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公开(公告)号：CN107073683A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580060154.2
申请日：2015-10-21
Applicant: 信越半导体株式会社
IPC: B24B37/34 , B24B37/08 , H01L21/304
CPC classification number: B24B37/005 , B24B37/08 , B24B37/34 , B24B49/10
Abstract: 本发明是一种工件的加工装置，包含上定盘支承机构，透过沿上定盘的旋转轴方向延伸的汽缸而自上方支承上定盘，使之上下可移动；水平板，固定于汽缸以使其主表面相对于汽缸的长度方向的轴呈直角；至少三个位移传感器，测定上定盘下降至固定位置时水平板的表面的高度位置；控制装置，透过位移传感器测定的水平板的表面的高度位置计算出上定盘的相对高度位置及上定盘的旋转轴与汽缸的长度方向的轴所成的角度。因此，能在工件加工前短时间高精度检测出工件的支承异常而防止工件及加工装置的损坏，在工件加工中检测出汽缸的偏心角而抑制工件的质量恶化。
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公开(公告)号：CN111418045B
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN201880077941.1
申请日：2018-11-01
Applicant: 信越半导体株式会社
IPC: H01L21/304 , B24B27/06 , B28D5/04
Abstract: 本发明提供一种线锯装置，其具备：多个金属线引导部；金属线列，由卷绕于所述多个金属线引导部并沿轴向往返移动的金属线形成；喷嘴，向所述金属线供给冷却剂或浆料；工件保持部，将经由梁而粘接有工件的工件板悬挂并保持；以及工件进给机构，将所述工件按压至所述金属线列，其特征在于，还具备对形成所述金属线列的所述多个金属线引导部的轴的平行度进行调整的机构。由此，提供对切断后的工件的金属线移动方向的翘曲进行控制，并能够制造具有任意的翘曲形状的晶圆的线锯装置及晶圆的制造方法。
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公开(公告)号：CN106068555A
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201580011905.1
申请日：2015-02-17
Applicant: 信越半导体株式会社
IPC: H01L21/683
CPC classification number: H01L21/6838 , B24B37/345 , B24B41/06 , B25J15/0658 , B25J15/0666 , B25J15/0683 , H01L21/304
Abstract: 一种工件支承装置，包括：刚性体，其具有通气孔；吸盘，其吸附而支承工件且粘接于刚性体的下端面，并具有连通于通气孔的开口部；空气控制机构，连通于通气孔，借由自通气孔抽吸或吐出空气而自开口部抽吸或吐出空气，在工件接触开口部的同时，借由空气控制机构自开口部抽吸空气使工件吸附而支承于吸盘，以及借由自开口部吐出空气使工件自吸盘脱离，其中工件自吸盘脱离时，借由空气控制机构自通气孔供给空气，使吸盘的与工件的接触面的至少一部分于工件侧膨胀而具有隆起部。如此一来，工件自吸盘脱离时，工件与吸盘间的吸力减弱，能使工件确实脱离。
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公开(公告)号：CN107073683B
公开(公告)日：2018-10-30
申请号：CN201580060154.2
申请日：2015-10-21
Applicant: 信越半导体株式会社
IPC: B24B37/34 , B24B37/08 , H01L21/304
Abstract: 本发明是一种工件的加工装置，包含上定盘支承机构，透过沿上定盘的旋转轴方向延伸的汽缸而自上方支承上定盘，使之上下可移动；水平板，固定于汽缸以使其主表面相对于汽缸的长度方向的轴呈直角；至少三个位移传感器，测定上定盘下降至固定位置时水平板的表面的高度位置；控制装置，透过位移传感器测定的水平板的表面的高度位置计算出上定盘的相对高度位置及上定盘的旋转轴与汽缸的长度方向的轴所成的角度。因此，能在工件加工前短时间高精度检测出工件的支承异常而防止工件及加工装置的损坏，在工件加工中检测出汽缸的偏心角而抑制工件的质量恶化。
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公开(公告)号：CN108025418A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680054094.8
申请日：2016-08-31
Applicant: 信越半导体株式会社
IPC: B24B37/00 , B24B53/00 , H01L21/304
CPC classification number: B24B37/005 , B24B37/00 , B24B37/08 , B24B37/107 , B24B53/00 , B24B53/017 , B24B53/12 , H01L21/67092
Abstract: 本发明提供一种研磨垫的调节方法，对于研磨垫使用调节头而调节，研磨垫用于研磨贴附于可旋转的圆盘状的平板的晶圆，调节方法包含：通过旋转平板而旋转贴附于平板的研磨垫的同时，于平板的半径方向移动调节头而实施调节，以及因应调节头的自平板的中心的距离而控制平板的转数以及调节头的于平板的半径方向的移动速度。通过此研磨垫的调节方法可对研磨垫的研磨面的全表面进行适当的调节。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105980105B
