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公开(公告)号：CN100337092C
公开(公告)日：2007-09-12
申请号：CN200510117263.1
申请日：2005-11-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域，特别涉及一种漂移量靶标反馈的长距离高精度二维偏振光电自准直装置和方法。二维光电自准直光管采用偏振激光光源、偏振分光镜和λ/4波片组合，利用激光的偏振特性避免测量光束回馈激光光源进而避免测量光束进一步的角漂移量；分光式靶标探测器在获取其二维小角度变化量的测量信号的同时分离并反馈回与测量光束特性完全相同的激光光源固有的角漂移分量反馈光束，漂移量监测装置对其角漂移量进行实时监测，计算机根据其监测得到的角漂移量实时控制二维光束偏转装置，将测量光束按照角漂移量相反的方向进行调整，抑制和消除在测量光束传播途径中耦合在测量光束中的角漂移量。
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公开(公告)号：CN1304880C
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200510089852.3
申请日：2005-08-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种漂移量靶标反馈控制的长距离二维光电自准直装置和方法。装置包括二维光电自准直光管、计算机、二维光束偏转装置，和漂移量监测装置，还包括分光式靶标探测器，该分光式靶标探测器位于二维光束偏转装置和漂移量监测装置之间，分光式靶标探测器在获取其二维小角度变化量的测量信号的同时分离并反馈回与测量光束特性完全相同的角漂移分量反馈光束，漂移量监测装置对角漂移分量反馈光束的角漂移量进行实时监测，计算机根据漂移量监测装置监测得到的角漂移量实时控制二维光束偏转装置，将测量光束按照角漂移量相反的方向进行调整，抑制耦合在测量信号中的测量光束的角漂移量，在增大二维光电自准直仪的测量距离的同时提高了测量稳定性。
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公开(公告)号：CN1304879C
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200510077456.9
申请日：2005-06-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域，特别涉及一种基于光程倍增补偿方法的高精度二维光电自准直装置和测量方法。该装置包括依次放置的激光光源、分划板、主分光镜、主CCD图像传感器、准直物镜、测量反射镜，在激光光源和分划板之间放置一前置分光镜，获取与测量光束特性完全相同的参考光束，一光程倍增装置对参考光束进行多次反射，一前置CCD图像传感器对光束的角漂移量进行监测；所说的光程倍增装置由相对平行放置的两个平面反射镜组成，或由相对放置的直角棱镜组成，或由多个成对平行放置的平面反射镜组成，还可包括一个位于参考光束路径上的附加平面反射镜。本发明可显著提高二维光电自准直仪的测量稳定性和测量精度。
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公开(公告)号：CN1719192A
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：CN200510077456.9
申请日：2005-06-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域，特别涉及一种基于光程倍增补偿方法的高精度二维光电自准直装置和测量方法。该装置包括依次放置的激光光源、分划板、主分光镜、主CCD图像传感器、准直物镜、测量反射镜，在激光光源和分划板之间放置一前置分光镜，获取与测量光束特性完全相同的参考光束，一光程倍增装置对参考光束进行多次反射，一前置CCD图像传感器对光束的角漂移量进行监测；所说的光程倍增装置由相对平行放置的两个平面反射镜组成，或由相对放置的直角棱镜组成，或由多个成对平行放置的平面反射镜组成，还可包括一个位于参考光束路径上的附加平面反射镜。本发明可显著提高二维光电自准直仪的测量稳定性和测量精度。
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公开(公告)号：CN1687702A
公开(公告)日：2005-10-26
申请号：CN200510072253.0
申请日：2005-05-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域，特别涉及一种基于动态差动补偿方法实时补偿光束的角漂移量的高精度二维光电自准直装置和测量方法。所述装置包括依次放置的光源、分划板、CCD图像传感器、分光棱镜、准直物镜和测量反射镜，在准直物镜和测量反射镜之间放置一分光镜片。分光镜片为光学基片的两面分别镀有分光膜和增透膜，光学基片的表面粗糙度优于0.08um，镜片两面的平行度小于10″，所镀分光膜的分光比为：52/48≤T/R≤72/28，增透膜要求透过率系数α≥99％。本发明采用新颖的共光路光学差动结构，将光束的角漂移量转变为共模误差，实时分离和动态补偿光束的角漂移量引起的角度测量偏差，提高二维光电自准直仪的测量稳定性、重复性和测量不确定度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1329711C
