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公开(公告)号：CN119269838A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411218369.X
申请日：2024-09-02
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室)) , 华南理工大学
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明公开了一种用于测试加速度计交叉轴灵敏度的方法，通过双离心机系统实现，方法包括下述步骤：首先，将待测加速度计固定于从离心机，使从离心机回零并定位于零位，记录待测加速度计的输出U0；接着，设定主离心机的输出加速度为预设值a，启动主离心机，使从离心机角度保持在零度角，记录此时待测加速度计的输出U1；随后，从离心机分别定位至90°、180°、270°，记录各位置待测加速度计的输出U2、U3、U4；利用公式ko＝k1×(U2‑U4)/(U1‑U3)，计算输出轴交叉轴灵敏度ko；最后，重新安装加速度计，重复上述步骤，计算摆轴交叉轴灵敏度kp。本发明的方法可精确测定加速度计的交叉轴灵敏度，提高了测量效率和准确性，适用于各类高精度加速度计测试场景。
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公开(公告)号：CN119337558A
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN202411218381.0
申请日：2024-09-02
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室)) , 华南理工大学
IPC: G06F30/20 , G06F30/17 , G06F119/02
Abstract: 本发明公开了一种考虑多种失效机制的真空封装MEMS器件腔体真空退化模型构建方法及评价方法，模型构建方法包括：(1)真空度表征：利用品质因子对腔体的真空度进行表征；(2)真空退化数理模型建模：a.计算腔体内释放的气体分子数，获取腔体内部释气导致的第一真空退化数理模型；b.计算腔体内由外部泄露进来的气体分子数，获取腔体内由外部泄露导致的第二真空退化数理模型；c.第一、第二真空退化数理模型，基于算腔体内总气体分子数与腔体气压的关系，获取腔体内部真空度退化模型。在构建的真空度退化模型基础上，本发明还提供了真空封装MEMS器件真空退化进行可靠性评价的方法，并可实现对真空封装MEMS器件真空度退化进行可靠性预计。
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公开(公告)号：CN113030687B
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202110197136.6
申请日：2021-02-22
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G01R31/265
Abstract: 本发明涉及微纳器件测试技术领域，公开了一种性能测试方法，包括在不同的温度环境下对待测样品进行测试，获取待测样品的谐振频率温度系数；将待测样品固定于红外成像设备上，将红外成像设备加热至预设温度；向待测样品施加预设输入功率，使用红外成像设备对待测样品进行成像测试，获取待测样品在预设输入功率条件下的表面温度场信息；保持待测样品上施加的预设输入功率不变的情况下，测试获取待测样品的特征频率；根据谐振频率温度系数和特征频率，计算获取待测样品在预设输入功率条件下的等效温升。通过获取在预设功率负载下待测样品的表面温度场信息以及等效温升值，为相关产品的设计、可靠性评价及分析、失效机理建模等工作提供可靠的支撑。
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公开(公告)号：CN111413560B
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202010160624.5
申请日：2020-03-10
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
Abstract: 本申请涉及一种圆片键合质量可靠性测试结构及可靠性测试方法；其中，圆片键合质量可靠性测试结构，包括依次相接触串联固定在机械支撑层上的多个圆片键合结构组件；还包括设于首个圆片键合结构组件处的第一测试位点，和设于末端圆片键合结构组件处的第二测试位点；圆片键合结构组件包括通过导电的桥梁结构连接的两个圆片键合结构；圆片键合结构包括依次层叠在机械支撑层上的金属层、结构层；任一圆片键合结构的结构层通过桥梁结构连接另一圆片键合结构的结构层；任一圆片键合结构的金属层与相邻圆片键合结构组件中任一圆片键合结构的金属层通过金属布线相接触；本申请可通过测试圆片键合结构的接触电阻，实现对圆片键合的无损检测。
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公开(公告)号：CN114324546A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111557134.X
申请日：2021-12-18
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
Abstract: 本发明涉及一种真空封装器件内部气氛的检测方法、气密容器及检测设备。上述真空封装器件内部气氛的检测方法通过将真空封装器件置于气密容器中，并破坏真空封装器件的气密性，使真空封装器件的内部气氛与气密容器的内部气氛混合，使真空封装器件内部极少的气氛混合进足够多的气氛中。气密容器的内部气压高于真空封装器件的内部气压，可以用常规方法对混合气氛进行检测，由于气密容器的内部气氛已知，检测出混合气氛后，即能够推算出真空封装器件的内部气氛的成分及其含量。上述检测方法可以打破现有检测设备的局限，实现对真空封装器件内部气氛的定量测试，可有效支撑真空封装器件工艺的提升以及DPA、失效分析、机理分析可靠性研究等工作。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109342767B
