公开(公告)号：CN107427986B

公开(公告)日：2019-07-09

申请号：CN201680016080.7

申请日：2016-03-03

Applicant: 信越半导体株式会社

Inventor： 北川幸司 ,  清水裕一

IPC: B24B27/06 ,  B24B55/02 ,  B28D5/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: B28D5/0076 ,  B24B27/06 ,  B24B27/0633 ,  B24B55/02 ,  B24B57/02 ,  B28D5/007 ,  B28D5/042 ,  Y02P70/179

Abstract: 本发明提供一种线锯装置，包含钢线列、喷嘴、工件输送机构，钢线列由卷绕于多个导线器且于轴向来回驱行的钢线形成，喷嘴系供给冷却剂或浆至钢线，工件输送机构将经支承的工件推压至钢线列，在自喷嘴供给冷却剂或浆的同时，通过将由工件输送机构所支承的工件推压至钢线列而切割入送，以将工件切断为晶圆状，其中喷嘴配置于钢线列的上方而与钢线列垂直相交，自经配置的喷嘴的轴向所看的左右两侧各配置有防风板。因此，即使减少冷却剂或浆的流量，亦能够将冷却剂或浆均匀供给至钢线列。

公开(公告)号：CN111418045B

公开(公告)日：2023-08-15

申请号：CN201880077941.1

申请日：2018-11-01

Applicant: 信越半导体株式会社

Inventor： 水岛一寿 ,  大高敏昭 ,  榎本辰男 ,  清水裕一

IPC: H01L21/304 ,  B24B27/06 ,  B28D5/04

Abstract: 本发明提供一种线锯装置，其具备：多个金属线引导部；金属线列，由卷绕于所述多个金属线引导部并沿轴向往返移动的金属线形成；喷嘴，向所述金属线供给冷却剂或浆料；工件保持部，将经由梁而粘接有工件的工件板悬挂并保持；以及工件进给机构，将所述工件按压至所述金属线列，其特征在于，还具备对形成所述金属线列的所述多个金属线引导部的轴的平行度进行调整的机构。由此，提供对切断后的工件的金属线移动方向的翘曲进行控制，并能够制造具有任意的翘曲形状的晶圆的线锯装置及晶圆的制造方法。

公开(公告)号：CN107427986A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201680016080.7

申请日：2016-03-03

Applicant: 信越半导体株式会社

Inventor： 北川幸司 ,  清水裕一

IPC: B24B27/06 ,  B24B55/02 ,  B28D5/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: B28D5/0076 ,  B24B27/06 ,  B24B27/0633 ,  B24B55/02 ,  B24B57/02 ,  B28D5/007 ,  B28D5/042 ,  Y02P70/179

Abstract: 本发明提供一种线锯装置，包含钢线列、喷嘴、工件输送机构，钢线列由卷绕于多个导线器且于轴向来回驱行的钢线形成，喷嘴系供给冷却剂或浆至钢线，工件输送机构将经支承的工件推压至钢线列，在自喷嘴供给冷却剂或浆的同时，通过将由工件输送机构所支承的工件推压至钢线列而切割入送，以将工件切断为晶圆状，其中喷嘴配置于钢线列的上方而与钢线列垂直相交，自经配置的喷嘴的轴向所看的左右两侧各配置有防风板。因此，即使减少冷却剂或浆的流量，亦能够将冷却剂或浆均匀供给至钢线列。

公开(公告)号：CN111418045A

公开(公告)日：2020-07-14

申请号：CN201880077941.1

申请日：2018-11-01

Applicant: 信越半导体株式会社

Inventor： 水岛一寿 ,  大高敏昭 ,  榎本辰男 ,  清水裕一

IPC: H01L21/304 ,  B24B27/06 ,  B28D5/04

Abstract: 本发明提供一种线锯装置，其具备：多个金属线引导部；金属线列，由卷绕于所述多个金属线引导部并沿轴向往返移动的金属线形成；喷嘴，向所述金属线供给冷却剂或浆料；工件保持部，将经由梁而粘接有工件的工件板悬挂并保持；以及工件进给机构，将所述工件按压至所述金属线列，其特征在于，还具备对形成所述金属线列的所述多个金属线引导部的轴的平行度进行调整的机构。由此，提供对切断后的工件的金属线移动方向的翘曲进行控制，并能够制造具有任意的翘曲形状的晶圆的线锯装置及晶圆的制造方法。