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200510102478.6
申请日：2005-09-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G01B5/201 , G01B11/007
Abstract: 本发明公开了一种基于双光纤耦合的微小内腔体尺寸测量装置包括：瞄准及发讯装置，用以产生瞄准信号，并将瞄准结果反馈给控制装置、测长装置，用以在测量瞄准及发讯装置发出的启测及停测信号的时间间隔内测量被测微小腔体移动的距离、和控制装置，用以对整个测量装置的自动测量过程进行控制；其特征在于：所述瞄准及发讯装置包括激光耦合单元、数据采集处理单元和双光纤耦合单元；在双光纤耦合单元中，一根光纤作为入射光纤，另一根作为出射光纤，两根光纤的一端与耦合器固定连接。本发明还公开了一种基于双光纤耦合的微小内腔体尺寸测量方法。
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公开(公告)号：CN1719193A
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：CN200510089852.3
申请日：2005-08-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明涉及一种漂移量靶标反馈控制的长距离二维光电自准直装置和方法。装置包括二维光电自准直光管、计算机、二维光束偏转装置，和漂移量监测装置，还包括分光式靶标探测器，该分光式靶标探测器位于二维光束偏转装置和漂移量监测装置之间，分光式靶标探测器在获取其二维小角度变化量的测量信号的同时分离并反馈回与测量光束特性完全相同的角漂移分量反馈光束，漂移量监测装置对角漂移分量反馈光束的角漂移量进行实时监测，计算机根据漂移量监测装置监测得到的角漂移量实时控制二维光束偏转装置，将测量光束按照角漂移量相反的方向进行调整，抑制耦合在测量信号中的测量光束的角漂移量，在增大二维光电自准直仪的测量距离的同时提高了测量稳定性。
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公开(公告)号：CN1281921C
公开(公告)日：2006-10-25
申请号：CN200510072253.0
申请日：2005-05-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域，特别涉及一种基于动态差动补偿方法实时补偿光束的角漂移量的高精度二维光电自准直装置和测量方法。所述装置包括依次放置的光源、分划板、CCD图像传感器、分光棱镜、准直物镜和测量反射镜，在准直物镜和测量反射镜之间放置一分光镜片。分光镜片为光学基片的两面分别镀有分光膜和增透膜，光学基片的表面粗糙度优于0.08μm，镜片两面的平行度小于10″，所镀分光膜的分光比为：52/48≤T/R≤72/28，增透膜要求透过率系数α≥99%。本发明采用新颖的共光路光学差动结构，将光束的角漂移量转变为共模误差，实时分离和动态补偿光束的角漂移量引起的角度测量偏差，提高二维光电自准直仪的测量稳定性、重复性和测量不确定度。
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公开(公告)号：CN1760636A
公开(公告)日：2006-04-19
申请号：CN200510117263.1
申请日：2005-11-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域，特别涉及一种漂移量靶标反馈的长距离高精度二维偏振光电自准直装置和方法。二维光电自准直光管采用偏振激光光源、偏振分光镜和λ/4波片组合，利用激光的偏振特性避免测量光束回馈激光光源进而避免测量光束进一步的角漂移量；分光式靶标探测器在获取其二维小角度变化量的测量信号的同时分离并反馈回与测量光束特性完全相同的激光光源固有的角漂移分量反馈光束，漂移量监测装置对其角漂移量进行实时监测，计算机根据其监测得到的角漂移量实时控制二维光束偏转装置，将测量光束按照角漂移量相反的方向进行调整，抑制和消除在测量光束传播途径中耦合在测量光束中的角漂移量。
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公开(公告)号：CN1731084A
公开(公告)日：2006-02-08
申请号：CN200510102478.6
申请日：2005-09-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G01B5/201 , G01B11/007
Abstract: 本发明公开了一种基于双光纤耦合的微小内腔体尺寸测量装置包括：瞄准及发讯装置，用以产生瞄准信号，并将瞄准结果反馈给控制装置、测长装置，用以在测量瞄准及发讯装置发出的启测及停测信号的时间间隔内测量被测微小腔体移动的距离、和控制装置，用以对整个测量装置的自动测量过程进行控制；其特征在于：所述瞄准及发讯装置包括激光耦合单元、数据采集处理单元和双光纤耦合单元；在双光纤耦合单元中，一根光纤作为入射光纤，另一根作为出射光纤，两根光纤的一端与耦合器固定连接。本发明还公开了一种基于双光纤耦合的微小内腔体尺寸测量方法。
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