部上，转接板与弹性铰链块固接，调整旋钮配装在转接板上，限位螺钉和限位柱插装在转接板上，并与楔形块螺纹连接；本装置结构简单，作业质量好，可靠性高，适应能力强。
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公开(公告)号：CN103791831B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201410052257.1
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B7/312
Abstract: 基于四路电感传感器测量的航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于磁浮回转轴系确定回转基准；依据光栅尺确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103791830A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201410052092.8
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于电容测量与圆光栅测角的航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气浮回转轴系确定回转基准；依据光栅尺确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN103791824A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201410052244.4
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于感应同步器测角的气动抓卡式航空发动机转子磁浮装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于磁浮回转轴系确定回转基准；依据感应同步器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN103791823A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201410052243.X
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于四爪液压抓卡的航空发动机转子磁浮电驱动装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于磁浮回转轴系确定回转基准；依据光栅尺确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN103769898A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201410051818.6
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: B25B11/00 , B23Q3/00 , B23Q2703/04 , B25B11/02
Abstract: 基于跟踪随预紧的精密液压抓卡机构属于工夹器具，在筒身的上、下端面上分别固装上、下板，楔形块固装在上板上，活塞总成插装在楔形块中心孔内，且位于筒身的密闭腔室内，在活塞总成的活塞部位外圆表面上配装密封圈，叠簧套装在活塞总成上，其上、下端面分别与上板和活塞总成接触配合，在筒身上设置排气孔，筒身下腔室经管道与油箱固接，液压泵接入管道内，弹性铰链块套装在楔形块外部上，通过预紧螺钉将转接板安装在活塞总成上端部上，转接板与弹性铰链块固接，调整旋钮配装在转接板上，限位螺钉和限位柱插装在转接板上，并与楔形块螺纹连接；本装置结构简单，作业质量好，可靠性高，适应能力强。
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公开(公告)号：CN102495528A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201110377833.6
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 基于随动防转机构双工件台同相位回转交换方法与装置属于半导体制造装备技术，该装置包含两个工件台、一个回转转接台和两个随动防转机构；在双工件台回转交换过程中，回转转接台抓卡住双工件台，绕基台中心回转，实现曝光工位和预处理工位的交换，随动防转机构控制双工件台的自转，保证双工件台在换台过程中的同相位；本发明解决了现有线性换台方案换台节拍多、冲击转矩大、现有旋转换台方案双工件台传感器和标记板相位反转、线缆缠绕及激光干涉仪目标丢失等问题，采用较小的质量平衡系统，有利于缩短平衡时间，同时简化系统、降低成本、减少换台节拍、缩短换台时间，有效提高了光刻机产率。
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