电子器件的制造方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117936656A

    公开(公告)日:2024-04-26

    申请号:CN202311038999.4

    申请日:2023-08-17

    Abstract: 电子器件的制造方法,防止转印功能层时功能层破裂等。在电子器件的制造方法中,形成支承层(15),该支承层从隔着第1层(11)形成于第1基板(10)上的功能层(14)的与第1基板相反一侧的第1面(14f)设置到第1基板,将功能层(14)支承于第1基板,在支承层(15)和功能层(14)的第1面(14f)中的至少一方形成薄膜保持层(16),去除第1层(11),在薄膜保持层(16)的与功能层(14)相反一侧的面接合转印部件(18),将功能层(14)、支承层(15)和薄膜保持层(16)从第1基板分离,将功能层(14)、支承层(15)和薄膜保持层(16)转印于不同的第2基板(20),去除薄膜保持层(16)。

    压电体薄膜接合基板及其制造方法

    公开(公告)号:CN116896970A

    公开(公告)日:2023-10-17

    申请号:CN202310205783.6

    申请日:2023-03-03

    Abstract: 压电体薄膜接合基板及其制造方法,该高性能的压电体薄膜接合基板在同一基板上重叠设置2种以上的压电膜。压电体薄膜接合基板(100)具有:基板(33);基板电极(34),其设置于基板(33)上;第1压电体薄膜(27),其粘贴于基板电极(34)上,具有第1压电膜(25)和形成于第1压电膜(25)上的第1上部电极膜(26);以及第2压电体薄膜(17),其粘贴于第1上部电极膜(26)上,具有与第1压电膜(25)不同的第2压电膜(15)和形成于第2压电膜(15)上的第2上部电极膜(16)。

    电子结构体和复合膜的制造方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116137308A

    公开(公告)日:2023-05-19

    申请号:CN202211372810.0

    申请日:2022-11-03

    Abstract: 电子结构体和复合膜的制造方法,能够提高复合膜的生产性。在电子结构体(1)中,利用无机材料构成形成基板(10)和支承层(11),另一方面,利用有机材料构成复合膜(2)的基底膜(12)和覆盖层(17),将支承层(11)的外形形成得比基底膜(12)的外形小。因此,电子结构体(1)能够适当地调整作用于复合膜背面(2B)与支承层正面(11A)之间的吸附力,以在保管时、搬送时不剥离,且在安装前能够使用压印器(81)容易地剥离。由此,电子结构体(1)能够在维持复合膜背面(2B)的平滑性的状态下容易地进行保管、搬送,并且,还能够容易地进行复合膜(2)从支承层(11)的剥离和向布线基板(90)的安装。

    基板单元的制造方法和基板单元
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118737811A

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202410054660.1

    申请日:2024-01-12

    Abstract: 基板单元的制造方法和基板单元,能够再利用用于使半导体功能层生长的层叠基板。在基板单元的制造方法中,在基板(101、201)上形成半导体层叠体(110、210),在半导体层叠体(110、210)上形成牺牲层(105、205),在牺牲层(105、205)上形成半导体功能层(120、220),形成至少覆盖基板(101、201)的与形成半导体层叠体(110、210)的形成面(101a、201a)不同的背面(101b、201b)、基板(101、201)的侧面(101c、201c)以及半导体层叠体(110、210)的侧面(110c、210c)的保护膜(109、209)。

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