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公开(公告)号：CN112902996B
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202110084778.5
申请日：2021-01-21
申请人： 中国科学院微电子研究所
摘要： 本发明提出五种第9衍射级次增强的相位光栅结构，该结构不仅具有较强的第9级衍射效率，同时所有偶衍射级次衍射效率均缺级，较好的解决了目前主要采用AH53中存在较强的零级以及其他偶衍射级次，并且第9衍射级次衍射效率低的问题，因此，本发明的相位光栅结构可以提高系统的测量精度。
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公开(公告)号：CN114420673A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202210011983.3
申请日：2022-01-06
申请人： 中国科学院微电子研究所
IPC分类号： H01L23/544 , H01L21/66 , G06F30/392 , G01B11/00
摘要： 在本公开提供了一种对准标记的布局方法，应用于半导体技术领域，包括：获取待标记样品上x轴方向的划片槽和y轴方向的划片槽，在该x轴方向的划片槽和该y轴方向的划片槽内均放置一对准标记，将两个该对准标记的中心重叠，以及，将两个该对准标记的中心放置在该x轴方向的划片槽和该y轴方向的划片槽的交叉中心处。本申请还公开了一种半导体器件、位置测量方法及电子设备。
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公开(公告)号：CN110927880B
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN201911212132.X
申请日：2019-11-28
申请人： 中国科学院微电子研究所
IPC分类号： G02B6/26
摘要： 一种偏振保持合束装置，所述合束装置包括若干光源、N个单模保偏光纤、N个光纤准直器、光纤耦合器和合束棱镜；其中，若干光源分别发出不同波长的线偏振光，分别耦合入N个单模保偏光纤中传输，并经过N个光纤准直器后输出不同波长的线偏振准直光束并进入合束棱镜，经合束棱镜合束后，通过光纤耦合器耦合入单模保偏光纤中，再经过光纤准直器后输出包含不同波长的一束偏振准直光。本发明的高稳定偏振保持合束装置及方法，可将多束不同波长的线偏振光合成一束含不同波长的同轴输出光束，且多个波长光束的偏振态保持高度一致。
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公开(公告)号：CN112833790A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN202110084779.X
申请日：2021-01-21
申请人： 中国科学院微电子研究所
IPC分类号： G01B11/00
摘要： 一种减小相位光栅非对称性对位置测量精度影响的方法，包括以下步骤：根据相位光栅设计值和加工精度，确定非对称性变化范围，进而确定非对称性光栅结构；建立非对称性光栅仿真模型；将所述非对称性光栅结构输入到所述非对称性光栅仿真模型中，仿真非对称性变化范围内，各衍射级次的位置误差曲线；根据获得的各衍射级次位置误差差异，确定各衍射级次的权重，减小非对称性变化的影响。本发明提出的方法不需要测量光栅的形貌，只需根据加工精度确定光栅非对称性变化范围，就可以减小该范围内非对称性变化对位置测量精度的影响。
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公开(公告)号：CN111580206A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN202010594124.2
申请日：2020-06-24
申请人： 中国科学院微电子研究所
IPC分类号： G02B5/18
摘要： 本公开提供了一种衍射光栅结构，包括多个重复的周期结构，每一周期结构包括至少一个栅脊和一个栅槽，其中：每一周期结构由中心位置向外均包括多个部分，每一部分为栅脊或者栅槽，当部分为栅槽时其深度满足预设条件。另一方面，本公开还提供了一种衍射光栅结构的制备方法。通过合理的设置栅槽的位置和深度，使得第7衍射级不仅具有较强的衍射效率，同时所有偶衍射级衍射效率均为0，较好的解决了现有的衍射光栅中存在偶衍射级尤其是较强的零衍射级的问题。
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公开(公告)号：CN110927116A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201911212240.7
申请日：2019-11-29
申请人： 中国科学院微电子研究所