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201580006664.1
申请日：2015-01-16
Applicant: 信越半导体株式会社
IPC: B24B37/34 , B24B7/17 , B24B37/08 , H01L21/304
CPC classification number: B24B37/042 , B24B37/08 , B24B49/16
Abstract: 本发明为一种工件的加工装置，其是将工件插入载具的保持孔并进行保持，使上磨板下降至固定位置，通过所述上磨板和下磨板将保持有所述工件的所述载具夹入，并同时加工所述工件两面的工件的加工装置，其特征在于，具有存储介质，其预先记录在所述工件被正常保持于所述载具的保持孔中的状态下使所述上磨板下降至所述固定位置时的研磨负载；还具有控制装置，其计算出在所述工件被保持于所述载具的保持孔中的状态下使所述上磨板下降至所述固定位置时的研磨负载与记录于所述存储介质中的研磨负载的差，在该计算出的差超过阈值的情况下，判断为所述工件保持异常。由此，能够在工件加工前短时间内高精度地检测出工件保持异常，防止工件或加工装置的破损。
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公开(公告)号：CN111418045A
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201880077941.1
申请日：2018-11-01
Applicant: 信越半导体株式会社
IPC: H01L21/304 , B24B27/06 , B28D5/04
Abstract: 本发明提供一种线锯装置，其具备：多个金属线引导部；金属线列，由卷绕于所述多个金属线引导部并沿轴向往返移动的金属线形成；喷嘴，向所述金属线供给冷却剂或浆料；工件保持部，将经由梁而粘接有工件的工件板悬挂并保持；以及工件进给机构，将所述工件按压至所述金属线列，其特征在于，还具备对形成所述金属线列的所述多个金属线引导部的轴的平行度进行调整的机构。由此，提供对切断后的工件的金属线移动方向的翘曲进行控制，并能够制造具有任意的翘曲形状的晶圆的线锯装置及晶圆的制造方法。
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公开(公告)号：CN108025418B
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201680054094.8
申请日：2016-08-31
Applicant: 信越半导体株式会社
IPC: B24B37/00 , B24B53/00 , H01L21/304
CPC classification number: B24B37/005 , B24B37/00 , B24B37/08 , B24B37/107 , B24B53/00 , B24B53/017 , B24B53/12 , H01L21/67092
Abstract: 本发明提供一种研磨垫的调节方法，对于研磨垫使用调节头而调节，研磨垫用于研磨贴附于可旋转的圆盘状的平板的晶圆，调节方法包含：通过旋转平板而旋转贴附于平板的研磨垫的同时，于平板的半径方向移动调节头而实施调节，以及因应调节头的自平板的中心的距离而控制平板的转数以及调节头的于平板的半径方向的移动速度。通过此研磨垫的调节方法可对研磨垫的研磨面的全表面进行适当的调节。
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公开(公告)号：CN106068555B
公开(公告)日：2018-11-20
申请号：CN201580011905.1
申请日：2015-02-17
Applicant: 信越半导体株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 一种工件支承装置，包括：刚性体，其具有通气孔；吸盘，其吸附而支承工件且粘接于刚性体的下端面，并具有连通于通气孔的开口部；空气控制机构，连通于通气孔，借由自通气孔抽吸或吐出空气而自开口部抽吸或吐出空气，在工件接触开口部的同时，借由空气控制机构自开口部抽吸空气使工件吸附而支承于吸盘，以及借由自开口部吐出空气使工件自吸盘脱离，其中工件自吸盘脱离时，借由空气控制机构自通气孔供给空气，使吸盘的与工件的接触面的至少一部分于工件侧膨胀而具有隆起部。如此一来，工件自吸盘脱离时，工件与吸盘间的吸力减弱，能使工件确实脱离。
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公开(公告)号：CN106660191B
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201580028464.6
申请日：2015-05-13
Applicant: 信越半导体株式会社
IPC: B24B41/06 , B24B37/28 , H01L21/304
CPC classification number: B24B37/27 , B24B37/28 , B24B41/005 , B25J9/042 , B25J9/102 , B25J15/0616 , H01L21/02 , H01L21/68 , H01L21/6838
Abstract: 该自动装卸装置特征在于设置有：用于吸引并支承工件的吸头；连接于吸头并使吸头移动的手臂；装载被搬送至载体的工件支承孔的工件的工作台。该自动装卸装置特征还在于：该吸头设置有相对于吸头本体而在水平面内可移动的可动部；该可动部能够吸引并支承工件，该吸头还设置有垂直向下方向延伸的多个定位销；当由可动部支承的工件被插入到载体的工件支承孔时，该多个定位销配合位于载体外围的齿轮的齿底，并且该可动部在水平面内移动，因此，将载体向太阳齿轮侧推压并固定载体的位置及方向，而将支承的工件搬入至载体的支承孔内。借此提供了一种低价且精确地将工件插入载体的工件支承孔的自动装卸装置。
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