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公开(公告)号：CN108292576B
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN201680065979.8
申请日：2016-11-15
申请人： 卡文迪什动力有限公司
发明人： 罗伯托·彼得勒斯·范·卡普恩 , 理查德·L·奈普 , 迈克·雷诺 , 希巴乔蒂·高希·达斯蒂德尔 , 杰奎斯·马赛尔·穆扬戈
摘要： 一种MEMS开关包括位于衬底101上的RF电极102、下拉电极104和锚电极108。多个岛状物226被提供在下拉电极中，并且与其电隔离。RF电极的顶部上是RF触点206，在下拉状态中，MEMS桥212、214形成与该RF触点206的欧姆接触。下拉电极104覆盖有介电层202以避免桥和下拉电极之间短路。接触止挡块224设置在介电层202上的对应于岛状物226的位置处，并且在下拉状态中，在桥和介电层之间产生的间隙减少了电介质充电。在替代实施例中，接触止挡块被提供在介电层202内或设置在岛状物自身上并在介电层之下。开关提供了在宽电压工作范围上对MEMS开关的接触电阻的良好可控性。
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公开(公告)号：CN108352262B
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201680066391.4
申请日：2016-11-14
申请人： 卡文迪什动力有限公司
发明人： 罗伯托·彼得勒斯·范·卡普恩 , 詹姆斯·道格拉斯·霍夫曼 , 迈克·雷诺 , 希巴乔蒂·高希·达斯蒂德尔 , 杰奎斯·马赛尔·穆扬戈
摘要： 本发明总体上涉及一种制造MEMS开关的机构，通过避免电流流过从RF接触部到底层RF电极的通孔中的薄侧壁而使得MEMS开关具有稳健的RF接触部。
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公开(公告)号：CN105593157A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201480054613.1
申请日：2014-09-15
申请人： 卡文迪什动力有限公司
发明人： 迈克·雷诺
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/0038 , B81C1/00801 , B81C2201/0108 , B81C2201/0176 , B81C2201/053
摘要： 本发明总体涉及形成MEMS器件的方法以及通过该方法形成的MEMS器件。在形成MEMS器件时，在腔体内围绕开关元件沉积牺牲材料。所述牺牲材料最终被移除以释放腔内的开关元件。所述开关元件具有在其之上的薄介电层以阻止蚀刻剂与该开关元件的导电材料相互作用。在制造过程期间，介电层被沉积在牺牲材料之上。为了确保介电层和牺牲材料之间的良好粘附，在将介电层沉积在牺牲材料上之前在牺牲材料上沉积富含硅的氧化硅层。
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公开(公告)号：CN103732528A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201280038717.4
申请日：2012-08-03
申请人： 卡文迪什动力有限公司
发明人： 布莱恩·I·特洛伊 , 迈克·雷诺 , 托马斯·L·麦圭尔 , 约瑟夫·达米安·戈登·拉西 , 詹姆斯·F·波比亚
CPC分类号： B81C1/00484 , B81B3/0008 , B81B2201/014 , B81B2201/018 , B81B2203/0118 , B81C2201/0108 , H01H1/0036 , H01H2001/0089
摘要： 本发明通常涉及一种来自附着力促进剂材料的硅残留物从空腔底部减少或甚至消除的MEMS装置。附着力促进剂典型地用于将牺牲材料粘附到衬底上的材料。然后，将附着力促进剂与牺牲材料层一起移除。然而，在移除时附着力促进剂在空腔内留下基于硅的残留物。本发明人发现可以在沉积牺牲材料之前将附着力促进剂从空腔区域移除。残留在衬底的剩余部分上的附着力促进剂足以将牺牲材料粘附到衬底，而不用担心牺牲层脱层。因为在装置的空腔区域中不使用附着力促进剂，所以在解放MEMS装置的开关元件之后在空腔内不会存在硅残留物。
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公开(公告)号：CN105593157B
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201480054613.1
申请日：2014-09-15
申请人： 卡文迪什动力有限公司
发明人： 迈克·雷诺
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/0038 , B81C1/00801 , B81C2201/0108 , B81C2201/0176 , B81C2201/053
摘要： 本发明总体涉及形成MEMS器件的方法以及通过该方法形成的MEMS器件。在形成MEMS器件时，在腔体内围绕开关元件沉积牺牲材料。所述牺牲材料最终被移除以释放腔内的开关元件。所述开关元件具有在其之上的薄介电层以阻止蚀刻剂与该开关元件的导电材料相互作用。在制造过程期间，介电层被沉积在牺牲材料之上。为了确保介电层和牺牲材料之间的良好粘附，在将介电层沉积在牺牲材料上之前在牺牲材料上沉积富含硅的氧化硅层。
