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公开(公告)号：CN118969707A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202410976445.7
申请日：2024-07-20
Applicant: 华东光电集成器件研究所
IPC: H01L21/687
Abstract: 本发明提供一种晶圆传片夹持装置，其特征在于：它包括主板体（1），在主板体（1）上设有第一槽体（5），在第一槽体（5）的一端端部设有斜坡（11），在斜坡（11）一侧的第一槽体（5）槽壁上依次设有平面段（12）和斜面段（15），在主板体（1）上连接有可遮盖一部分第一槽体（5）的盖板（2），在盖板（2）上设有弧形台阶段（22），使得弧形台阶段（22）与第一槽体（5）之间形成晶圆传片的插槽（3）。本发明结构简单，使用方便，在确保了晶圆传片姿态稳定的前提下，提高了离子注入时整个工作效率。
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