公开(公告)号：CN111418045B

公开(公告)日：2023-08-15

申请号：CN201880077941.1

申请日：2018-11-01

Applicant: 信越半导体株式会社

Inventor： 水岛一寿 ,  大高敏昭 ,  榎本辰男 ,  清水裕一

IPC: H01L21/304 ,  B24B27/06 ,  B28D5/04

Abstract: 本发明提供一种线锯装置，其具备：多个金属线引导部；金属线列，由卷绕于所述多个金属线引导部并沿轴向往返移动的金属线形成；喷嘴，向所述金属线供给冷却剂或浆料；工件保持部，将经由梁而粘接有工件的工件板悬挂并保持；以及工件进给机构，将所述工件按压至所述金属线列，其特征在于，还具备对形成所述金属线列的所述多个金属线引导部的轴的平行度进行调整的机构。由此，提供对切断后的工件的金属线移动方向的翘曲进行控制，并能够制造具有任意的翘曲形状的晶圆的线锯装置及晶圆的制造方法。

公开(公告)号：CN111418045A

公开(公告)日：2020-07-14

申请号：CN201880077941.1

申请日：2018-11-01

Applicant: 信越半导体株式会社

Inventor： 水岛一寿 ,  大高敏昭 ,  榎本辰男 ,  清水裕一

IPC: H01L21/304 ,  B24B27/06 ,  B28D5/04

Abstract: 本发明提供一种线锯装置，其具备：多个金属线引导部；金属线列，由卷绕于所述多个金属线引导部并沿轴向往返移动的金属线形成；喷嘴，向所述金属线供给冷却剂或浆料；工件保持部，将经由梁而粘接有工件的工件板悬挂并保持；以及工件进给机构，将所述工件按压至所述金属线列，其特征在于，还具备对形成所述金属线列的所述多个金属线引导部的轴的平行度进行调整的机构。由此，提供对切断后的工件的金属线移动方向的翘曲进行控制，并能够制造具有任意的翘曲形状的晶圆的线锯装置及晶圆的制造方法。