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN201811249410.4
申请日：2018-10-25
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G01P21/00
Abstract: 本申请涉及一种加速度计标度因数的测试方法、装置以及系统。所述方法包括：采集以预设角度设置在随转台上的加速度计，在稳速台上以各转速转动时、分别对应的输出电压；预设角度为加速度计的输入轴与随转台的半径之间的夹角；对各转速和各输出电压进行拟合处理，建立输出电压模型，并根据输出电压模型和预设角度，得到加速度计的安装误差均值；基于输出电压模型、安装误差均值和预设角度，得到加速度计的标度因，从而通过本申请加速度计标度因数的测试方法能够消除安装误差对测试加速度计的标度因数时带来的不利影响，提高了获取加速度计的标度因数的精度。
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公开(公告)号：CN109596896B
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN201811250429.0
申请日：2018-10-25
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
Abstract: 本申请涉及一种场增强因子提取方法、装置、系统以及存储介质。所述方法包括：获取静电换能器在各形变时刻的电极间距以及对应的电极间电流；形变时刻为静电换能器的可动电极在偏置电压下形变过程中的时刻；对根据各所述电极间距和各所述电极间电流得到的线性关系进行拟合，得到拟合关系，并根据拟合关系，得到静电换能器的场致电子发射效应的场增强因子，通过场增强因子提取方法能够充分考虑静电换能器在施加偏置电压后，其电极会发生形变，电极间距在形变过程中会逐渐变小的情况，避免了将电极间距当作固定值而带来的误差，利用场增强因子提取方法获取到的场增强因子更符合静电换能器的实际工作情况，提高获取场增强因子的准确度。
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公开(公告)号：CN109596860B
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN201811306136.X
申请日：2018-11-05
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G01P21/02
Abstract: 本申请涉及一种加速度计故障诊断方法、装置、电路和计算机设备。所述方法包括：获取第一电压信号、第二电压信号和电流信号；第一电压信号为加速度计检测电路中的C/V转换电路输出的电压信号；第二电压信号为加速度计输出的电压信号；电流信号为加速度计检测电路上的电流信号；根据第一电压信号、第二电压信号、电流信号、第一饱和电压、第二饱和电压和标准电流，获取加速度计的故障类型；第一饱和电压为C/V转换电路输出的最大电压；第二饱和电压为加速度计输出的最大电压；标准电流为加速度计正常时加速度计检测电路上的电流，从而本申请能够依据获取的信号来判断加速度计出现的故障类型，使得更加全面地监控加速度计的工作状态。
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公开(公告)号：CN111398778A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN202010181489.2
申请日：2020-03-16
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
Abstract: 本申请涉及一种MEMS器件敏感结构辐照在线监测装置及监测方法；其中，MEMS器件敏感结构辐照在线监测装置，包括对敏感结构与信号处理电路进行预设距离隔离的移动载体，以及对信号处理电路进行辐照屏蔽的屏蔽体；其中，移动载体包括用于布设敏感结构的第一固定部，和用于布设信号处理电路的第二固定部，第一固定部与第二固定部间隔设置、以使敏感结构与信号处理电路以预设距离隔离，敏感结构连接信号处理电路；屏蔽体设有空腔，屏蔽体顶部设有与空腔相连通的出入孔，以供布设有信号处理电路的第二固定部的进出；当信号处理电路位于空腔内时进行辐照，并基于待测MEMS器件的在线输出参数得到监测结果。本申请可实现只针对敏感结构的辐照及在线监测。
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公开(公告)号：CN109596896A
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201811250429.0
申请日：2018-10-25
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
Abstract: 本申请涉及一种场增强因子提取方法、装置、系统以及存储介质。所述方法包括：获取静电换能器在各形变时刻的电极间距以及对应的电极间电流；形变时刻为静电换能器的可动电极在偏置电压下形变过程中的时刻；对根据各所述电极间距和各所述电极间电流得到的线性关系进行拟合，得到拟合关系，并根据拟合关系，得到静电换能器的场致电子发射效应的场增强因子，通过场增强因子提取方法能够充分考虑静电换能器在施加偏置电压后，其电极会发生形变，电极间距在形变过程中会逐渐变小的情况，避免了将电极间距当作固定值而带来的误差，利用场增强因子提取方法获取到的场增强因子更符合静电换能器的实际工作情况，提高获取场增强因子的准确度。
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