-
公开(公告)号：CN117191228A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311099538.8
申请日：2023-08-30
Applicant: 华东光电集成器件研究所
Abstract: 本发明涉及一种适用于单片集成压力传感器阵列的低应力结构，包括由上到下依次叠置的压力感应结构层、固定支撑层、纵向应力缓冲层和连接板；压力感应结构层包括在表面设置的一组压阻电桥结构单元阵列，每个压阻电桥结构单元下侧设有背腔、周侧设有第一环槽；固定支撑层上设有与每个背腔对应连通的第一通孔；纵向应力缓冲层包括在下表面与压阻电桥结构单元相对应的凸台，每个凸台上设有与每个第一通孔对应连通的第二通孔，该组凸台表面与连接板连接形成点阵接触连接；连接板上设有与每个第二通孔对应连通的第三通孔。本发明实现了外界应力的横、纵向缓冲，并且该结构不显著增加MEMS压力传感器阵列芯片的工艺加工难度，可灵活应用，易于实现。
-
公开(公告)号：CN104201899A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201410465767.1
申请日：2014-09-15
Applicant: 华东光电集成器件研究所
IPC: H02M3/335
Abstract: 本发明公开一种低压DC/DC转换装置，包含整流滤波二极管(VD1)，低压启动PWM控制器(U1)，自耦变压器(T2)，输出滤波电路与MOS开关管；直流电源输入一路经整流滤波二极管输入至低压启动PWM控制器的输入端与控制端，另一路连接至自耦变压器初级线圈的输入端；低压启动PWM控制器的输出端连接MOS开关管的栅极，MOS开关管的源极接地，漏极分别连接自耦变压器初级线圈输出端以及次级线圈输入端，自耦变压器初级线圈输出电压返回低压启动PWM控制器的输入端，自耦变压器的次级线圈输出端输出电压；自耦变压器对输入的低电压升压，提高了低压启动PWM控制器的输入电压，并通过控制MOS开关管的通断，稳定输出电压，实现对低电压大电流的输入转换，提供符合系统要求的高电压输出。
-
公开(公告)号：CN104793057A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201510208123.9
申请日：2015-04-28
Applicant: 华东光电集成器件研究所
IPC: G01R27/02
Abstract: 本发明公开一种加速度传感器桥臂电阻测试系统，包括MCU模块，MCU模块外围设有与其相连的计算机、矩阵开关与数据采集单元，电阻桥式加速度传感器的四个端口分别与矩阵开关相连，矩阵开关还连接有恒流源；所述测试系统还包括为数据采集单元、矩阵开关与MCU模块供电的直流稳压电源；MCU模块控制矩阵开关的通断，使恒流源通过矩阵开关对所述四个端口两两组合施加激励；数据采集单元采集电阻桥式传感器在施加激励后的反馈并发送给MCU模块；MCU模块根据反馈值得出电阻桥式加速度传感器四个端口两两之间的节点电阻值，并将节点电阻值发送给计算机；计算机根据节点电阻通过迭代法计算出每个桥臂电阻的阻值，结构简单，使用方便。
-
公开(公告)号：CN103529372A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310506791.0
申请日：2013-10-24
Applicant: 华东光电集成器件研究所
Abstract: 本发明公开一种MEMES压阻式加速度传感器晶圆自动检验系统，包括固定连接MEMS压阻式加速度传感器晶圆(9)的探针台(8)及与探针台(8)相连的MCU模块(1)，MCU模块(1)外围设有与其相连的计算机(7)、矩阵开关电路(2)与A/D转换模块(5)；矩阵开关电路(2)外围分别连接有电流源电路(3)与信号调理电路(4)，矩阵开关电路(2)还与探针台(8)相连；所述测试装置还包括为MCU模块(1)、矩阵开关电路(2)、电流源电路(3)、信号调理电路(4)与A/D转换模块(5)供电的直流稳压电源(6)；给MEMS压阻式加速度传感器晶圆(9)施加电流源激励，通过MCU模块(1)对传感器晶圆反馈的电信号进行处理，进而将被检测传感器晶圆的性能参数在计算机上进行显示。
-
公开(公告)号：CN116015231A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211516205.6
申请日：2022-11-30
Applicant: 华东光电集成器件研究所
Abstract: 本发明提供一种压力传感器调制电路，包括：前置滤波器将差分信号经过滤波输出给增益放大器，经过放大后输出给模数转换器，将数字信号输出给信号处理；信号处理器经过数据处理后输出给数模转换，同时也与HART收发器进行数字信号的输入和输出；数模转换器数字信号转换为模拟电压信号输出给4‑20mA恒流发生器，它将数模转换后的模拟电压信号，经过V/I电路，产生4‑20mA恒流与HART收发器产生的HART总线发送信号并联并输出。本发明的优点是：运放电路的器件耐压高，推挽功率放大电路，采用互补推挽电路结构，防止输出信号形变，用于解决现有压力传感器调制电路只能配套芯体，兼容性差，受振动时输出信号不稳定的缺点。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116015234A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211516207.5
