光电探测器及其制作方法

    公开(公告)号:CN114005895B

    公开(公告)日:2024-04-09

    申请号:CN202111247579.8

    申请日:2021-10-26

    Abstract: 提供了一种光电探测器及其制作方法,所述光电探测器包括由MXene材料层和AlGaN材料层形成的MXene/AlGaN范德瓦尔斯异质结。与传统的异质结相比,MXene材料具有较高的透光率、金属导电性以及可调的功函数,所形成的范德瓦尔斯异质结不受晶格匹配的限制,缺陷极少,能够极大地提升界面质量,因此,基于所述MXene/AlGaN范德瓦尔斯异质结形成的光电探测器,不仅有利于提高光电探测器的光吸收效率和光生电流的传输效率,提高光响应度,还能有效地降低光电探测器的制造成本,为光电探测器的规模化应用提供新的契机。此外,所述光电探测器的制作方法缩减了工艺步骤,制作方法简单。

    半导体结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN104979312A

    公开(公告)日:2015-10-14

    申请号:CN201410148441.6

    申请日:2014-04-14

    CPC classification number: Y02E10/50

    Abstract: 本发明公开了一种半导体结构,包括相键合的第一半导体晶片和第二半导体晶片,其中,所述第一半导体晶片和第二半导体晶片之间设有结构层,所述结构层上分布有多个纳米孔。本发明还公开了一种半导体器件,所述半导体器件包括前述的半导体结构,所述半导体器件为激光器、探测器或太阳能电池。本发明还公开了如前所述的半导体结构的制备方法。本发明通过在键合界面中设置有纳米孔阵列结构层,从而抑制了键合界面光损耗和电损耗,并提高了键合强度。

    共振隧穿二极管及其制作方法

    公开(公告)号:CN111816711A

    公开(公告)日:2020-10-23

    申请号:CN202010877959.9

    申请日:2020-08-27

    Abstract: 本发明公开了一种共振隧穿二极管,该共振隧穿二极管包括衬底以及在衬底上形成的功能层,在共振隧穿二极管的彼此相对的两侧分别设有第一磁性部和第二磁性部,第一磁性部和第二磁性部之间形成磁场;其中,磁场的磁场方向与衬底的面向功能层的表面的法线垂直。本发明还公开了一种共振隧穿二极管的制作方法。本发明解决了现有技术中因衬底的位错导致共振隧穿二极管的功能层内也形成有与衬底的位错相应的内部缺陷,从而导致共振隧穿二极管难以实现负阻特性的问题。

    半导体结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN104979312B

    公开(公告)日:2018-07-03

    申请号:CN201410148441.6

    申请日:2014-04-14

    CPC classification number: Y02E10/50

    Abstract: 本发明公开了一种半导体结构,包括相键合的第一半导体晶片和第二半导体晶片,其中,所述第一半导体晶片和第二半导体晶片之间设有结构层,所述结构层上分布有多个纳米孔。本发明还公开了一种半导体器件,所述半导体器件包括前述的半导体结构,所述半导体器件为激光器、探测器或太阳能电池。本发明还公开了如前所述的半导体结构的制备方法。本发明通过在键合界面中设置有纳米孔阵列结构层,从而抑制了键合界面光损耗和电损耗,并提高了键合强度。

    碳纳米管连续生长装置
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104418318B

    公开(公告)日:2016-09-07

    申请号:CN201310398409.9

    申请日:2013-09-05

    Abstract: 本申请公开了一种碳纳米管连续生长装置,包括:加热室,具有一加热腔,所述的加热室开设有连通于所述加热腔的通气孔;位于所述加热腔内的基板以及形成于所述基板表面的催化剂薄膜,所述的基板开设有第一通孔,所述的催化剂薄膜包括连通于所述第一通孔的第二通孔;加热装置,对所述的加热腔进行加热。由于多孔基板的多孔和位于其下方的催化剂薄膜的多孔是连通的,反应气体由多孔基板上部通入,经由基板的多孔可以连续流入催化剂薄膜的多孔中,保证了碳纳米管可以不断连续生长。更优地,在改进后的装置中碳纳米管的生长方向变为垂直向下生长,在重力的作用下,生长速度较垂直向上生长时增大,从而达到了连续快速生长的技术效果。

    一种碳纳米管连续生长装置

    公开(公告)号:CN104418317B

    公开(公告)日:2016-09-07

    申请号:CN201310398408.4

    申请日:2013-09-05

    Abstract: 本申请公开了一种碳纳米管连续生长装置,包括:加热室,具有一加热腔,所述的加热室开设有连通于所述加热腔的通气孔;位于所述加热腔内的基板以及形成于所述基板表面的催化剂薄膜,所述的催化剂薄膜沿重力方向形成于所述基板的下表面;加热装置,对所述的加热腔进行加热。由于多孔基板的多孔和位于其下方的催化剂薄膜的多孔是连通的,反应气体由多孔基板上部通入,经由基板的多孔可以连续流入催化剂薄膜的多孔中,保证了碳纳米管可以不断连续生长。更优地,在改进后的装置中碳纳米管的生长方向变为垂直向下生长,在重力的作用下,生长速度较垂直向上生长时增大,从而达到了连续快速生长的技术效果。

Patent Agency Ranking