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公开(公告)号：CN116062678A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202211515527.9
申请日：2022-11-30
Applicant: 华东光电集成器件研究所
Abstract: 本发明提供一种MEMS微镜抗疲劳电互连装置，它包括晶圆（1），其在晶圆（1）上通过第二镂空区域（5）和第一镂空区域（2），形成微镜面（3）和可动框架（10），通过第一镂空区域（2）和第二镂空区域（5）上的纵向开口（2a）和横向开口（5a）形成纵向扭转梁（4）和横向扭转梁（6），在横向扭转梁（6）。本发明利用扩散低阻硅代替全金属薄膜实现在弯曲或者扭转结构的表面电互连引出，能够完全避免金属薄膜引线材料在高频往复运动过程中产生的疲劳的问题，有效的提高了MEMS微镜的寿命。
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公开(公告)号：CN115882792A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202211515353.6
申请日：2022-11-30
Applicant: 华东光电集成器件研究所
Abstract: 本发明公开一种低频低噪声运算放大器器件，包括表面设有氧化层的硅片，硅片中设有一定结深的P型阱区，氧化层覆盖P型阱区，在P型阱区内设有N沟道区域，其特征在于：所述N沟道区域和P型阱区内设有P型栅区，N沟道区域内设有一组源区和漏区，P型栅区整体呈网格线状，将每个源区或漏区分隔在P型栅区划分的网格内，该组源区和漏区分别通过第一金属引线柱欧姆连接并外露氧化层，经金属导带对应连接分别形成源极和漏极，P型栅区通过第二金属引线柱欧姆连接并外露氧化层经金属导带连接形成栅极。本发明可效降低栅极漏电流，减小输入噪声电压；同时可降低源漏端与金属间的欧姆接触电阻，降低热噪声电压。
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公开(公告)号：CN116295542A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202211515863.3
申请日：2022-11-30
Applicant: 华东光电集成器件研究所
Abstract: 本发明提供一种提高N型压阻传感器结隔离特性的制备方法，其特征在于：它包括以下步骤S1在P型硅晶圆上，进行光刻、大剂量磷注入、去胶，形成重掺杂区；S2光刻、按设计要求进行磷注入、去胶，形成压敏电阻；S3光刻、硼注入、去胶，形成P型隔离环结构6；S4退火、氧化，形成绝缘层；S5光刻、刻蚀、去胶，在绝缘层上形成接触孔；S6溅射、光刻、刻蚀、去胶，形成金属引线。本发明步骤简单，实施方便，通过隔离环有效阻断N型压阻传感器与其他功能端口之间电子迁移通道，降低漏电流，提高产品性能和可靠性。
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公开(公告)号：CN115692215A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211341958.8
申请日：2022-10-31
Applicant: 华东光电集成器件研究所
IPC: H01L21/48
Abstract: 本发明提供一种铜箔片金属封盖结构的制备方法，它包括以下步骤：S1、基片选择，S2、清洗，S3、光刻，S4、电镀，S5、去胶，S6、二次电镀，S7、湿法腐蚀，S8、利用凿离机，凿离金属封盖基片，形成独立微结构器件。本发明解决Cu箔片金属封盖超小微结构工艺的稳定性问题，具有提高了金属封盖制备关键工艺参数的控制精度和微结构制备的合格率及器件的产能，且实施成本较低等优点。
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公开(公告)号：CN115527881A
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202211188634.5
申请日：2022-09-28
Applicant: 华东光电集成器件研究所
Abstract: 本发明公开一种晶圆级键合质量检测装置，属于半导体技术领域。它包括光源调节室，光源调节室的顶端设有透明的载片台和可调节的支架，支架上连接带有滤光片的红外摄像头，红外摄像头与监视显示器电性连接，光源调节室内设有一组竖向设置的导向光轴，该组导向光轴上由上到下依次滑动配合连接上调节板和下调节板，上调节板上设有通光孔，通光孔处固定连接匀光板，下调节板上连接光源。本发明通过调整上、下调节板的间距，将光源射出的光线通过匀光板射入到载片台上形成均匀的光照强度，使红外摄像头检测晶圆的成像清晰，同时本装置调节更加方便简单、耗时较少，进一步提高检测效率。
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