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公开(公告)号：CN115527881A
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202211188634.5
申请日：2022-09-28
Applicant: 华东光电集成器件研究所
Abstract: 本发明公开一种晶圆级键合质量检测装置，属于半导体技术领域。它包括光源调节室，光源调节室的顶端设有透明的载片台和可调节的支架，支架上连接带有滤光片的红外摄像头，红外摄像头与监视显示器电性连接，光源调节室内设有一组竖向设置的导向光轴，该组导向光轴上由上到下依次滑动配合连接上调节板和下调节板，上调节板上设有通光孔，通光孔处固定连接匀光板，下调节板上连接光源。本发明通过调整上、下调节板的间距，将光源射出的光线通过匀光板射入到载片台上形成均匀的光照强度，使红外摄像头检测晶圆的成像清晰，同时本装置调节更加方便简单、耗时较少，进一步提高检测效率。
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