申请日：2022-11-30
Applicant: 华东光电集成器件研究所
Abstract: 本发明涉及一种静电型MOEMS振镜高压驱动运放电路，包括：输入差分放大电路，用于在接入两路输入差分电压，并对两路输入差分电压进行初级放大电压；中间级放大电路，连接于所述输入差分放大电路，用于将所述初级放大电压进行中间级放大，以输出中间级放大电压，供所述输出推挽功率放大电路；挽功率放大电路，用于将所述中间级放大电压进行功率放大输出推挽功率放大信号。本发明的优点在于：通过差分放大电路、中间级放大电路以及推挽功率放大电路进行功率放大并输出。运放电路的器件耐压较高，其中的推挽功率放大电路，采用互补推挽电路结构，防止输出信号形变。
-
公开(公告)号：CN115793515A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211341060.0
申请日：2022-10-30
Applicant: 华东光电集成器件研究所
IPC: G05B19/042 , G02B26/08
Abstract: 本发明涉及一种基于FPGA的MEMS振镜驱动信号的同步方法，信号波形存储到FPGAROM中控制PSW读出ROM中信号；相位累加器对PSW的控制；ROM产生的驱动信号进行相位同步获得初相位差；快轴驱动信号PSW值处于PSW1‑PSWmax/2n至PSW1时，快轴同步使能信号sync_ready_out1拉高；慢轴驱动信号PSW值处于PSW2‑PSWmax/2n至PSW2时，慢轴同步使能信号sync_ready_out2拉高；获得两轴信号重合部分，同一时刻回到初相位完成了同步。本发明可显著改善直接相位同步带来的驱动信号形状突变，保证驱动信号在相位同步时相位的连续性，减小相位同步对MEMS振镜造成的不良影响。
-
公开(公告)号：CN115520831A
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202211188875.X
申请日：2022-09-28
Applicant: 华东光电集成器件研究所
Abstract: 本发明提供一种用于测试硅硅键合导通电阻的结构及其制备方法，它包括取第一SOI硅片和第二SOI硅片，在第一SOI硅片的顶层硅上制作与第二SOI硅片键合连接的凸台、与凸台连接的下结构层硅引线；在第一SOI硅片的顶层硅表面生成保护氧化层，去除凸台表面的氧化层；将第二SOI顶层硅与凸台表面直接键合形成上下层；去除第二SOI硅衬底，露出顶层硅，在该层表面制作金属PAD点和上结构层硅引线。本发明具有步骤简便，立体交叉结构简单明了，适用于SOI体硅MEMS工艺的硅‑硅键合质量无损伤评价。
-
公开(公告)号：CN103532394A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310505338.8
申请日：2013-10-24
Applicant: 华东光电集成器件研究所
IPC: H02M3/335
Abstract: 本发明公开一种连续可调的智能电源模块，包括单片机(2)，单片机(2)外围设有与其相连的整流滤波稳压电路(1)、数字键盘(3)、液晶显示屏(4)与可编程数字电位器(R2)；所述电源模块还包括由DC-DC转换器(5)为主体的升压反压转换电路(6)，整流滤波稳压电路(1)的输出作为DC-DC转换器(5)的输入，DC-DC转换器(5)还与可编程数字电位器(R2)相连；升压反压转换电路(6)的正输出端与负输出端即为所述电源模块的输出，升压反压转换电路(6)的负输出端与可编程数字电位器(R2)之间还连接有固定电阻(R1)；将整流滤波后的交流电压进行升压与负压处理，采用单片机(2)与可编程数字电位器(R2)对输出电压进行智能调节，实现连续可调的正电压与负电压输出。
-
公开(公告)号：CN115793515B
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202211341060.0
申请日：2022-10-30
Applicant: 华东光电集成器件研究所
IPC: G05B19/042 , G02B26/08
Abstract: 本发明涉及一种基于FPGA的MEMS振镜驱动信号的同步方法，信号波形存储到FPGAROM中控制PSW读出ROM中信号；相位累加器对PSW的控制；ROM产生的驱动信号进行相位同步获得初相位差；快轴驱动信号PSW值处于PSW1‑PSWmax/2n至PSW1时，快轴同步使能信号sync_ready_out1拉高；慢轴驱动信号PSW值处于PSW2‑PSWmax/2n至PSW2时，慢轴同步使能信号sync_ready_out2拉高；获得两轴信号重合部分，同一时刻回到初相位完成了同步。本发明可显著改善直接相位同步带来的驱动信号形状突变，保证驱动信号在相位同步时相位的连续性，减小相位同步对MEMS振镜造成的不良影响。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
12
records
(took 0.037 seconds)
