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公开(公告)号：CN115798608A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211341946.5
申请日：2022-10-28
申请人： 中国科学院微电子研究所
IPC分类号： G16C10/00 , G06F30/25 , G06F119/14
摘要： 本发明提供了一种VSS模型的碰撞参数计算方法，应用于气体动力技术领域，包括：将稀薄气体分子按照温度进行划分，得到至少一个温度区间，待测量碰撞参数的VSS模型基于该稀薄气体分子构建而成，对于每个该温度区间，以该温度区间的初温为该温度区间的背景温度计算该温度区间的稀薄气体分子碰撞对区间相对速度，根据每个该温度区间的该稀薄气体分子碰撞对区间相对速度和该VSS模型，计算得到该VSS模型的碰撞参数。本发明还提供了一种VSS模型的碰撞参数计算装置、电子设备及存储介质，可有效减少计算量，加快计算收敛的速度。
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公开(公告)号：CN111059208B
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN201911211537.1
申请日：2019-11-29
申请人： 中国科学院微电子研究所
摘要： 本发明提供了一种振动隔离装置，包括：真空腔体(1)、真空腔体(1)内设有主基板(2)，真空腔体(1)的一内壁与主基板(2)之间设有至少一个隔振系统(3)；隔振系统(3)包括：永磁体(31)、设置有线圈(32)的线圈架(33)、主弹簧(34)、隔板(35)以及隔板弹簧(36)；永磁体(31)的一端连接主基板(2)，线圈架(33)一端固定在隔板(35)上，永磁体(31)的部分或全部置于线圈架(33)内部，线圈架(33)与永磁体(31)之间的相对位置可调；主基板(2)、主弹簧(34)、隔板(35)、隔板弹簧(36)以及真空腔体(1)依次连接。
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公开(公告)号：CN110908249B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN201911212715.2
申请日：2019-11-29
申请人： 中国科学院微电子研究所
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种用于EUV真空环境中的光传输装置及光刻机，用于EUV真空环境中的光传输装置包括：光纤连接器，设置通孔；通光介质，设置于所述光纤连接器的通孔内；两光纤束，分别连接于所述光纤连接器的两侧，且两所述光纤束分别与所述通光介质的中心对准，实现分段的光纤束之间的光的传输。本发明设计两段光纤束来解决整根光纤束不利于装配、维护以及存在断纤的风险的问题；通过光纤连接器以及光纤连接器上设置的通光介质实现两段光纤束的导通，连接方式可靠，并且应用于EUV光刻机中，解决了真空腔内外光传输的问题，提高了光纤束与光刻机的连接可靠性，降低了维修风险。
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公开(公告)号：CN113946058A
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202111200452.0
申请日：2021-10-14
申请人： 中国科学院微电子研究所
摘要： 本公开提供了一种多波长光束处理装置，包括：至少一个光束处理子装置，光束处理子装置用于对多波长光束进行合束或分束处理，包括：一主光束准直器、至少两个分光束准直器及至少两个透反射组件，其中，当光束处理子装置用于多波长光束合束时，多波长的分光束分别经过对应的分光束准直器进行准直后，经过至少一个透反射组件进行反射或透射后分别输出至主光束准直器进行合束并输出；当光束处理子装置用于多波长光束分束时，多波长的主光束经过主光束准直器进行准直后，经过对应的至少一个透反射组件进行反射或透射后分别输出至对应的分光束准直器输出。本公开还提供了一种多波长光束处理方法。
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公开(公告)号：CN110927116A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201911212240.7
申请日：2019-11-29
申请人： 中国科学院微电子研究所
