Invention Publication
- Patent Title: 一种检测柱面曲率半径的装置及方法
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Application No.: CN202311620962.2Application Date: 2023-11-30
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Publication No.: CN117490607APublication Date: 2024-02-02
- Inventor: 马敬 , 齐月静 , 苏佳妮 , 齐威 , 孟璐璐 , 金浩 , 杨舒漫
- Applicant: 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司 , 中国科学院微电子研究所
- Applicant Address: 北京市大兴区北京经济技术开发区核心区34M3地块
- Assignee: 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司,中国科学院微电子研究所
- Current Assignee: 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司,中国科学院微电子研究所
- Current Assignee Address: 北京市大兴区北京经济技术开发区核心区34M3地块
- Agency: 北京八月瓜知识产权代理有限公司
- Agent 白鹤
- Main IPC: G01B11/255
- IPC: G01B11/255
Abstract:
本发明涉及光学测量技术领域，尤其是涉及一种检测柱面曲率半径的装置及方法。检测柱面曲率半径的装置包括测量头，所述测量头用于检测待测柱面镜的曲率半径；所述测量头包括光源、十字分划板、分光镜、准直透镜、中继透镜和CCD相机；所述中继透镜为中继柱面镜。该装置的中继镜头采用柱面镜，则自准直仪的十字刻线经被测元件及柱面的中继透镜等在CCD相机上成清晰的十字像；可以更精确地调节待检元件的倾斜，实现柱面元件曲率半径的高精度检测。
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