公开(公告)号：CN112271145A

公开(公告)日：2021-01-26

申请号：CN202011024207.4

申请日：2020-09-25

Applicant: 华东光电集成器件研究所

Inventor： 廖启超 ,  宋宁 ,  梅东健 ,  邵灿 ,  唐红跃

IPC: H01L21/67 ,  H01J37/32 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明提供一种注入机离子源弧室的底板，它包括注入机离子源弧室（3），在注入机离子源弧室（3）内设有底板（1），其特征在于：在底板（1）的上、下表面上分别设有凹槽（2）。本发明结构简单、使用方便，能有效的提高对杂质气体的阻力，进而降低气体流速，能有效暂存弧室电离杂质气体所产生的附着物，减少弧室内部打火（即尖端放电），进而提升底板的使用寿命。

公开(公告)号：CN115527881A

公开(公告)日：2022-12-27

申请号：CN202211188634.5

申请日：2022-09-28

Applicant: 华东光电集成器件研究所

Inventor： 孙涛 ,  唐红跃 ,  张友照 ,  乔威 ,  王健

IPC: H01L21/66 ,  G03B15/03

Abstract: 本发明公开一种晶圆级键合质量检测装置，属于半导体技术领域。它包括光源调节室，光源调节室的顶端设有透明的载片台和可调节的支架，支架上连接带有滤光片的红外摄像头，红外摄像头与监视显示器电性连接，光源调节室内设有一组竖向设置的导向光轴，该组导向光轴上由上到下依次滑动配合连接上调节板和下调节板，上调节板上设有通光孔，通光孔处固定连接匀光板，下调节板上连接光源。本发明通过调整上、下调节板的间距，将光源射出的光线通过匀光板射入到载片台上形成均匀的光照强度，使红外摄像头检测晶圆的成像清晰，同时本装置调节更加方便简单、耗时较少，进一步提高检测效率。

公开(公告)号：CN118969707A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202410976445.7

申请日：2024-07-20

Applicant: 华东光电集成器件研究所

Inventor： 唐红跃 ,  宋宁 ,  李建江 ,  孙凌宇

IPC: H01L21/687

Abstract: 本发明提供一种晶圆传片夹持装置，其特征在于：它包括主板体（1），在主板体（1）上设有第一槽体（5），在第一槽体（5）的一端端部设有斜坡（11），在斜坡（11）一侧的第一槽体（5）槽壁上依次设有平面段（12）和斜面段（15），在主板体（1）上连接有可遮盖一部分第一槽体（5）的盖板（2），在盖板（2）上设有弧形台阶段（22），使得弧形台阶段（22）与第一槽体（5）之间形成晶圆传片的插槽（3）。本发明结构简单，使用方便，在确保了晶圆传片姿态稳定的前提下，提高了离子注入时整个工作效率。