摘要： 本发明提供了一种测量标记结构的方法、装置及系统。所述方法包括：S1，获取平行的相干光束，将所述相干光束入射对准标记后得到衍射光束，该衍射光束通过衍射光阑发生干涉得到干涉信号，通过探测器测量所述干涉信号的实际光强分布；S2，建立测量标记结构的电磁波仿真模型，通过所述仿真模型得到对准标记的j个不同结构参数下的仿真光强分布，j≥1；S3，将实际光强分布分别与j个仿真光强分布进行对比，获取使实际光强分布与仿真光强分布之间差异最小的所述结构参数。
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公开(公告)号：CN110824865A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201911212302.4
申请日：2019-11-29
申请人： 中国科学院微电子研究所
IPC分类号： G03F9/00
摘要： 本公开提供了一种对准误差测量方法。所述方法包括分别筛选每一预设位置下对准标记产生的一种以上衍射级次的衍射光束，得到每一预设位置下的+n衍射级次的衍射光束和-n衍射级次的衍射光束，预设位置的个数为四个及以上；分别对每一预设位置下的+n衍射级次的衍射光束和-n衍射级次的衍射光束进行干涉，以将对准标记结构变化和波像差引入的相位变化编码到产生的干涉信号中；分别探测每一预设位置下的干涉信号的光强分布；根据四个及以上预设位置下干涉信号的光强分布计算对准标记结构变化和波像差引入的对准误差。本公开还提供了一种对准误差测量装置。
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公开(公告)号：CN110146011A
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201910329074.2
申请日：2019-04-23
申请人： 中国科学院微电子研究所
IPC分类号： G01B9/02
摘要： 本发明实施例提供的一种多轴干涉仪测量装置，包括：平台，所述平台上设置有导轨；可调方台结构，所述可调方台结构包括四个高度可调的方台，所述可调方台分别通过滑轨与所述平台连接；跨度可调的龙门结构，所述龙门结构设置在所述可调方台结构上方；多轴干涉仪，所述多轴干涉仪位于所述可调方台结构上，且与所述龙门结构连接；精密位移台，所述精密位移台设置在所述平台上，位于所述龙门架下方且被所述四个方台包围。解决了干涉仪结构复杂，在使用时临时组装，引入测量误差，且对不同尺寸的测量物兼容性差的技术问题。达到了降低装置的复杂程度，减小测量误差，对不同轮廓被测物顺应调节，兼容性更好的技术效果。
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公开(公告)号：CN110031027A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201910224154.1
申请日：2019-03-22
申请人： 中国科学院微电子研究所
摘要： 本发明公开了一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置，涉及光学性能参数检测技术领域，所述装置包括：微环境控制模块，所述微环境控制模块包括上层气浴单元和下层气浴单元，其中，所述上层气浴单元位于所述检测装置的上层，所述下层气浴单元位于所述上层气浴单元下方；带有隔振器的光学检测台架，所述带有隔振器的光学检测台架设置在所述上层气浴单元和所述下层气浴单元之间；位移台模块，所述位移台模块位于所述微环境控制模块下方，与所述微环境控制模块和所述带有隔振器的光学检测台架相互独立。达到了阻断微环境控制模块所产生的振动，实现检测环境的绝对安静，提高检测精度的技术效果。
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公开(公告)号：CN109900356A
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201910202155.6
申请日：2019-03-15
申请人： 中国科学院微电子研究所
摘要： 一种关联成像方法及装置，方法包括：采用激光照射旋转的毛玻璃形成随机涨落光场，其中，该光场的光强通过求解激光与毛玻璃表面微纳结构的交互结果得到；使用随机涨落光场照明成像目标，形成携带有成像目标振幅和相位信息的光波；探测光波的光强，对随机涨落光场的光强及光波的光强进行关联计算以重建生成成像目标的图像。该方法及装置省去了分光镜与面阵探测器、数字微透镜阵列或者投影系统等复杂的光学模块，简化了成像系统的复杂度，提高了成像速度；直接通过麦克斯韦方程求解入射光波与毛玻璃表面微纳结构的交互结果，得到照明成像目标的随机涨落光场分布，提高了图像重建的分辨率；并且可实现亚波长结构成像，扩大了关联成像的使用范围。
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