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公开(公告)号：CN114383822B
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202210000822.4
申请日：2022-01-04
申请人： 中国科学院微电子研究所
摘要： 本公开提供一种用于光学系统调焦调平的检测装置，该检测装置沿光路方向依次包括：光源、第一PBS棱镜、1/4波片、测试板、1/2波片、分光棱镜和探测器；其中，光源发射的S偏振光被第一PBS棱镜反射至1/4波片，1/4波片将S偏振光转变为圆偏振光，圆偏振光透过待测光学系统，被测试板反射，再次透过待测光学系统返回进入1/4波片，1/4波片将圆偏振光转变为P偏振光；P偏振光透过第一PBS棱镜进入1/2波片，被1/2波片调整偏振方向后进入分光棱镜；分光棱镜的上半部和下半部分别将调整偏振方向后的P偏振光进行多次反射后于同一出光面输出；探测器检测上半部和下半部输出光的位置，并根据该位置对待测光学系统进行调平。
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公开(公告)号：CN117490607A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311620962.2
申请日：2023-11-30
申请人： 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司 , 中国科学院微电子研究所
IPC分类号： G01B11/255
摘要： 本发明涉及光学测量技术领域，尤其是涉及一种检测柱面曲率半径的装置及方法。检测柱面曲率半径的装置包括测量头，所述测量头用于检测待测柱面镜的曲率半径；所述测量头包括光源、十字分划板、分光镜、准直透镜、中继透镜和CCD相机；所述中继透镜为中继柱面镜。该装置的中继镜头采用柱面镜，则自准直仪的十字刻线经被测元件及柱面的中继透镜等在CCD相机上成清晰的十字像；可以更精确地调节待检元件的倾斜，实现柱面元件曲率半径的高精度检测。
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公开(公告)号：CN112394531B
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202011341828.5
申请日：2020-11-25
申请人： 中国科学院微电子研究所
摘要： 本公开提供一种能够降低光程差的偏振分光棱镜，包括：第一直角棱镜，包括第一直角棱镜主体，以及形成于所述第一直角棱镜主体表面的第一直角面、第二直角面、第一偏振分光面，所述第一偏振分光面表面镀有偏振分光膜；第二直角棱镜，包括第二直角棱镜主体，以及形成于所述第二直角棱镜主体表面的第三直角面、第四直角面、第二偏振分光面，所述第二偏振分光面表面镀有偏振分光膜；以及胶合层，设置于相对设置的所述第一偏振分光面和所述第二偏振分光面之间。
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公开(公告)号：CN110068122B
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN201910218702.X
申请日：2019-03-21
申请人： 中国科学院微电子研究所
IPC分类号： F24F13/06
摘要： 本发明实施例提供的一种气浴装置，包括：基板；气浴模组，所述气浴模组的上表面与所述基板连接，其中，所述气浴模组包括多个气浴单元，所述多个气浴单元首尾相连通，构成中心位置具有第一通孔的所述气浴模组；托板，所述托板位于所述气浴模组的下表面，将所述气浴模组于所述基板进行固定连接。解决了现有技术中紧凑的气浴单元管道密布占用过多空间，且气流容易形成遮挡，造成工作环境的流场紊乱，进而影响温度、气压等参数的均匀度的技术问题。达到了减少管道多杂带来的空间占用与安装问题，多个气浴单元组合后相互联通，形成大面积的静压腔室，提高了气流均匀度的技术效果。
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公开(公告)号：CN110081117B
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201910218688.3
申请日：2019-03-21
申请人： 中国科学院微电子研究所
IPC分类号： F16F13/00
摘要： 本发明提供了一种减振装置，包括：壳体由上壳体、下壳体套接构成，背部具有多个通孔，壳体的前侧面顶部设置有多个安装孔，所述通孔与所述安装孔数量相同；弹簧卡块嵌设在所述安装孔内；三角弹簧组件，三角弹簧组件卡设在所述壳体内，其中，所述三角弹簧组件包括：三角弹簧件，所述三角弹簧件顶部与所述弹簧卡块连接，弹簧卡块将所述三角弹簧件进行限定；调高件，调高件与三角弹簧件固定连接，调高件穿过通孔，且，在所述通孔内部可进行上下移动。解决被动隔振多用于固定负载应用，不适用于不同负载的减振要求，而主动隔振结构复杂的技术问题。达到适应不同负载的使用需求，同时构造简单，组装便捷，组合灵活的技术效果。