摘要： 本发明提供了一种测量标记结构的方法、装置及系统。所述方法包括：S1，获取平行的相干光束，将所述相干光束入射对准标记后得到衍射光束，该衍射光束通过衍射光阑发生干涉得到干涉信号，通过探测器测量所述干涉信号的实际光强分布；S2，建立测量标记结构的电磁波仿真模型，通过所述仿真模型得到对准标记的j个不同结构参数下的仿真光强分布，j≥1；S3，将实际光强分布分别与j个仿真光强分布进行对比，获取使实际光强分布与仿真光强分布之间差异最小的所述结构参数。
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公开(公告)号：CN110824865A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201911212302.4
申请日：2019-11-29
申请人： 中国科学院微电子研究所
IPC分类号： G03F9/00
摘要： 本公开提供了一种对准误差测量方法。所述方法包括分别筛选每一预设位置下对准标记产生的一种以上衍射级次的衍射光束，得到每一预设位置下的+n衍射级次的衍射光束和-n衍射级次的衍射光束，预设位置的个数为四个及以上；分别对每一预设位置下的+n衍射级次的衍射光束和-n衍射级次的衍射光束进行干涉，以将对准标记结构变化和波像差引入的相位变化编码到产生的干涉信号中；分别探测每一预设位置下的干涉信号的光强分布；根据四个及以上预设位置下干涉信号的光强分布计算对准标记结构变化和波像差引入的对准误差。本公开还提供了一种对准误差测量装置。
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公开(公告)号：CN110031027A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201910224154.1
申请日：2019-03-22
申请人： 中国科学院微电子研究所
摘要： 本发明公开了一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置，涉及光学性能参数检测技术领域，所述装置包括：微环境控制模块，所述微环境控制模块包括上层气浴单元和下层气浴单元，其中，所述上层气浴单元位于所述检测装置的上层，所述下层气浴单元位于所述上层气浴单元下方；带有隔振器的光学检测台架，所述带有隔振器的光学检测台架设置在所述上层气浴单元和所述下层气浴单元之间；位移台模块，所述位移台模块位于所述微环境控制模块下方，与所述微环境控制模块和所述带有隔振器的光学检测台架相互独立。达到了阻断微环境控制模块所产生的振动，实现检测环境的绝对安静，提高检测精度的技术效果。
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公开(公告)号：CN109900356A
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201910202155.6
申请日：2019-03-15
申请人： 中国科学院微电子研究所
摘要： 一种关联成像方法及装置，方法包括：采用激光照射旋转的毛玻璃形成随机涨落光场，其中，该光场的光强通过求解激光与毛玻璃表面微纳结构的交互结果得到；使用随机涨落光场照明成像目标，形成携带有成像目标振幅和相位信息的光波；探测光波的光强，对随机涨落光场的光强及光波的光强进行关联计算以重建生成成像目标的图像。该方法及装置省去了分光镜与面阵探测器、数字微透镜阵列或者投影系统等复杂的光学模块，简化了成像系统的复杂度，提高了成像速度；直接通过麦克斯韦方程求解入射光波与毛玻璃表面微纳结构的交互结果，得到照明成像目标的随机涨落光场分布，提高了图像重建的分辨率；并且可实现亚波长结构成像，扩大了关联成像的使用范围。
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公开(公告)号：CN114383822A
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202210000822.4
申请日：2022-01-04
申请人： 中国科学院微电子研究所
摘要： 本公开提供一种用于光学系统调焦调平的检测装置，该检测装置沿光路方向依次包括：光源、第一PBS棱镜、1/4波片、测试板、1/2波片、分光棱镜和探测器；其中，光源发射的S偏振光被第一PBS棱镜反射至1/4波片，1/4波片将S偏振光转变为圆偏振光，圆偏振光透过待测光学系统，被测试板反射，再次透过待测光学系统返回进入1/4波片，1/4波片将圆偏振光转变为P偏振光；P偏振光透过第一PBS棱镜进入1/2波片，被1/2波片调整偏振方向后进入分光棱镜；分光棱镜的上半部和下半部分别将调整偏振方向后的P偏振光进行多次反射后于同一出光面输出；探测器检测上半部和下半部输出光的位置，并根据该位置对待测光学系统进行调平。
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