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公开(公告)号：CN103889887B
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201280042820.6
申请日：2012-08-31
申请人： 卡文迪什动力有限公司
发明人： 罗伯托·彼得勒斯·范-卡普恩 , 迈克·雷诺 , 维克拉姆·乔希 , 理查德·L·奈普 , 阿奈兹·乌纳穆诺
CPC分类号： B81B7/00 , B81B2201/016 , B81B2203/0307 , B81C1/00039 , B81C2203/0136 , H01G5/16 , H01H59/0009 , Y10T29/49105
摘要： 本发明的实施例通常涉及一种使用进行沉积以形成空腔密封层的层和/或进行沉积以形成释放电极的层而被锚固的MEMS装置。MEMS装置的开关元件会具有柔性部分或可移动部分，还会具有电连接到接地的固定部分或锚固部分。用于密封其中设置有开关元件的空腔的层还可以连接到开关元件的固定部分或锚固部分，以在空腔内对固定部分或锚固部分进行锚固。另外，用于形成电极之一的层可以用于提供在空腔内对固定部分或锚固部分进行锚固的另外的杠杆。在任一
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公开(公告)号：CN105593964A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201480054306.3
申请日：2014-09-24
申请人： 卡文迪什动力有限公司
发明人： 迈克·雷诺 , 维克拉姆·乔希 , 罗伯托·彼得勒斯·范·卡普恩 , 托马斯·L·麦圭尔 , 理查德·L·奈普
CPC分类号： H01G5/16 , B81B3/0086 , B81B2201/0221 , B81B2203/04 , B81C1/00166 , B81C2201/0104 , B81C2201/0109 , H01G5/011 , H01H59/0009
摘要： 本发明总体上涉及MEMS器件及其制造方法。RF电极、以及因此在该RF电极上的介电层具有曲形上表面，该上表面与可移动板底面的接触区域基本匹配。如此，可移动板能够具有与介电层的良好接触，并且因此获得良好的电容。
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公开(公告)号：CN105555704A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201480048429.6
申请日：2014-09-02
申请人： 卡文迪什动力有限公司
发明人： 布莱恩·I·特洛伊 , 詹姆斯·F·波比亚 , 迈克·雷诺 , 约瑟夫·达米安·戈登·拉西 , 托马斯·L·麦圭尔
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00611 , H01G5/16
摘要： 本发明总体上涉及一种制造MEMS器件的方法。在MEMS器件中，可移动板被布置在空腔内，使得可移动板能够在所述空腔内移动。为了形成空腔，可以沉积牺牲材料然后将所述可移动板的材料沉积于其上。所述牺牲材料被移除以释放可移动板在所述空腔内移动。牺牲材料一旦被沉积，就可能不是足够平面的，这是因为所述牺牲材料的最高点与最低点之间的高度差可能是相当大的。为了确保可移动板是足够平面的，牺牲材料的平面度应当被最大化。为了使牺牲材料的表面平面度最大化，牺牲材料可以被沉积然后被传导加热以允许牺牲材料回流并且由此被平面化。
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公开(公告)号：CN103443020A
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201280005251.8
申请日：2012-01-13
申请人： 卡文迪什动力有限公司
发明人： 迈克·雷诺 , 约瑟夫·达米安·戈登·拉西 , 维克拉姆·乔希 , 托马斯·L·麦圭尔
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2203/0118 , B81B2203/0307 , B81B2207/096 , B81C1/00039 , B81C1/00333 , B81C1/00476 , B81C2201/0132 , B81C2201/014 , B81C2203/0145 , B81C2203/0714
摘要： 本发明一般涉及生产MEMS或NEMS器件的方法及器件本身。具有比悬臂结构体低的复合系数的材料的薄层可沉积于悬臂结构体、RF电极和拉拔电极上。该薄层允许引入至空腔的蚀刻气体降低空腔内的总蚀刻剂复合速率，因此增加空腔内牺牲材料的蚀刻速率。蚀刻剂本身可经由与悬臂结构体的锚定部分线性对准的包封层中的开口引入，使得牺牲材料的最顶层首先得以蚀刻。此后，密封材料可密封空腔并在空腔中一直延伸至锚定部分以为锚定部分提供额外的强度。
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