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公开(公告)号：CN110067493A
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201910218689.8
申请日：2019-03-21
申请人： 中国科学院微电子研究所
摘要： 本发明提供了一种活动密封装置，应用于具有密封要求和活动开口的系统，包括：活动门，活动门设置在所述系统的腔体外侧，对所述腔体进行密封；十字转盘，十字转盘设置在所述活动门的中心位置，与所述活动门可转动连接；拉杆机构，拉杆机构的一端分别经过所述活动门的四个顶角处与所述腔体连接，另一端所述十字转盘连接；压紧机构，压紧机构设置在所述活动门内侧，位于所述活动门四周边缘处，对腔体进行压紧密封。解决现有技术中活动门密封效果不佳，使用的端面密封存在压力不均匀和压力弱的技术问题，达到了通过一个转盘带动活动门四周的压紧机构同时压紧，保证活动门周边的密封压紧同步性和均匀性，密封效果佳的技术效果。
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公开(公告)号：CN118348744A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410438916.9
申请日：2024-04-12
申请人： 北京超弦存储器研究院 , 中国科学院微电子研究所
摘要： 本说明书实施例提供了一种光刻标记分布式仿真计算的方法、设备和程序，其中，方法包括根据用户设定的光刻标记仿真参数生成仿真任务；调度器根据调度策略将所述仿真任务发送至任务队列；计算节点根据预设的光刻标记模型计算模块运行光刻标记仿真算法，对应所述任务队列中的所述仿真任务，获得仿真结果；将仿真结果进行排序融合，并根据用户ID及对应的任务ID进行反馈仿真结果，根据仿真结果选出最优化的标记设计参数和测量设备参数，以解决传统计算机硬件系统无法满足光刻标记仿真算力不足的技术问题。
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公开(公告)号：CN114397762B
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202210000823.9
申请日：2022-01-04
申请人： 中国科学院微电子研究所
摘要： 本公开提供一种光学系统主光轴的调试方法，用于不包含测试板的光学系统，包括：使用辅助小孔辅助调节自准直仪出射光束的方向并使之与光学平台平行；调节第一转向光学元件，使其出射光束的方向与自准直仪出射光束的方向垂直；调节第二转向光学元件，使其出射光束的方向与第一转向光学元件出射光束的方向垂直且与光学平台平行；安装待测光学系统的外壳至第一转向光学元件和第二转向光学元件之间，安装第一反射元件至主光轴靠近第二转向光学元件的一端；调节外壳两侧的调节机构，直至经第一反射元件反射的光斑与自准直仪出射的光斑重合，确定待测光学系统的主光轴的位置。本公开还提供一种用于包含测试板的光学系统主光轴的调试方法。
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公开(公告)号：CN116295009A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310232405.7
申请日：2023-03-06
申请人： 中国科学院微电子研究所
IPC分类号： G01B11/00
摘要： 本公开提供了一种位置敏感探测器的位置测量标定方法及装置，该方法包括：将位置敏感探测器固定在精密位移台上，生成激光束照射位置敏感探测器，激光光束与位置敏感探测器的光敏面垂直；在移动路径上按预设的移动步长移动位置敏感探测器，采集位置敏感探测器在不同位置响应激光束产生的模拟电压，得到模拟电压与位置敏感探测器的位置之间的转换系数；采用不同的移动步长，重复上述步骤，得到多个转换系数；基于多个转换系数计算修正系数；基于修正系数对转换系数进行误差修正，将误差修正后的转换系数用于位置测量标定。该方法使用的装置简单，容易操作，对位置敏感探测器的位置信息的标定系数进行了修正，提高了位置探测的精确性。
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公开(公告)号：CN110927880B
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN201911212132.X
申请日：2019-11-28
申请人： 中国科学院微电子研究所
IPC分类号： G02B6/26
摘要： 一种偏振保持合束装置，所述合束装置包括若干光源、N个单模保偏光纤、N个光纤准直器、光纤耦合器和合束棱镜；其中，若干光源分别发出不同波长的线偏振光，分别耦合入N个单模保偏光纤中传输，并经过N个光纤准直器后输出不同波长的线偏振准直光束并进入合束棱镜，经合束棱镜合束后，通过光纤耦合器耦合入单模保偏光纤中，再经过光纤准直器后输出包含不同波长的一束偏振准直光。本发明的高稳定偏振保持合束装置及方法，可将多束不同波长的线偏振光合成一束含不同波长的同轴输出光束，且多个波长光束的偏振态保持高度一致。
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