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公开(公告)号：CN105555704A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201480048429.6
申请日：2014-09-02
Applicant: 卡文迪什动力有限公司
Inventor： 布莱恩·I·特洛伊 , 詹姆斯·F·波比亚 , 迈克·雷诺 , 约瑟夫·达米安·戈登·拉西 , 托马斯·L·麦圭尔
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00611 , H01G5/16
Abstract: 本发明总体上涉及一种制造MEMS器件的方法。在MEMS器件中，可移动板被布置在空腔内，使得可移动板能够在所述空腔内移动。为了形成空腔，可以沉积牺牲材料然后将所述可移动板的材料沉积于其上。所述牺牲材料被移除以释放可移动板在所述空腔内移动。牺牲材料一旦被沉积，就可能不是足够平面的，这是因为所述牺牲材料的最高点与最低点之间的高度差可能是相当大的。为了确保可移动板是足够平面的，牺牲材料的平面度应当被最大化。为了使牺牲材料的表面平面度最大化，牺牲材料可以被沉积然后被传导加热以允许牺牲材料回流并且由此被平面化。
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公开(公告)号：CN105555704B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201480048429.6
申请日：2014-09-02
Applicant: 卡文迪什动力有限公司
Inventor： 布莱恩·I·特洛伊 , 詹姆斯·F·波比亚 , 迈克·雷诺 , 约瑟夫·达米安·戈登·拉西 , 托马斯·L·麦圭尔
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00611 , H01G5/16
Abstract: 本发明总体上涉及一种制造MEMS器件的方法。在MEMS器件中，可移动板被布置在空腔内，使得可移动板能够在所述空腔内移动。为了形成空腔，可以沉积牺牲材料然后将所述可移动板的材料沉积于其上。所述牺牲材料被移除以释放可移动板在所述空腔内移动。牺牲材料一旦被沉积，就可能不是足够平面的，这是因为所述牺牲材料的最高点与最低点之间的高度差可能是相当大的。为了确保可移动板是足够平面的，牺牲材料的平面度应当被最大化。为了使牺牲材料的表面平面度最大化，牺牲材料可以被沉积然后被传导加热以允许牺牲材料回流并且由此被平面化。
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公开(公告)号：CN103732528B
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201280038717.4
申请日：2012-08-03
Applicant: 卡文迪什动力有限公司
Inventor： 布莱恩·I·特洛伊 , 迈克·雷诺 , 托马斯·L·麦圭尔 , 约瑟夫·达米安·戈登·拉西 , 詹姆斯·F·波比亚
Abstract: 本发明通常涉及一种来自附着力促进剂材料的硅残留物从空腔底部减少或甚至消除的MEMS装置。附着力促进剂典型地用于将牺牲材料粘附到衬底上的材料。然后，将附着力促进剂与牺牲材料层一起移除。然而，在移除时附着力促进剂在空腔内留下基于硅的残留物。本发明人发现可以在沉积牺牲材料之前将附着力促进剂从空腔区域移除。残留在衬底的剩余部分上的附着力促进剂足以将牺牲材料粘附到衬底，而不用担心牺牲层脱层。因为在装置的空腔区域中不使用附着力促进剂，所以在解放MEMS装置的开关元件之后在空腔内不会存在硅残留物。
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公开(公告)号：CN103732528A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201280038717.4
申请日：2012-08-03
Applicant: 卡文迪什动力有限公司
Inventor： 布莱恩·I·特洛伊 , 迈克·雷诺 , 托马斯·L·麦圭尔 , 约瑟夫·达米安·戈登·拉西 , 詹姆斯·F·波比亚
CPC classification number: B81C1/00484 , B81B3/0008 , B81B2201/014 , B81B2201/018 , B81B2203/0118 , B81C2201/0108 , H01H1/0036 , H01H2001/0089
Abstract: 本发明通常涉及一种来自附着力促进剂材料的硅残留物从空腔底部减少或甚至消除的MEMS装置。附着力促进剂典型地用于将牺牲材料粘附到衬底上的材料。然后，将附着力促进剂与牺牲材料层一起移除。然而，在移除时附着力促进剂在空腔内留下基于硅的残留物。本发明人发现可以在沉积牺牲材料之前将附着力促进剂从空腔区域移除。残留在衬底的剩余部分上的附着力促进剂足以将牺牲材料粘附到衬底，而不用担心牺牲层脱层。因为在装置的空腔区域中不使用附着力促进剂，所以在解放MEMS装置的开关元件之后在空腔内不会存在硅残留物。
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