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公开(公告)号：CN117490607A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311620962.2
申请日：2023-11-30
Applicant: 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司 , 中国科学院微电子研究所
IPC: G01B11/255
Abstract: 本发明涉及光学测量技术领域，尤其是涉及一种检测柱面曲率半径的装置及方法。检测柱面曲率半径的装置包括测量头，所述测量头用于检测待测柱面镜的曲率半径；所述测量头包括光源、十字分划板、分光镜、准直透镜、中继透镜和CCD相机；所述中继透镜为中继柱面镜。该装置的中继镜头采用柱面镜，则自准直仪的十字刻线经被测元件及柱面的中继透镜等在CCD相机上成清晰的十字像；可以更精确地调节待检元件的倾斜，实现柱面元件曲率半径的高精度检测。
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公开(公告)号：CN119493341A
公开(公告)日：2025-02-21
申请号：CN202411593442.1
申请日：2024-11-08
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明提供了一种光学元件真空环境传递装置及方法，其中光学元件真空环境传递装置包括光学元件保护盒、前端模块、负载锁定模块、受控环境模块和工艺腔模块，光学元件保护盒包括外盒和内盒，外盒包括外盒盖和外盒底板，内盒包括内盒盖和内盒底板；前端模块用于分离或扣合外盒盖和外盒底板；负载锁定模块用于分离或扣合内盒盖和内盒底板；前端模块和负载锁定模块分别与受控环境模块对接连通，受控环境模块用于通过受控环境机械手实现内盒在前端模块与负载锁定模块之间的传递；工艺腔模块与负载锁定模块对接连通，用于通过工艺腔机械手实现内盒底板在工艺腔模块与负载锁定模块之间的传递。本发明能够对光学元件的传递过程提供全流程的防护。
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公开(公告)号：CN111595439B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202010595707.7
申请日：2020-06-28
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明涉及红外热辐射光源测量技术领域，具体涉及一种红外热辐射光源发光特性的测量方法和装置。该方法包括：利用光电探测器获取红外辐射光源在设定角度的实时光功率；判断红外辐射光源的光功率的增长趋势是否符合一次函数关系；若是，则控制红外辐射光源在水平面内分别以第一路径和第二路径绕设定位置转动；获取第一测量光功率阵列和第二测量光功率阵列；获取红外热辐射光源的光强分布。本发明巧妙地构建了第一路径和第二路径，利用红外热辐射光源在准热平衡状态后输出的光功率与时间呈线性关系的特性，通过叠加，将红外热辐射光源转换为了辐射功率恒定的辐射源，从而低成本高效准确地测量出了红外热辐射光源发光特性。
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公开(公告)号：CN118348744A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410438916.9
申请日：2024-04-12
Applicant: 北京超弦存储器研究院 , 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本说明书实施例提供了一种光刻标记分布式仿真计算的方法、设备和程序，其中，方法包括根据用户设定的光刻标记仿真参数生成仿真任务；调度器根据调度策略将所述仿真任务发送至任务队列；计算节点根据预设的光刻标记模型计算模块运行光刻标记仿真算法，对应所述任务队列中的所述仿真任务，获得仿真结果；将仿真结果进行排序融合，并根据用户ID及对应的任务ID进行反馈仿真结果，根据仿真结果选出最优化的标记设计参数和测量设备参数，以解决传统计算机硬件系统无法满足光刻标记仿真算力不足的技术问题。
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公开(公告)号：CN118311782A
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202410285133.1
申请日：2024-03-13
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本公开提供了一种一体化阵列式反射曲面的检焦分光器件，包括：器件主体，包括相对设置的第一表面和第二表面；第一表面包括沿第一方向依次排列的多个入射区，每个入射区表面均设置有闪耀光栅、第一检测区和第二检测区；第二表面包括沿第一方向依次排列的多个反射区，每个反射区均具有反射曲面并镀有反射膜。本公开的一体化器件结构相比透射式光学系统，减少了光学元件的设置，缩短光线传播路径，降低能量损耗，提升能量利用率和测量信号的信噪比，使测量精度得到提升。利用阵列式的反射曲面设计实现待测样本表面的多个区域的测量，减小单个光斑尺寸，增加探测器单元数量，提高检焦系统测量分辨率和测量精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114397762B
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202210000823.9
申请日：2022-01-04
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本公开提供一种光学系统主光轴的调试方法，用于不包含测试板的光学系统，包括：使用辅助小孔辅助调节自准直仪出射光束的方向并使之与光学平台平行；调节第一转向光学元件，使其出射光束的方向与自准直仪出射光束的方向垂直；调节第二转向光学元件，使其出射光束的方向与第一转向光学元件出射光束的方向垂直且与光学平台平行；安装待测光学系统的外壳至第一转向光学元件和第二转向光学元件之间，安装第一反射元件至主光轴靠近第二转向光学元件的一端；调节外壳两侧的调节机构，直至经第一反射元件反射的光斑与自准直仪出射的光斑重合，确定待测光学系统的主光轴的位置。本公开还提供一种用于包含测试板的光学系统主光轴的调试方法。
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公开(公告)号：CN112902996B
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202110084778.5
申请日：2021-01-21
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明提出五种第9衍射级次增强的相位光栅结构，该结构不仅具有较强的第9级衍射效率，同时所有偶衍射级次衍射效率均缺级，较好的解决了目前主要采用AH53中存在较强的零级以及其他偶衍射级次，并且第9衍射级次衍射效率低的问题，因此，本发明的相位光栅结构可以提高系统的测量精度。
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公开(公告)号：CN111059208B
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN201911211537.1
申请日：2019-11-29
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明提供了一种振动隔离装置，包括：真空腔体(1)、真空腔体(1)内设有主基板(2)，真空腔体(1)的一内壁与主基板(2)之间设有至少一个隔振系统(3)；隔振系统(3)包括：永磁体(31)、设置有线圈(32)的线圈架(33)、主弹簧(34)、隔板(35)以及隔板弹簧(36)；永磁体(31)的一端连接主基板(2)，线圈架(33)一端固定在隔板(35)上，永磁体(31)的部分或全部置于线圈架(33)内部，线圈架(33)与永磁体(31)之间的相对位置可调；主基板(2)、主弹簧(34)、隔板(35)、隔板弹簧(36)以及真空腔体(1)依次连接。
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公开(公告)号：CN110908249B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN201911212715.2
申请日：2019-11-29
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种用于EUV真空环境中的光传输装置及光刻机，用于EUV真空环境中的光传输装置包括：光纤连接器，设置通孔；通光介质，设置于所述光纤连接器的通孔内；两光纤束，分别连接于所述光纤连接器的两侧，且两所述光纤束分别与所述通光介质的中心对准，实现分段的光纤束之间的光的传输。本发明设计两段光纤束来解决整根光纤束不利于装配、维护以及存在断纤的风险的问题；通过光纤连接器以及光纤连接器上设置的通光介质实现两段光纤束的导通，连接方式可靠，并且应用于EUV光刻机中，解决了真空腔内外光传输的问题，提高了光纤束与光刻机的连接可靠性，降低了维修风险。
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